Способ изготовления пьезоэлектрических устройств

 

! ".- Ж1! .

E О П

ИЗОБРЕТЕНИЯ ИСАНИ

Союз Советских

Социалистических

Республик

<»> 686143

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07.04.78 (21) 2600461/18 — 23 с присоединением заявки >чЪ (23) Приоритет (51)М. Кл.

Н 03 Н 3/02

ГееудеретвввнвЖ кемвтет

СССР ее делен кзеврвтвкв» в втхрита»

Опубликовано 15.09 79. Бюллетень,% 34

Дата .опубликования оннсання 15.09.79 (53) УДК 621:372, .412 (088.8) А. А. Бронников, Л. Л. Вепринский, Р. Г. Кнтабов, В. П. Крючкова и О. А. Мещеряков (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

УСТРОЙСТВ

Изобретение относится. к области радиоэлектроники и может использоваться при изготовлении кварцевых резонаторов, пьезоэлектрических фильтров и других пьезоэлектрических устройств.

Известен способ изготовления пьезоэлектрических устройств, по которому между пьезоэлеS ментом и основанием корпуса вводят тепловой экран, например, в виде слюдяного диска, и производят нагрев области соединения стеклянного баллона с основанием с помощью газовом горелки смесью бутан-пропана с кислородом до

1200 С с последующим охлаждением, после чего проводят вакуумирование через штенгель баллона (11.

Недостатком этого способа является низкая технологичность из-эа необходимости введения l5 теплового экрана для зашиты пьезоэлемента от воздействия высоких температур, развивающихся при заварке, а также наличия раздельных . операций соединения основания с корпусом и

Ю вакуумировання.

Известен способ изготовления пьезоэлектрических устройств, по которому между стеклянными баллоном и основанием корпуса вводят металлическое кольцо, помещают их в вакуумную камеру производят нагрев н выдержку с последующим охлаждением (21. По этому способу нагрев производят токами высокой частоты, Недостатком этого способа является недостаточно высокая надежность изготовленных пьезоэлектрических устройств иэ-за действия локального перегрева баллона и основания, ведущего к появлению в них микротрещин.

Целью изобретения является повышение надежности пьезоэлектрических устройств.

Это достигается тем, что по предлагаемому способу прн изготовлении пьезоэлектрических устройств предварительно проводят окисление поверхности металлического кольца на воздухе, а перед помещением в вакуумную камеру сдавливают баллон с основанием, Кроме того, Величину давления прн сдавлнванин устанавливают 0,3 — 0,5 кг/мма, давление в вакуумной -з -4 камере — 10 — 5 ° 10 мм рт. ст. температуру— на 100 — 150 С ниже температуры размягчения

1 стекла баллона и основания, а время выдержки тстанавлнвают 15 — 20 мин.

3 68

По предложенному способу между стеклянным баллоном -н основанием, выполненным, например, иэ стекла с — 49 — 2, помещают металлическое кольцо, например, иэ меди. Кольцо предварительно окисляют на воздухе до закиси

Си О. Сдавленные с усилием,0,3 — 0,5 кг/мм баллон с основанием помещают в камеру вакуумной установки, в которой выдерживают их в течение 15 — 20 мин при 480 С. При этом одновременно с соединением основания с баллоном происходит вакуумирование пьезоэлектрического устройства. Микротрещин в баллоне и основании при изготовлении таким способом не образуется.

Предложенный способ обеспечивает высокие надежность пьезоэлектрических устройств при их эксплуатации и процент выхода годных при их изготовлении.

1. Способ изготовления пьезоэлектрических устройств, при котором между стеклянными

Составитель В. Банков

Техред З.Фанта Корректор Е. Папп

Редактор В. Трубченко

Заказ 5483/54 Тираж 1060 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r Ужгород, ул. Проектная, 4 !

Формула изобретения

6143 4 баллоном и основанием корпуса вводят металлическое кольцо, помещают их в вакуумную камеру, производят нагрев и выдержку с последующим охлаждением, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, цредварительно проводят окисление поверхности металлического кольца на воздухе, а перед помещением в вакуумную камеру сдавливают баллон с основанием.

t0 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что величину давления при сдавливании устанавливают 0,3 — 0,5 кг/мм давление в вакуумной камере — 10 — 5 ° 10 им рт. ст. температуру — на 100 — 150 С ниже температуры раз15 мягчения стекла баллона и основания, а время выдержки устанавливают 15 — 20 мин.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Глюкман Л, И. Пьезоэлектрические кварто цевые резонаторы "Энергия", Л., 1969, с. 200—

202.

2. Ярославский М. И. и др. Конструирование, изготовление и применение кварцевых резонаторов "Энергия", М., 1971, с. 91.