Изобретение относится к измерительной технике в оптическом диапазоне электромагнитных волн, а более конкретно к способам измерения субмикронных шероховатостей поверхностей.

Известен способ определения чистоты обра-, 5 ботки поверхностей, заключающийся в том, что световой поток направляют на контролируемую поверхность и регистрируют световой поток, отраженный от нее (1).

Основным недостатком данного способа явля- 1О ется низкий уровень погеэного сипила после одноразового рассеяния света на шероховатостях поверхности.

Наиболее близким по технической сущности к предложенному является способ оценки шеро- т5 ховатости поверхности, заключающийся в том,что на контролируемую поверхность направляют световое излучение, регистрируют излучение,рассеянное контролируемой поверхностью, и поградунровочным кривым оценивают шероховатость поверхности (2).

Недостатком данного способа является его невысокая чувствительность, обусловленная потерями излучения при отражении от поверхности.

Целью изобретения является повышение чувствительности способа.

Указанная цель достигается за счет того, что на контролируемую поверхность наносят диэлектрическую пленку, устанавливают на нее призму с нанесенным на ее основание закритическим слоем связи и направляют излучение на контролируемую поверхность через призму, На чертеже представлено устройство, реализующее способ.

Излучение от когерентиого источника 1 через связующую среду 2, например призму с нанесеннвтм на нее закритическим слоем 3 связи, возбуждает. в пленке 4 на исследуемой поверхности 5 волновую резонансную моду, многократно рассеиваемую на поверхности 5 и высвечиваюшуюся в линию 6, регистрируя которую по градуировочным кривым, находят функцию спектральной плотности шероховатостей поверхностей.

Сущность способа заключается в том, что свет от когерентного источника 1 многократно

678276

ЦНИИПИ Заказ 4542/27 Тираж 866 Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород ул. Проектная, 4

3 рассеивается на шероховатостях исследуемой поверхности, являющейся частью оптического волновода, и излучается в виде узкой дуги.

Оптический волновод может быть образован с нанесенным на ее основание закритическим шоем связи, диэлектрической пленкой на исследуемой поверхности и самой поверхностью.

Диэлектрической пленкой на исследуемой поверхности может служить жидкость с большим показателем преломления (например, нитробен- f0 . эол), или легко смываемая органическая плеМка {например, полистирол илн полиметилметакри лат). Электромагнитное поле световой волны, рассеивающееся на шероховатостях исследуемой поверхности, переизлучается в дугу, лежащую на конусе, с центром rr области рассеяния и. осью, перпендикулярной Ьлдскости поверхности.

Предлагаемый способ позволяет существенно повысить чувствительность способа оценки шероIE ховатости за счет значительного повышения нн- 2о тенсивности света, рассеянного на субмикронных шероховатостях.

Если для одноразового отражения интенсивность рассеянного света можно записать как

Ja где f. вЂ” интенсивность рассеянного света;

@ вЂ” ийтенсивность падающей волны; ) вЂ” некон1рая функция спектральной плотности шероховатостей, угла рассеяния, длины волны излучения и тд., 4 то при . многократном отражении:интенсивность рассеянного света (g 1е «cl<) в тех же условиях равна (= g Q и, где М вЂ” число отражений на поверхности.

Таким образом, интенсивность многократно рассеянного света в N раз выше интенсивности света при. однократном отражении от поверхности, что в итоге приводит к повышению чувствительности способа.

Фо рмула изобретения

Способ оценки шероховатости поверхности, заключающийся в том, что на контролируемую . поверхность направляют световое излучение, регистрируют излучение, рассеянное контролируемой поверхностью, и по градуировочным кривым оценивают шероховатость поверхности, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения чувствительности способа, на контролируемую поверхность наносят диэлектрическую пленку, устанавливают на нее призму с нанесенным на ее основание закритическим слоем связи и направляют излучение на контролируемую юверхность через призму.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Авторское свидетельство СССР У 508670, кл. 6 01 В 11/30, 1972.

2. Карташев А. И. Шероховатость поверхнос. ти и методы ее измерения. Госкомстандартов мер и измерительных приборов СССР. М., 19б4, с. 101 вЂ” 106,

Устройство для разметки положения узлов в аппаратах колонного типа и монтажа этих аппаратов // 667795

Бесконтактный фотометрический способ измерения высоты шероховатости поверхности непрозрачных образцов // 654853

Устройство для контроля качества поверхности пластин // 654852

Способ измерения шероховатости поверхности при ее обработке на станке // 641275

Фотоэлектрическое устройство для контроля прямолинейности // 641274

Устройство для контроля качества обработки отверстий деталей // 637705

Устройство для контроля диффузноотражающих поверхностей // 637704

Оптическая линейка для контроля отклонения поверхности от прямолинейности // 632899

Устройство для контроля радиусов кривизны и местных ошибок оптических поверхностей деталей // 629447

Устройство для определения качества поверхности // 2104480

Изобретение относится к медицинской промышленности, в частности, к способу получения реактива для определения активированного парциального тромбопластинового времени (АПТВ) из отходов производства соевого лецитина

Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления // 2107893

Устройство для измерения шероховатости и волнистости поверхности при фиксированных значениях базовой длины // 2116616

Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля выпуска продукции с регламентированными параметрами шероховатости и волнистости в металлургической, машиностроительной, электронной, оптической, полиграфической промышленности, в самолетостроении, в технологиях нанесения покрытий

Устройство для измерения поверхностных характеристик // 2124701

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Способ и устройство для высокоточного бесконтактного измерения расстояний поверхностей // 2148790

Изобретение относится к области оптических измерений, прежде всего шероховатости поверхностей

Способ контроля параметров наружной резьбы и устройство для его осуществления // 2151999

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих наружную резьбу

Способ контроля параметров внутренней резьбы и устройство для его осуществления // 2152000

Способ детектирования положения линии сгиба на упаковочном полотне и устройство для его осуществления // 2153160

Изобретение относится к способу детектирования положения линии сгиба или аналогичной неровности на движущемся упаковочном полотне на подобном материале

Устройство для определения шероховатости поверхности // 2156437

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении шероховатости сверхгладких поверхностей, например плоских зеркал, полированных подложек и т.п

Устройство для контроля шероховатости поверхности изделия // 2156955

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для контроля шероховатости поверхности изделия