Интерферометр

 

А. Й Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Сееа Советских

Социалистических

Ресяубпик (11) 603840

К АВТОРСКОМУ СВИДВТВЛЬСТВУ (6l) Дополнительное к авт. свил-ву (5l) М. Кл, (22) Заявлено 01.08.76 (21) 2387728/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет

° 01 В 9/02

Гасударстаенню наиатет

Сената Мнннатраа ССР ао делан нзабретеннй и вткрытнй (43} Опубликовано 25.04.78. Бюллетень % 15 (53) УДК 531;715.

° 1 (088. 8) (453 Дата опубликования описании 29,05, (72) Авторы . изобретения

И. Я. Бубис и А. И. Кузнецов (7 )) Заявитель

{84} ИНТЕРФЕРОМЕТР

Однако сравнительно низкая точность иэмерений известного интерферометра, вызванная впиянием собственных погрешностей светодепитейьного эпемента на интерференционную картину, сказывается при контроле высокоапертурных поверхностей, т. е. низкая светосила интерферометра, а также низкая производительность юстировочных операций при настройке интерферометра.

Для увеличения светосилы интерферометра и повышении производительности юстиро,вочных операций. интерферометр снабжен дополнительным светоделитепьным зпементом, расположенным между окулярной насадкой и микрообъективом так, что его передний корпус совмешен с предметной точкой микрообъектива, катет одной приэ» мы светоделительного апемента выпопнен

Изобретение относится r измерительной технике, цреднаэначено для контроля качества поверхностей оптических деталей и может найти цримеиение в оптическом приборостроении. 5

Известен интерферометр для контропя ка чества оптических поверхностей, содержашнй источник монохроматического излучения, тецескоцическую систему„. светоделитель, микроабъектив и аппанатический мениск, од- )О на из поверхностей которого служит дпя образования фронта сравнения, и объектив для наблюдения интерференционной картины

Я.

Недостатком интерферометра являются 15 высокие требования к остировке его элементов, а также большое число паразитных бди» ков, снижаюших контраст интерференционной картины, а следовательно и точность измерений. 20

Наиболее близким по технической сушности и решаемой задачи к изобретению яв лятеся интерферометр, содержаший источник монохроматического излучения, распопоженные по ходу его пуча два концевых плоских ра зеркапа, оптическую систему, формируюшую сферический волновой фронт . и выпопненную в виде окупярной насадки и микрообъек тива светоделительйый зпемент, выполненный в виде блока иэ двух п ямоугопьных призм, и зтапонный блок f2).

603840 с изломом на угол, равный полуаиертуре интерферометра, и на меньшей части грани ао и@пома выполнена сферическая нолир ванная лунка, а эталонный блок выполнен в Виде плосковыпуклой линзы приклееной к другому катету той же призмы, прияем центры кривизны выпуклой поверхности линзы и поверхности лунки совмин; шены.

На чертеже дана схема предлагаемого интерферометра.

Он содержит источник 1 монохроматического излучения, два концевых зеркала 2, 3» отражательную линзу 4, микрообъектив 5, светоделительный .апемент, выполненный в виде прямоугольных призм 6, 7 и склееной с одним из них плосковьшуклой линзы 8, ко» торая образует эталонный блок, телескопическую систему 9, дополнительныи светоделительный элемент 10, окуляр 11, а также плоское зеркало 12, которое устанавливают вместо дополнительного светоделительног о алемента 10 при работе интерферометра, Работает интерферометр следующим образом. 25

Пучок света от монохроматического источника 1 излучения после отражения от концевых плоских зеркал 2, 3 преобразуется отражательной линзой 4 в расходящийся исходящий из задней предметной точки мик.1 рообъектива 5, Микрообъектив создает точечное изображение О источника света в передней предметной точке, откуда лучи по нормалям падают на йыпуклую поверхность плоско выпуклой линзы 8. Ьт выпуклой поверх-З5 ности свет !частично отражается и, возврашаясь по нормалям, создает волновой фронт сравнения.с центром в точке О . Другая

I . часть света беэ преломления проходит выпуклую поверхность линзы и падает на исследуемую поверхность 13. Если радиус кривизны исследуемой поверхности или фокус исследуемой автокоплнмационной систе-. мы О» совмещен с точкой О, пучок лучей возвращается по тому же пути, искаженный

45 аберрациями поверхности нли системы, и интерферирует с волновым фронтом сравнения.

Наблюдение интерференционной картинй ,:и фотографирование ее осуществляется с помощью наблюдательной телескопической системы 9.

Предварительная юстировка интерферометра и проверка сохранения юстировки в процессе работы проводится с помощью апементов .1, 2, 3, 4, 5 светоджительного апемента 10 и окуляра 11 с сеткой, образующих автоколлимационный микроскоп, при наблюдении автоколлимационного изображе-Г ния источникаi света в окуляр 11. В процессе работы в целях уменьшения потерь световой энергии дополнительный светодели тельный элемент 10 заменяется по плоское зеркало 12, установленное на общую со светоделительным элементом 10 оправу.

Ф ормула изобрете ни я

Интерферометр, содержащий источник монохроматического излучения, расноложеи- ные по ходу его луча два .концевых плоских эеркапа, оптйческую систему, формирующую сферический волновой фронт и выполненную в виде окулярной насадки и микрообъектива, светоделительный элемент, выпопненный в виде блока иэ двух прямоугольных призм, и эталонный бпок, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения светосилы интерферометра и повышения производи тельности юстировочных операций он снабжен дополнительным светоделительным апементом, расположенным между окулярной насадкой и микрообъективом так, что его передний фронт совмещен с предметной точкой микрообъектива, катет одной призмы свет одел итель ног о апеме нта выполнен с изломом на угол, равный полуапертуре интерферометра, и на меньшей часФ ти грани до излома выполнена сферическая полированная лунка, а эталонный блок выполнен в виде плоско-выпуклой линзы, приклеенной к другому катету той же призмы, причем центры кривизны выпуклой поверхности линзы н поверхности лунки совмещены, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1, Авторское свидетельство М СССР

М 373519, кле --Я01 3 9/02, 1971.

2. Техническое описание интерферометра

ИТ-72", Ленинград, ГОИ.

603840

Составитель В, Горшков

Редактор T. щагова Текред 3, фанта Корректор М. Демчик

Эакаэ 2055/32 Тираж 872 Подписное

0НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам, изобретений и открытий

113035 Москва, Ж-35, Раушская наб ., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная 4