Емкостный датчик

 

О П И С А Н И Е (ii)7l2857

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик и АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 13.03.78 (21) 2589727/18-21 с присоединением заявки ¹ (51) М. Кл. К 01а т 02

G 01R 27/26 по делам изобретении (43) Опубликовано 30.0 1 .80. Бюллетень № 4 (53) УДК 621.319.4 (088.8) и открытий (45) Дата опубликования описания 30.01.80 (72) Автор изобретения

В. Ф. Костин (71) Заявитель

Воронежский политехнический институт (54) ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК

Фор мула изобретения

ГосУдаРственный комитет (23) 11риоритет

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано для измерения электрических параметров диэлектрических пленок, наносимых электрохимическим способом на металлические основы.

Известен емкостный датчик, содержащий диэлектрическое основание и размещенные на нем измерительный и охранный электроды (11.

Недостатком этого датчика является низкая точность измерений.

Наиболее близок к изобретению IIo технической сущности емкостный датчик, содержащий диэлектрическое основание и размещенные на нем измерительный и охранный электроды,(2).

Недостаток такого датчика состоит в низкой точности измерения, обусловленной влиянием краевых эффектов.

Цель изобретения — повышение точности измерения.

Достигается это тем, что в емкостном датчике, содержащем диэлектрическое основание и размещенные на нем измерительный и охранный электроды, диэлектрическое основание снабжено буртиками, между которыми расположен охранный электрод.

На фиг. 1 изображен емкостный датчик, общий вид; на фиг, 2 — разрез А — А на фиг. 1.

Емкостный датчик содержит диэлектрическое основание 1, буртики 2, между которыми установлены измерительный 3 и охранный 4 электроды. На фиг. 1 изображено

5 также несколько силовых (сплошных) и эквипотенциальных (пунктирных) линий электрического поля, образованного электродами 3, 4, датчика, фольгой 5 с диэлектрическим слоем 6, в соответствии с которы10 ми выбирается форма буртиков.

Буртики имеют форму, которая соответствует конфигурации электрического поля, образованного электродами датчика и фольгой.

15 Такая конфигурация основания и буртпков повышает точность измерения, снижает критичность расстояний между электродами и фольгой, резко уменьшает влияние краевых эффектов, расширяет область использования датчика для измерения электрических параметров диэлектрических пленок в процессе их производства на промышленных агрегатах.

Емкостный датчик, содержащий диэлектрическое основание и размещенные на нем измерительный и охранный электроды, о тл и чающий с я тем, что, с целью повы712857 иг.

Фиг. 1

Составитель А. Чачинский

Тех р ед А. Камыш ни кова Корректор В. Дод

Редактор И. Грузова

Заказ 2795IIII Изд. ¹ 135 Тираж 857 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4!5

Типография, пр, Сапунова, 2 шепия точности измерений, диэлектрическое основание снабжено оуртиками, между которыми разме1цен охранный электрод.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетелвство СССР № 438919, кл. G 01U 27/22, 1974.

2. Автоматика, электроника, автоматизация измерений. Сборник трудов БПИ, 1969, 5 с. 9 — 11 (прототип).