Устройство ввода газа в реактор вертикального типа для осаждения слоев

 

О П И С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕН Ия

«»592438

Союз Советских.Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 01.08.75 (21) 2165И6/23-26 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 15.02.78. Бюллетень ¹ 6 (45) Дата опубликования описания 25.01.78 (51) М.Кл В 01 J 17/32

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.315.592 (088.8) (72) Автор изобретения

Э. Б. Сигалов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ВВОДА ГАЗА В РЕАКТОР

ВЕРТИКАЛЬНОГО ТИПА ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ

Изобретение относится к технике полупроводникового производства, а более конкретно х устройствам, используемым в установках осаждения слоев, например;полупроводниковых материалов, из газовой фазы.

Известны устройства ввода газа в реактор для осаждения слоев, включающие подвижные сопла. Сопла совершают эллиптические или эпициклоидальные движения со скоростью полукруга в минуту.

Известны также устройства ввода газа, содержащие коллектор с соплами, направленными вверх, установленный на нижнем фланце реактора с возможностью вращения, Устрой,ство содержит трубчатый вал,. который введен через нижний фланец и уплотнен в нем, например, резиновыми манжетами. Газ вводят в реактор по вращаемому трубчатому валу.

Известное устройство не обеспечивает герметичности ввода таза в реактор из-за истирания резиновых:манжет во время вращения вала (использовать смазку нельзя по условиям протекающего в реакторе процесса).

Целью изобретения является обеспечение большей герметичности ввода газа в реактор.

Согласно изобретению в известном устройстве ввода газа, содержащем коллектор с соплами, направленными вверх, установленный на нижнем фланце реактора с возможностью вращения, коллектор выполнен в виде плоского диска, расположенного параллельно и соосно нижнему фланцу, в котором имеются канал в центре для подачи газа, соединенный с соплами, наклоненными в одну сторону относительно вертикали, и .каналы,по периферии, снабженные на концах жиклерами для создания газовой подушки.

На чертеже изображено предложенное устройство ввода газа в реактор вертикального типа, На нижнем фланце 1 реактора в центральной части выполнена плоская площадка 2, на которой расположен плоский диск 8 с каналом

4 в центре, соединенным с соплами 5. В нижнем фланце 1 имеется центральный, канал 6 и;каналы 7, расположенные по периферии площадки 2. Каждый канал 8 на конце снабжен жиклером 8. Диск 8 с каналом 4 и с соплами 5 образует коллектор, вращаемый на га20 зовой подушке, создаваемой между площадкой 2 и нижним торцом диска 8. Сопла 5 наклонены в одну сторону относительно вертикали.

Наряду с устройством ввода газа внутри

25 реактора расположен цилиндрический индукционно нагреваемый держатель 9 подложек 10, установленный на подставке 11. Для за шитьi от,перегрева диска 8:коллекторы,могут быть снабжены плоскими экранами 12, так как плоЗ0 щадка 2 и нижний торец диска 8 выполнены

592438 шлифованными и поводка их от нагрева мо.жет привести к заклиниванию вращения.

Устройство работает следующим образом. периферийные каналы 7 подают водород, который, выходя из жиклеров 8 с высокой скоростью, создает в зазоре над площадкой 2 газовую подушку. Реакционный газ подают по каналу 6, далее он попадает в канал 4 коллектора и выходит через сопла 5 в реакционную зону, где расположены обрабатываемые подложки 10. Реактивные силы струй газа, выходящих из сопел 5, приводят коллектор во вра щение,благодаря наклону сопел относительно вертикали.

Поскольку вращение происходит за счет реактивных сил, трение, между вращающимися деталями устройства отсутствует. Таким образом обеспечивается более герметичный ввод газа в реактор.

Формула изобретения

5 Устройство ввода газа в реактор вертиа пример кального типа для осаждения слоев на полупроводниковых материалов, содержащее коллектор с соплами, направленными вверх, установленный на нижнем фланце реактора с

l0 возможностью вращения, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения большей герметичности ввода газа в реактор, коллекто выполнен в виде плоского диска, расположенного параллельно и соосно нижнему фланцу ланцу, в

15 котором имеются канал в центре для подачи газа, соединенный с соплами, наклоненными в одну сторону относительно вертикали, и каналы по периферии, снабженные на концах жиклерами для создания газовой подушки.