Устройство для микроперемещений объекта

 

о и "Й"С жН и е иЗбЪФе" "В н и Я

Секзэ Советских

Социалистических

Республик (11) 627311

К АВТОРСКОМУ СВИДЮТВЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свил-ву— (22) Заявлено 28.03.77. (21} 2468338/18-23 с присоединением заявки Ме (51} М. Кл.

6 01 В 7/00 (23) Приоритет

Государственный комитет

Совета й1инистроа СССР оо делам изеоретений и отирытий (45) Дата опубликования описания 14.08.78. (72) Авторы изобретения

В, И. Маринин, В. И. Ерашов и В. А. Коваленко (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА

Изобретение относится к электротехнике, а именно к устройствам для получения прецизионных перемещений объекта и может быть использовано в качестве исполнительного органа систем автоматической юстировки оптико- 5 механических систем.

Известно устройство для получения прецизионных перемещений объекта, использующее электростриктор, выполненное в виде двух идентичных блоков, жестко соединенных между > о собой основанием, и рабочего органа, размещенного внутри блоков (11.

Недостатком данного устройства является то, что зто устройство предназначено для создания линейных микроперемещений по одной оси, что значительно сужает область его применения.

Из известных устройств микроперемешений наиболее близким техническим решением является устройство, состоящее из электрострикто- 2п ра и отражателя, содержащего подложку с отражающим покрьпием с Т-образным пазом, обращенным основанием к приспособлению для перемещения зеркала — электростриктору, Злектростриктор, выполненный в виде пьезокерами- 2 ческого диска, установлен на другой стороне подложки. С внешней стороны пьеэокерамического диска токопроводящий слой разделен на четыре изолированных друг от друга сектора с электрическими выводами для подачи управляющего напряжения (2).

Недостатком данного устройства является сложность изготовления Т вЂ” образного паза в стеклянной подложке.

Целью изобретения является упрощение конструкции устройства.

Для упрощения конструкции в предлагаемом устройстве злектростриктор жестко закреплен на мембране, выполненной в виде металлического диска с ободом и штоком, а сам электростриктор выполнен в виде восьми пьезокерамических дисков, закрепленных по четыре диска с обеих сто юн мембраны попарно один над другим и размещенных под углом 90 .

На фиг. 1 схематически изображено пред. лагаемое устройство; на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фнг. 3 — то же, вид снизу.

Устройство микроперемещений содержит мембрану 1 со штоком 2 для крепления пере(43) Опубликовано 05.10.78. Бюллетень № 37 (53) УДК 621.375.8 (088.8) 627311

Филиал ППП "Патент", г. Ужтород, ул. Проектная, 4 мещаемого объекта. Обод 3 служит для крепления.устройства На обеих сторонах мембраны жестко закреплены попарно один над другим и размещены под "углом 90 по четыре пьезокерамических диска 4 с электродами 5—

12 для подачи управляющего напряжения. Элект- 5 род 13, выведенный с обода устройства, является общим электродом для внутренней стороны пьеэокерамических дисков.

Устройство работает следующим образом.

Напряжение, приложенное к пьезокерамическому диску 4, вызывает уменьшение или увеличение его диаметра. Мембрана 1 под воздействием деформации цьезокерамического диска 4.прогибается и перемещает шток 2. Подача напряжения между восемью соединенными вместе электродами 5-12 и электродом 13 обеспечивает продольное перемещение штока 2.

Подача разнополярного напряжения на электроды 5, 9 и 7, 11 создает угловое перемешение штока 2 в одном направлении, подача раэнополярного напряжения на электроды 6,10 и

8,12 обеспечивает перемещение штока 2 в орто. гональном направлении.

Достоинствами предлагаемого устройства яв25 ляются: высокая технологичность и простота изготовления; возможность применения устройства в качестве исполнительного органа в системах микЗО роперемещений по трем координатам, например, для перемещения предметного столика микроскопа, в системах подачи станков с программным управлением; увеличение диапазона перемещения при од ном и том же управляющем напряжении.

Формула изобретения

1. Устройство для микроперемещений объекта содержащее электростриктор, о т л и ч аI ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции, электростриктор жестко закреплен на мембране, выполненной s виде металлического диска с ободом и штоком.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью увеличения диапазона микроперемещения, электростриктор выполнен в виде восьми пьезокерамических дисков, закрепленных по четыре с обеих сторон мембраны попарно один над другим и размещенных под углом 90

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР И 502426, кл. Н 01 1 41/08, 1974.

2. Авторское свидетельство СССР Р 393790, кл. Н 01 S 3/02, 1970.