Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок

Авторы патента:

G01R27/02 - для измерения активного, реактивного и полного сопротивления или других производных от них характеристик, двухполюсника, например постоянной времени (для измерения только фазового угла G01R 25/00)

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (-< <) б 24 1 7 7К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 060477 (Я) 2472336/18-21 (Я) N. кл.

Cj 01 2 27/02 с присоединением заявки %

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо аелам изобретений и открытий (5З) УЛК 681. 128.6 (088. 8) (43) Опубликовано 150978. бюллетень № 34 (45) Лата опубликования оансаиия 31,07.78 (72) Авторы и б е ения л. N. лыньков, B. В. соловьев, В. N. паркун и Н. Н. Ворозов

Минский радиотехнический институт (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ

ПРОВОДЯ1\ИХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к области измерения электрических переменных величин и может быть использовано, например, в микроэлектронике для измерения сопротивления проводящих пленок в процессе изготовления интегральных микросхем.

Известно устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, состоящее из диэлектрической подложки с адгезионным подслоем металла и расположенными на нем токоведущими электродами, соединенными с измерительной схемой (1) .

В процессе осаждения на токоведущие электроды тонкой проводящей пленки контролируется электрическое сопротивление осаждаемой пленки, Однако в результате перегибов осажденной пленки на границе токоведущих электродов в этих местах возникают механические напряжения и неравномерность толщины осажденной пленки по длине, что искажает истинное значение сопротивления пленки и снижает точность измерения сопротивления.

Целью изобретения является повышение точности измерения сопротивления проводящих пленок.

Это достигается тем, что между токоведущими электродами компланарно с ними размещеи слой диэлектрика.

Осаждаемая поверх токоведущих электродов устройства проводящая пленка не имеет перегибов, равномерна по толщине, вследствие чего точность тантала, ниобив и нихрома повьатается на 50%.

На чертеже показано предлагаемое устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, разрез. устройство содержит ситалловув подложку i, а на ней вЂ” адгезиониый подслой титана 2 с токоведущими алквтиниевыми и никелевыми электродами 3 и

4, соответственно между которьвчи компланарио с ними размещен слой диэлектрика 5 окиси алюминия. устройство работает следукщим образом.

На поверхность токоведущего элеистрода 4 и слоя диэлектрика 5 осаждается тонкая пленка металла, чапример тантала, ниобия или нихрома. Токоведущий электрод 4 в процессе осаждения пленки металла соединен с измерительной схемой, например с циФровым омметром, в результате чего осуществляется контроль толщины и измерение

624177

Формула изобретения

Составитель Jo Герасичкин редактор Т. Янова Техред К. Раврон Корректор A. Кравченко

Заказ 5177/36 .ЦНИИПИ

Тираж 1112 Подписное

Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035,Москва, Ж-35, Раушская наб,,д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. ужгород, ул. Проектная, 4 сопротивления осаждаемых металлических пленок. устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, включающее в себя диэлектрическую подложку с адгезионным подслоем металла и расположенными на нем токоведущими электродами, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, между токоведущими электродами компланарно с ними размещен слой диэлектрика.

Источники инФормации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

М 386350, кл. (01 н 27/00, 10.07.70.

Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок

Устройство для одновременного и независимого измерения состявляющих комплексных сопротивлений // 588509

Устройство для измерения полных проводимостей // 587413

Устройство для измерения температурного коэффициента сопротивления микропровода // 584264

Автогенератор для кондуктометрических и диэлектрических измерений // 576548

Способ определения температурного коэффициента сопротивления хромовых пленок // 573773

Устройство преобразования параметров комплексной проводимости // 572723

Устройство для измерения сопротивления фаза-нуль // 572722

Цифровой измеритель параметров реактивных двухполюсников // 571771

Измеритель активной и реактивной составляющих полного сопротивления // 564608

Способ измерения установившегося значения сопротивления изоляции // 2101716

Изобретение относится к технике электрических измерений и предназначено для профилактических испытаний изоляции крупных электрических машин и аппаратов, имеющих большую постоянную времени

Способ измерения активных сопротивлений // 2110073

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано для измерения резисторов, сосредоточенных сопротивлений и сопротивления изоляции в электрических цепях

Способ контроля чистоты материала электропроводного изделия (варианты) // 2115934

Изобретение относится к исследованию и анализу материалов с помощью электрических средств и предназначено для контроля неоднородности электропроводного изделия по толщине материала, например, при проверки возможной подделки изделия в форме слитка из драгоценного или редкого металла

Способ измерения активного сопротивления элементов электрических цепей, содержащих индуктивности с ферромагнитным сердечником, и устройство для его осуществления // 2117307

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения параметров индуктивных элементов, а также исследования и оценки свойств ферромагнитных материалов

Инвариантный измерительный преобразователь в виде делителя напряжения // 2118826

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в приборостроении для построения параметрических измерительных преобразователей, инвариантных к изменениям параметров источников питания и другим влияющим величинам

Способ определения параметров комплексного сопротивления электрической сети от точки подключения силового трансформатора до точки с бесконечной мощностью короткого замыкания // 2118828

Изобретение относится к электроизмерительной технике, а именно к способам определения сопротивлений, и может быть использовано при экспериментальных измерениях

Мера активного сопротивления // 2119170

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано в качестве частотно-независимой меры активного сопротивления в диапазоне 1 - 100 кОм

Инвариантный измерительный преобразователь в виде делителя // 2121148

Способ контроля параметров конденсаторов, катушек индуктивностей и резисторов // 2121151

Изобретение относится к электроизмерительной технике и предназначено для контроля параметров конденсаторов, катушек индуктивностей и резисторов в процессе их производства

Способ бесконтактного измерения удельной электропроводности плоских изделий // 2121152

Изобретение относится к бесконтактным неразрушающим способам измерения удельной электропроводности плоских изделий с использованием накладных вихретоковых датчиков