Способ изготовления фокусирующего электрода вторично- электронного умножителя

 

Союз Советских

Социалистимеских республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1,639048 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено06.07.77 (21)2503444/18-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.

Н 01 J 43/10

Государственный комитет

Совета Инннотров СССР оо делам нзобретеннй н открытий (43) Опубликовано25.12.78.Бюллетень №47 (53) УДК 537.533. .8 (088.8) (45) Дата опубликования описания 27.12.78

% (72) Авторы изобретения

А. И. Гаприндашвили, В, С. Кортов, А. Н. цаголов и B. Л. Михайлов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОКУСИРУЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА

ВТОРИЧНО-ЭЛЕКТРОННОГО УМ НОЖИТЕЛЯ

Изобретение относится к электронной технике, в частности, к способу изготовления фокусирующего электрода вторично-электронного умножителя.

Известен способ изготовления фокусирующего электрода в виде кольца, заключающийся в штамповке и химической очистке поверхности (1). Недостатком данного способа является частичная коррозия поверхности электрода и вследствие этого ухудшение параметров прибора в целом.

Известен способ изготовления фокусирую-1О щего электрода вторично-электронного умножителя, заключающийся в штамповке электрода с последующей химической обработкой электрода (2) . В этом способе отштампованный электрод из А1 или А1 — Mg — Ag сплава подвергают обработке в водном раст- 15 воре серной, хромовой или углекислоты, что предотвращает коррозию электрода.

Однако при изготовлении известным способом фокусирующего электрода имеет место увеличение фона вторично-электронного умножителя при его работе в условиях интенсивного освещения, так как кванты света после отражения от поверхности исследуемого объекта или непосредственно от источни2 ка света попадают на фокусирующий электрод из тройного сплава AI — Mg — Ag или из

А1, вызывая фотоэлектронную эмиссию. Высокий фон вторично-электронного умножителя при работе в условиях интенсивного освешения снижает его качество, в частности, понижается чувствительность (разрешающая способность), что ограничивает область его применения.

Целью изобретения является уменьшение фона вторично-электронног умножителя при его работе в световых потоках.

Это достигается тем, что заготовку фокусирующего электрода после химической обработки покрывают слоем металла, затем электрод прогревают в воздухе при 300—

500 С в течение 2 — 3 ч.

В качестве указанного металла может быть применен металл из группы AVII, например W, Мо, Та, а также Си.

Ори.мер. Отштампованную заготовку элек-,. трода из А1 или сплава А1,— Mg — Ag помещают в вакуумную камеру при P = 10 —

10 4 торр, подвергают ее очистке в газовом разряде, затем на заготовку при 10 4—

10 торр напыляют слой металла, например, Си. Заготовку фокусирующего электрода с

639048

Форлула изобретения

Составитель Ю. Кутенин

Редактор Т. Клюкина Техред О. Луговая Корректор П.Макаревич

Заказ 7293/42 Тираж 9!8 Подписное

1!ИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и откр ьп ай

I 1 3035, Москва, Ж-35, Раугнская наб., д. 4/5

Филиал Г!11П «Патент», г. Ужгород, ул lроектная, 4 напыленным слоем металла затем прогревают на воздухе в течение 2 — 3 ч при 300—

500 С.

Обработанный таким образом электрод готов для монтажа в приборе.

Покрытие заготовки можно производить не только напылением вышеперечисленных металлов, но и гальваническим путем.

Как показали прямые измерения фонового тока, при температуре прогрева ниже

300 С или времени прогрева меньше 2 ч не удается получить заметного уменьшения фона. Прогрев при температуре выше 500 С или длительнее 3 ч не приводит к заметному улучшению характеристик и не оправдан технологически. 15

Электроды, изготовленные по приведенному способу, позволили резко уменьшить фон вторично-электронного умножителя при работе в условиях интенсивного освещения. Если ранее серийно выпускаемый вторичноэлектронный умножитель ВЭУ вЂ” IA имел при работе в световом потоке ртутно-кварцевой

° лампы (/, ) 250 нм) фоновый ток 10 в А, то после изготовления электрода по предлагаемому способу фоновый ток прибора уменьшился до 2 ° 10 A.

Вторично-электронный умножитель нри этом сохранил высокий коэффициент усиления (10 ), эффективность счета электронов

50 — 70% и темновой ток до 10 9 А, к тому расширилась область его применения.

1. Способ изготовления фокусируюшего электрода вторично-электрон ного умножителя, заключающийся в штамповке электрода с последующей химической обработкой, отличающийся тем, что, с целью уменьшения фона вторично-электронного умноукителя, заготовку фокусирующего электрода после химической обработки покрывают слоем металла, затем электрод прогревают в воздухе при 300 — 500 С в течение 2 — 3 ч.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве указанного мета,зла применен металл из группы АИI.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, гго в качестве указанного металла применена медь.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Соболева Н. А. и др. Фотоэлектронные приборы. М., «Наука», 1965, с. 239 — 249.

2. Авторское свидетельство СССР

_#_e 268554, кл. Н 01 J 43/10, 1970.