Емкостной датчик микроперемещений

 

(44)625130

Союз Советсиик

Социалистических

Респубпин

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 17,0576 (21) 2362164/25-28 (51) М. Кл. ст 01 В 7/00 с присоединением заявки №вЂ”

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет— (43) Опубликовано 250978,Бюллетень № 35 (45) Дата опубликования описания р8р878 (5З) УДК 531. 717 (088,8) (72) Автор изобретения

В.Г.Панов.Саратовский институт механизации сельского хозяйства им. М.И. Калинина (71) Заявитель (54) ЕМКОСТНОЙ ДАТЧИК ИИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Изобретение относится к электро" измерительной технике и может быть использовано для измерения микроперемещений.

Известен емкостной датчик линейных перемещений, содержащий потенциальный и измерительный электродfl).

Основным недостатком известных датчиков является их невысокая точность при измерении микроперемещений. 10

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является емкостной датчик перемещений, содержащий потенциальный, измерительный и экранирующие электроды, обхватывающие потенциальные и измерительные электроды t2j.

Однако значительное увеличение нелинейных искажений при измерении перемещений приводит к снижению точности и уменьшению чувствительности.

Для повышения точности и чувствительности при измерении микроперемещений предлагаемый датчик снабжен фокусирующим электродом, расположенным внутри экранирующего электрода . и выполненным в виде кольца, обхва.тывающего потенциальный и измеритель ный электроды, измерительный электрод выполнен в виде заостренного стержня, а потенциальный электрод - в виде кольца, обхватывающего острие измерительного электрода.

На чертеже изображен предлагаемый датчик. Он имеет измерительный электрод 1, выполненный в виде заостренного стержня и обхваченный потенциальным электродом 2, выполненным в. виде кольца. Измерительный

1 и потенциальный 2 электроды обхвачены фокусирующим электродом 3, выполненным также в виде кольца, все электроды обхвачены экранами 4.

Датчик работает следующим образом, При подаче напряжения от источни ка ЭДС на потенциальном 2 и фокусирующем 3 электродах создаются заряды разного знака «+ ф и + фз соответственно. Изменения электростатического поля, созданного зарядом g вследствие наличия неоднородностей на исследуемой поверхности или ее перемещения„ приводит к изменению потенциала измерительного электрода, соединенного с прибором - преобразователем, с помощью которого выделяется информация о величине перемещения.

Увеличение заряда (электрода 3 относительно величины заряда g> электрода 2 приводит к фокусировке внут625130

Формула . изобретения

Составитель А. Елагин

Техред Н. Андрейчук Корректор M Лемчик

Редактор Т.Шагова

Заказ 5388/35 Тираж 872 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5 филиал ППП Патент, r.Ужгород, ул.Проектная,4 реннего поля, созданного зарядом потенциального электрода.

Концентрация поля заряда 0 полем фокусирующего электрода в небольшой области вокруг острия измерительного электрода приводит к тому, что небольшие перемещения исследуемой поверхности вызывают существенное

;>

-изменение потенциала измерительного электрода, что приводит к повышению точности и чувствительности датчика.

Для уменьшения паразитной емкости между. электродами 1 и 2 измерительный 10 электрод выполнен в виде острия иглы .

Емкостной датчик микроперемещений, содержащий потенциальный, измерительный и экранирующий электроды, обхватывающие потенциальный и измерительный электроды, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения точности и чувствительности, он снабжен фокусирующим электродом, расположенным внутри экранирующего электрода и выполненным в виде кольца, обхватывающего потенциальный и измерительный электроды, измерительный электрод выполнен в виде заостренного стержня, а потенциальный электродв виде кольца, обхватывающего острие измерительного электрода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Ацюковский В.А . Емкостные преобразователи перемещений M. — Ë., Энергия, 1966, с. 9-11.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 339762, кл. 01 В 7/00, 1972.