Способ нанесения покрытий из неорганических материалов
6."". нс т8. яз-:есня б- Союз Советских Социапмстмческмх Реслубпмк (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 1 4.08. 76 (Я) 2167816/22-02 (Я) М. Кл. 23 С 11/08ii //С 03 С 17/00 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет(43) Опубликовано 26.09.78Бюллетеиь РА35 (45) Дата опубликование описания 06.69.78 ГвоудоРотееннме хометет 608ото ИикеотРоо СССР оо делом кзооретеей и открытий (бЗ) УДК621.793..4 (088,8) B Г. Буткевич, B. й. Senses, С. И. Васильев, М. LL данчев и Н. И. Экивоата (73) Заавитель Изобретение относится к способам нанесения покрытий, в частности, иэ неорганических материалов, путеМ термического разложения химических соединений на нагретой поверхности, оно может быть использовано в электронике и электротехнике при изготовлении изделий с электропроводящими пленка и и. Известен способ нанесения пленок из неорганических материалов путем разложения на нагретой поверхности изделий паров реагентов, транспортируемых во вращающуюся камеру осаждения сжатым воздухом или другими газами (1}. Известен также способ нанесения покрытий на нагретую поверхность иэделии, включающий диспергирование жидких реагентов с помощью ультразвукового генератора и подвод диспергированной жидкости к нагретой поверхности изделий I2) Данные способы относительно просты в аппаратурном оформлении, однако не обеспечивают получения однородных по составу покрытий, особенно при осаждении на внутреннюю поверхность трубчатых изделий. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемом) является способ на2 несения покрытий из неорганических материалов на внутреннюю поверхность трубчатых изделий путем подачи раствора реагентов вдоль покрываемой поверхности,нагретой выше температуры разложения реагентов j3). По данному спскобу раствор реа. S гентов постоянно самотеком движется вблизи нагретой подложки, за счет теплоизлучения последней испаряется и разлагается на ее поверхности с образованием покрытия. Однако этим способом получают покрытия с относительно высокой неравномерностью, достигающей 45%. Целью изобретения является повышение равномерности получаемого покрытия. Поставленная цель достигается тем, что раствор реагентов циклически перемешают is относительно покрываемой поверхности с по. мощью возвратно-поступательного движения плунжера-носителя. Предлагаемый способ обеспечивает повышение равномерности получаемого покрытия (неравномерность его не превышает 5% при толщине около мкм). Кроме того, сушественно повышается однородность свойст покрытий, в частности электросопротивлеиия, по длине иэделия. Способ прост в аппара