Датчик давления

 

С ввез Сееетскин

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИТЕЛЬСТВУ

liil815538

{61) Дополнительное к авт. свид-ву (22}Заявлено 26.05.79 (21) 2769374/3.8 10 . с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 23.03.8 1..Бюллетень М 3. 1

Дата опубликования описания 23.03.84. (51)М. Кл.

Ст 01 L, 21/12

Гвнрврвтеенный ннинтет

СССР йн дэнам нзабрвтвннй. н ещьтнй (53) УДК 533.. .787(088.8) (72) Авторы изобретения

Л. М; Блюмкин и М. Я. Липкес

1 (7f) Заявитель (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к технике измерения давления, в частности к вакуумметрическим преобразователям, и может быть использовано для измерения давления разреженного газа в вакуумных уста5 новках различного назначения.

Известны датчики давления, основанные не генловых методах измерения давления в вакуумных системах 1 .

Наиболее близким к предлагаемому по о технической сущности и достигаемому эффекту является датчик девления, содержащий термореэистивный элемент, подключенный к источнику питания. Терморезисгивиый элемент нагревается проходя l5 щим через него электрическим током; молекулы разреженного газа ocymecrsляют перенос тепла от нагреваемого элемента. Значение давления определяется но изменению сопротивления. терморезисгивного элемента $2(.

Однако датчики обладают недоста"очно высокой чувствительностью, е диапазон измеряемых давлений ограничен.

Бель изобретения — увеличение чувствительности датчика и расширение диапазона измеряемых давлений. Поставленная цель достигается тем, что термореэистивный элемент выполнен в виде консолй из гензочувсгвительного материале с диэлектрическим покрытием, причем материалы гермореэистивного элемента и покрытия выбраны с различными коэффитвиентами температурного расширения. Покрытие на терморезистивном элементе датчика может быть выполнено многослойным ..

Не фиг. l изображен предлагаемый датчик давления, общий вид; на фиг. 2— то же, ио при другой температуре.

Нагреваемый током терморезистивный элемент датчика 1 имеет консолеобразиую, в частности, П-образную, форму и выполнен иэ тенэочувствигельного материала, например кремния. Консолеобразная выступающая часть имеег покрытие 2 из диэлектрика, например из двуокиси кремния, с коэффициентом линейного расширения, отличающимся от коэффициента линейного расширения тензочувствительного материала. Нагреваемый током элемент датчика закреплен в держателе 3 таким образом, что выступающая консолеобразная часть датчика может беспрепятственно изгибаться под действием возникающих при изменении температуры напряжений. К датчику подходят токоподводы 4.

Датчик работает следующим образом.

Понижение давления разреженного газа вызывает увеличение температуры терморезистивного элемента датчика и, в соответствии с температурным коэффициентом сопротивления материала, изменение его электрического сопротивления.

Кроме того, изменение температуры терморезистивного элемента датчика при изменении давления благодаря указанным конструктивным особенностям приводит к изгибу выступающей (консолеобразной) части нагреваемого электрическим током элемента датчика консолеобразной формы (фиг.2), Изгиб, деформация элемента, в свою очередь, вызывают дополнительное изменение сопротивления датчика и обес, печивают дополнительное увеличение сигнала. Т аким образом, о тличи тельные особенности конструкции датчика давления специально предусматривают создание условий для возникновения механи5538 4 ческих напряжений, приводящих к дефор- . мации, и их использование для повышения чувствительности и расширения диапазона измеряемых давлений, Использование предлагаемого устройства позволяет увеличить выходной сигнал и чувствительность датчика и расширить диапазон измеряемых давлений.

Формула изобретения

Датчик давления, содержащий терморезистивный элемент, подключенный к ис точнику BH1 8H 11, O т JI H ч 8 ю щ H йс я тем, что, с целью повышения чувствительности и расширения диапазона измерения, терморезистивный элемент вы. полнен в виде консоли из тензочувствительного материала с диэлектрическим покрытием, причем материалы терморезистивного элемента и покрытия выбраны с разными коэффициентами температурного расширения.

И=точники информации, принятые во внимание при экспертизе

l.Востров Г. и др. Вакуумметры. Л., 1967, с. 5 l.

2.Лоцгпа8 Ok Р1иь сь Ьег. E 5cjeh30 .1 .1 -„ 311 1 . 976, 9, Ию 4, р. 26l262(прототип) .

Составитель В. Козлов

Редактор A. Шишкина Техред М.Голинка Корректор B. Синицкая

Заказ l02l/69 Тираж .907 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

3.13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д; 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4