Изобретение касается технологии электронного и оптического приборостроения, в частности получения тонких пленок высокочастотным распы5 лением диэлектрических мишеней.

Известно получение оптических пленок способом высокочастотного катодного распыления мишеней из поликристаллических диэлектрических материалов, прозрачных в оптическом диапазоне спектра -оптической керамики (иртранов ) (1) .

Для распыления диэлектрических мишеней в высокочастотном поле необходимо нанести на их обратную сторону эле ктропроводный, металлический слой для стока зарядов,припайки к держателям и лучшего охлаждения.

Металлиэация, используемая для обычной керамики как метод вжигания металлосодержаших паст (2), для оптической керамики неприемлема вслед" ствие потери оптической прозрачности мишени и получаемой при распылении этой мишени пленки.

25 Наиболее близким к предлагаемому является способ получения керамических изделий методом горячего прессования (3) . Известным методом полу- . чают заготовки методом холодного прессования, а затем заготовки устанавливают в пресс-формы из ни- келевого сплава, которые предварительно термообрабатывают в окислительной среде при Т=1000 С в течение

15 мин °

Однако таким методом невозможно получи ть элек тропров одное покрытие на керамике вследствие образования окисной пленки.

Целью изобретения является получение электропроводного покрытия на оптической керамике.

Это достигается тем, что в способе изготовления иэделий из оптической керамики путем холодного формования заготовок с последующим горячим прессованием в пресс-формах иэ хромоникелевого сплава, которые перед формованием заготовок подвергают предварительной термообработке, на поверхность пресс-формы предварительно наносят слой углерода, термообработку осуществляют при температуре 200-450 С в течение 30-60 мин.

Предварительная подготовка прессформы позволяет получать на одной Hs поверхностей заготовки оптической

687050

Формула изобретения

Составитель С. Шахиджанова

Редактор N. Рогова Техред Н.Ковалева КорректорГ ° Решетник

Заказ 5652/23 Тираж 702 Подписное

ЦНКИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент ., г. Ужгород, ул. Проектная, 4 керамики высокопрочный алек тропров ,водный слои. =)тот слой образуется в вакууме благодаря взаимодействию в присутствии углерода элементов нивЂ” келя и хрома, входящих в состав сплава для пресс-формы, сцинк,ом серни- 5 стым.

Пример 1. На образующие по1 ерхности пресс-формы из хромоникеевого сплава следующего состава, Ъ:

h4 основа, Cr 17-20, Х 4,0-5,0, 1О

Мо 4,0-5,0, Ti 2,2-2,8, А3 1,0-1, 5

Г к 4,0 (по ГОСТ 5632-61) наносят слой углерода..В качестве углеродсодержащего покрытия используют лак, насыщенный сажей. Пресс-форму помеща- 15 ют в печь, нагревают до 200+20 С, выдерживают при этой температуре в течение 60 мин и охлаждают.

В подготовленную таким образом пресс-форму засыпают порошкообраз- 2О ный цинк сернистый. Холодное прессование проводят при давлении 0 1вЂ”

0,3 т /cM . Предварительно запрессованный компак т подвергают горячему прессованию в вакууме (1-3) х 25 х10",мм от. ст. при температуре 830+20 С, давлении 2 т/см в течение 30-60 мин с изотермической выдержкой при 400вЂ”

500 С в течение 60 вЂ 1 мин.

Пример 2. На образующие поверхности пресс вЂ фо1 из хромоникелевого сплава состава,айалогичного приведенному в примере 1, наносят слой углерода ° В качестве углеродсодержащего покрытия используют битумный лак.з

Пресс-форму помещают в печь, нагревают до 450+10 С, выдерживают при этой температуре в течение 30 мин, охлаждают. Процесс холодного брикетирования и горячего прессования цинка сернистого ведут аналогично при- 40 меру l.

Полученные таким образом заготовки мишени из цинка, сернистого имеют плотность 4,09 r/cM, механическую

Э х прочность б кгс/см =7,9 при комнат- 45 ной температуре (по методу центрального кольцевого изгиба) . Прозрач,ность в диапазоне 2-14 мкм. Полученное покрытие имееет толщину 1-5 мм, высокую прочность сцепления с заго- 5О товкой оптической керамики. Покрытие электропроводно и имеет при комнатной температуре электросопротивление 10 ом .

Предлагаемый способ экономичен, â€”,àê как позволяет получать заготоввЂ” к и мишеней для высокочастотного к а тодного распыления без дополнительной технологической операции вЂ” металлизации поверхности мишеней путем испарения в вакууме, процесс металлизации поверхности мишени происходит непосредственно в процессе прессования заготовки мишени.

Предлагаемый способ позволяет получать заготовки мишеней для работы в условиях нагрузок и температур.

Благодаря прочному сцеплению электропроводного покрытия с заготовкой керамики, отслаивание покрытия не происходит, что позволяет увеличить скорость распыления до 10 А/сек. ЗаготоввЂ” ки мишеней, полученные предлагаемым способом, применяются при высокочастотном катодном распылении для получения пресветляющих и пассивирующих пленок .

Способ изготовления изделий из оптической керамики путем холодного формования заготовок с последующим горячим прессованием в пресс-формах из хромоникелевого сплава,которые1" перед формованием заготовок подвергают предварительной термообработке, отличающийся тем, что, с целью получения электропроводного покрытия на керамике, на поверхность пресс-формы предварительно наносят слой углерода, термообработку осуществляют при температуре 200-450 С в течение 30-60 мин.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Appe . Opt., 1977, 16, 9 5, 1 214.

2 Патент CttJA 9 2969570 кл. 428-336, опублик. 1976.

3. Авторское свидетельство СССР по заявке 92329995, кл.С 04 В 35/00, 1976 .