Способ измерения вакуума

Авторы патента:

G01L21/12 - с помощью измерения изменений электрического сопротивления измерительных элементов, например нитей; вакуумметры Пирани

(-оеою Советских

« 4иалистических республик

ОПИСЛНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l) Дополнительное к авт. свид-ву .вЂ” (22) Заявлено 220277 (2l) 2454347/10 с присоединением заявки РЙ (23) Приоритет

Опубликовано 050179 Бюллетень Pk

Дата опубликования описания 05017

<"i 641288 (ß) Al. Кл.

G0l L 21/12

1 осуаарстиеиный комитет

СССР но «енам и. обретений открытий (б3) УДК 531.788.6 (088.8) (72) Авторы изобретения

С. П.Логвиненко и А.M.CMoðîäííoâ

Физико-технический институт низких температур

AH Украинской ССР (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ БАКУУМА аТ (1 - вЂ” ), (2) 1 о е

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может найти применение в устройствах для измерения вакуума в широком диапазоне температур.

Известны способы измерения вакуума, основанные на измерении изменения теплопроводности исследуемой сре-. ды 11) .

Наиболее близким является способ измерения вакуума Пирани, который использует зависимость температуры нагреваемого током резистивного термочувствительного элемента от интен- (S сивности рассеивания тепла последним в газовую среду. Интенсивность рассеивания тепла определяется давлением и температурой исследуемой среды (21.

ЯО

Недостатком этого способа является зависимость результатов измерения от температуры среды.

Цель изобретения вЂ” устранение температурной погрешности.

Эта цель достигается тем, что измеряют пронормированное время остывания термочувствительногo элемента после выключения перегревающего тока, Процесс охлаждения термочувствительного элемента после выключения тока определяются уравнением

t ать.> ат Екр,р (т...,+ (С., (,) е о где аТ вЂ” максимальная температура перегрева; аргумент (время);

9„(Ре)- функция теплообмена, определяющая длительность теплообменного переходного процесса, имеющая размерность времени, зависящая только от давления и.теплоемкости исследуемой среды; о(о()- конструктивная константа термочувствительного элемента, имеющая размерность времени. для реализации способа измеряют время,за которое температура перегрева от величины Т уменьшается до величины 4 Т /е, где е вЂ” основание натуральных логарифмов, Т.е.время, за которое максимальная температура перегрева уменьшается на нормированную величину и по результату измерени я, который

3 641288 функционально зависит только от давления газовой среды

Формула изобретения

Составитель Л.Кочураев

Редактор О.филиппова Техред Э.Чужик Корректор Е. Папп

Заказ 7497/Зб Тираж 1089 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5 филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4

9„("@)+y (. О) и не зависит от температуры этой среды, судят о величине вакуума, по заданнойй заранее зависимости знач ения функции теплообмена от давления га-. зовой срецы.

Способ измерения вакуума, основанный на перегреве термочувствительного резистора относительно газовой среды током постоянной мощности, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью устранения температурной погрешности, измеряют пронормированное время остывания термочувствительного элемента после выключения перегревающего тока, и по результату судят о величине вакуума.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

9 348903, кл. 601 L 21/12, 1970.

2. Патент CLtA 9 3580081, кл. 73"399, 1971,