Способ изготовления тонкопленочного конденсатора
Способ изготовления тонкопленочного конденсатора, включающий нанесение слоя оксида тантала или ниобия и слоя оксида кремния, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических характеристик, слой оксида кремния наносят многократной попеременной обработкой слоя оксида тантала или ниобия при температуре 100 - 180oC в вакууме парами четыреххлористого кремния и воды, причем толщина слоя оксида кремния составляет 10 - 100 
Похожие патенты:
Тонкопленочный конденсатор // 479163
Высоковольтный импульсный конденсатор // 382156
Тонкопленочный конденсатор // 363127
Тонкопленочный конденсатор // 329582
Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано для производства слюдобумажных импульсных конденсаторов
Плоский электрический конденсатор // 2335820
Изобретение относится к области электротехники, к конденсаторам постоянной емкости, в частности к плоскому трехслойному конденсатору
Изобретение относится к нанослойным структурам типа металл-диэлектрик-металл для микроэлектроники
Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано для производства слюдобумажных конденсаторов
Изобретение относится к электротехнике, а именно к устройствам-накопителям электроэнергии
Конденсатор // 2087972
