Стекло
ОП ИСАНИЕ
Союз Советских
Социалистических
<,,672165 (72) Авторы изобретения
Г, И. Артамонова, Э. Н. Каплина и Т. Н. Половникова
Государственный научно-исследовательский институт стекла (7I ) Заявитель (54) СТЕКЛО l5
Изобретение относится к составам легкоплавких стекол, используемых преимушественно в качестве изолируюших покрытий в полупроводниковой и радиоэлектронной промышленности.
Известно стекло, применяемое для герметизации активных элементов полупроводниковых приборов, содержашее
Р1) С 65-75; 5j Од 8-12; ВдО 7-8;, и 0 5-15; COO 0,5-3;Сс10 0,5-1,5;
AP. О (11. Указанное стекло иомеет температуру оплавления 420-430 C н коэф фициент линейного термического расширения 85 10 1/+C
Наиболее близким к изобретению является стекло, содержашее следуюшие компоненты, вес. %: РЬО 75,8-77,3
3 О 8,0-90
Ss О 3,7-4,7
AE,О, 1,5 2.,0
H кроме того, МрО 8 5g 5 (2) .2
Стекло этого состава имеет темпера. о туру оплавления 460:И.О С, коэффициент линейного термического расширения
< SO+5) 1О-7 Ио Целью изобретения является снижение температуры оплавления стекла.
Это достигается тем, что описываемое стекло, включаюшее РЬО, В О,%0
А О, дополнительно содержит:ит
Мп О и PzO при следуюшем соотношении указанных компонентов, вес.%:
Рц О 79-85
ВЯОЭ 4-6,5
S1 О2 2
АЕ О . 0.5-2
МП2О . 015,5
Р О 0,3-1.
Введение в состав стеклаМ1 0 овместно с Р 0н снижает температуру размягчения стекла, н кроме того, снижает способность к восстановлениюРЬО, что обусловливает постоянство электрических характеристик изделий с покрытием из предлагаемого стекла при дли797 82 828 80 81 845
5,3 6,5 4 5,8 4,5 4
8203
81 0
АО20>
hAnz0
12 8 10 92 11 84
0,5 1,5 2 0,7 1,0 2
15 1 07 40 17 05
Таблица 2
Физико-механические свойства материалов
Гемпература оплавления, С
314 305 306 310 308 300
Коэффициент термического расширения
10 (1/ С) 85 88 89 89
87 93
Диэлектрическая проницаемость
6,5 7,0 6,8 7,9 8,3
9,3
Удельное объемное сопротивление, ом см
1076 1016 10 16 10 5Р 1016 10 5
Адгезия к электровакуумному стеклу, кг/см
190 190 190, 190 190 190
Химстойкость (потери веса) к воде
002 003 002 003 002 0035 к 0,1 ИНСК, мг/дм й
47 52 48 55
5,6 6,1 о
Температура варки, С
1000 1000 1000 950 1000 1000
3 67216 тельной эксплуатации. Изолируюшее покрытие обеспечивается толшиной 5070 мкм.
В таблице приведены конкретные ( примеры составов стекол.
Физико-механические свойства этих материалов показаны в табл. 2.
В качестве сырьевых материалов для варки стекла могут быть использо<а
5. 4 ваны: окись свинца, борная кислота, кремневая кислота, фтористый алюминий, окись марганца, фосфорнокислый аммоний марки "Ч" и ХЧ .
Предложенное стекло относится к типу химически стойких изолируюших легкоплавких стекол и предназначено для использования в радиоэлектронной промышленности в качестве тонкопленочных покрытий материалов.
Таблица 1
05 03 08 06
S 67
Формула изобретения
Стекло, включающее РоО, 5 О, g О
Ak
РЬ 0 79-85
В О. 4-6,5
51О2 8 12
2 3
М дО 0,5-4,5
Р О 0 3-1,0 °
Источники информации, принятые во внимание при акспертизе
1. Авторское свидетельство СССР № 349652„C 03 С 3/10, 1971.
2. Авторское свидетельство СССР
¹ 471319, С 03 С 3/12, 1973.
Состав игель Э. Каплина
Редактор И. Квачадзе Техред М. Келемеш Корректор Н. Горват
Заказ 3822/23 Тираж 555 Подписное
БНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035,. Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4
