Вакуумный адсорбционный насос

 

Союз Советских

Социалистимеских

Республик

О П И C А Н И Е IIII If >5()g

ИЗОБРЕТЕН ИЯ (6l) Дополнительное к авт. свил-ву— (22) Заявлено 01.04.76 (21) 2342570И5-06 с присоединением заявки ¹(23) ПриоритетОпубликовано 15.01.79к5юллетень № 2

Дата опубликования описания 18.01.79

2 (51) М. Кл

F 04 В 37/02

Государственный квинтет

СССР оо делам нзооретеннк н открытий (53) УДК 621.527..8(088.8) (72) Авторы изобретения

В. И. Бойцов, С. А. Ковбаса, Э. Ф. Шургапьский ) и Н. П. Юшин

Московский институт химического машиностроенитт (71) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ А ИСОРБИИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Изв ес ген вакуумный насос, содержащий корпус с адсорбентом и электрод (1).

Однако у известного насоса малое быстродействие и небольшая адсорбционная емкость., Известен также вакуумный адсорбционный насос, содержащий корпус и размещенный в нем двухстенный цилиндрический сосуд, межсгенное пространство которого заполнено хладагенгом, а на внутренней поверхности закреплен адсорбент (Недостатком этого. насоса является малая быстрота откачки, связанная с высокой скоростью десорбции.

1Лелью изобретения является увеличение быстроты откачки.

11ель постигается тем, что в корпусе над сосудом установлен анод, соединенный с блоком питания, и катод, расположенный со сгороны нижнего торпа сосуда, при ч .м апсорбен г рпсполс ж и II I пли-, не, составляющей О, 1 — 0,3 от ттасстояния между анодом и катодом.

На чертеже изображен пропольный разрез насоса.

Вакуумный апсорбционный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем пвухсгенный цилиндрический сосуд 2, межсгенное пространство которого заполнено хлапагентом, а на внутренней поверхности закреплен адсорбенг 3. В корпусе 1 над сосудом 2 установлен анод

4, соединенный с блоком питания 5, и катод 6, расположенный со стороны нижнего горца сосупа 2, а адсорбенг 3 расположен на длине, составляющей О, 1

0,3 ог расстояния L между анодом 4 и к а т одо м 6.

Пля удлинения столба разряда и увеличения вероятноеTH ионизации нагекаю20 щего газа, насос мож-г быть снабжен м магнитом 7.

Вакуумный ппсорбпионпый насос работ пег счепук>щнм образом.

Лвухсгенный цилиндрический сосуд 2 заполняют хладагентом, например жидким азогом, включают блок питания 5, подающий на анод 4 высокое напряжение (до 7-10 кв). Молекулы газа, по- s падая в зону разряда между катодом 6 и анодом 4, ионизируются, а затем адсорбируюгся на адсорбенте 3.

Быстрота откачки при этом увеличивается в 3 раза, адсорбционная емкость lo адсорбента — в 6-10 раз.

Формула изобретения

1. Вакуумный адсорбционный насос, 15 содержащий корпус и размещенный в нем двухстенный цилиндрический сосуд, межстенное пространство которого заполнено хладагенгом, а на внутренней поверхности закреплен адсорбенг, о г л н ч а ю— шийся тем, что, с целью увеличения быстроты откачки, в корпусе над сосудом установлен анод, соединенный с блоком питания, и катод, расположенный со стороны нижнего торца сосуда.

2. Насос по и. 1, о г л и ч а ю— ш и и с я тем, что адсорбенг расположен на длине, составляющей 0,1-0,3 от расстояния между анодом и катодом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство ¹ 228850, кл. F 04 В 37/02, 1966.

2. Волчкевич A. И. Высоковакуумные адсорбционкые насосы, М., "Энергия, 1973, с. 131.

UHИИПИ Заказ 7724/35 Тираж $77 Подписное

Филиал ППП Патент", г. Уж ород, ул, Проектная, 4