Фотошаблон

Авторы патента:

B41M3/08H05K3 - Способы изготовления отдельных видов печатной продукции, например рисунков (особые узоры или рисунки как таковые B44F; изготовление электрических печатных схем H05K 3/12)

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советсиых

Соцйаяыетычйскых

Республик

< > 715362 (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) ЗаЯвлено 30.12.74 (21) 2092087/28-12 с присоединениеа1заявки Рй (5I)M. Кл.

В 41 М 3/08

Н 05 К 3/00

6ааущара1вамма ква1ктвт

ЫФР

1 ааааа к абратеивй н еткрыткв (23) приоритет

Опубликовано 15.02.80 Бюллетень At 6 (53) УДК

778.644 (088.8) Дата опубликования описании 20.02.80

Г, П, Сергйенко, А..П. Кауфман и В. И. Кимарский (54) ФОТОИАБЛОН

Изобретение относится к технологии произ. водства радиоэлектронной аппаратуры, в част ности, к изготовлению фотошаблонов, применяемых в фотолитографических процессах при производстве интегральных схем.

Известен фотошаблон, состоящий из про5 зрачной стеклянной подложки, с нанесенным на нее маскирующим металлическим слоем, в котором выполнено изображение требуемого рисунка, и защитным слоем, расположенным на маскирующем слое (1).

Недостатком известного фотошаблона являются скрытыетрудно контролируемые дефекты в поверхностном слое стеклянной подложки (выколки стекла, царапины, выступы). Эти

15 дефекты появляются во время механической и химической обработки подложки и являются причиной образования проколов в металлиэированном слое (на месте буторков и выступов в подложке), плохой адгеэии металлизированного слоя к стеклу и включении невьправленной металлической пленки в светлом поле азотошаблона (на месте царапин и выколок в подложке).

Целью изобретения является повышение качества фотошаблона путем исключения влияния дефектов на маскирующий слой.

Это достигается тем, что защитный слой размещен между подложкой и маскирующим счоем.

Обеспечение поверхностного слоя стеклянной подложки защитным слоем нитрида кремния предупреждает трансформацию дефектов подложки в маскирующий слой.

На чертеже показан предлагаемый фотошаблон.

Фотошаблон состоит иэ прозрачной стеклян: ной подложки 1, поверхность которой защищена слоем 2 ннтрнда кремния. Изображение требуемой функциональной схемы выполнено в маскирующем слое 3, например, их хрома, нанесенном на защитный слой 2.

Защитный слой 2 наносится на поверхность стеклянной подложки 1 после подготовки последней известными методами механической и химической обработки.

В процессе химической и механической обработки стеклянной подложки 1 в ее поверхСоставитель В. Юсков

Техред Н Бабурка Корректор М. Шароши

Редактор Н. Козлова

Заказ 9426/15 Тираж 434

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открьпий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раутпская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 71 ностйом Слое образуются дефекты (выколки, бугорки, царапины), являющиеся практически. единственной причиной выхбда из строя -фотошаблонов во время эксплуатации.

Нанесение нитрида кремния на подложку

1 производится в камере реактивного распы"ления, например, с помощью установки УРМЗ.

279.013.

Условия режима нанесения нитрида кремния: давление азота в вакуумной камере

3 10 мм рт.ст; анодный ток 1а к = 80 ма; напряжение распыления мишени Орасп. =

= 1,25 кв; скорость роста пленки нитрида кремния

U = 12 А/мин. температура подложки в процессе осаждения пленки 280 С; толщина наносимой пленки нитрида кремния d "1000 А.

В процессе нанесения нитрида кремния на стекло обеспечивается высокая адгезия этих слоев, благодаря, тому, что коэффициенты линейного расширения стекла и нитрида кремния имеют противоположные знаки.

Маскирующий слой 3, в данном случае из хрома, наносят на слой 2 известными метода5362 4 ми вакуумного распыления и создают в нем требуемое изображение, пользуясь известными методами фотолитографии.

Благодаря размещению слоя нитрида кремния между подложкой и маскирующим слоем обеспечивается . стабилизация поверхностного слоя стекла неразрушаемым в дальнейшем технологическом процессе слоем нитрнда кремния. Это предупреждает трансформацию де10 фектов поверхности стекла в маскирующий слой, благодаря чему повышается качество фотошаблона по сравнению с известным.

Формула изобретения

Фотошаблон, содержащий стеклянную подложку с маскирующим слоем и защитным слоем из нитрида кремния, отличающийся эо тем, что, с целью повышения его качества ny ì исключения влияния дефектов на маскирующий слой, размещен между подложкой и маскирующим слоем.

Источники информации, 25 принятые во внимание при экспертиэе

1. Авторское свидетельство СИ Р И 329501, кл. Н 05 К 3/00, 1970 (прототип).

Металлизированная переводная фольга // 610682

Способ получения стереоизображений // 548444

Способ получения типографского текстового документа для автоматического чтения // 328485

Способ однопрокатной многокрасочной печати // 139668

Основа для черчения оригиналов // 83553

Способ изготовления цветных трафареток // 77053

Способ получения прозрачных надписей на стекле, покрытом темным фоном // 2367

Комплекс по изготовлению лотерейных билетов // 2181667

Изобретение относится к конструкции поточной линии для получения красочно оформленной печатной продукции и служит для изготовления лотерейных билетов различного типа

Система для окрашивания (варианты) // 2208518

Изобретение относится к материалу для окрашивания, который препятствует появлению случайных цветных отметок на не предназначенных для этого поверхностях

Способ изготовления оттисков на листовом материале ручное маркирующее устройство для его осуществления // 2228852

Изобретение относится к полиграфии и средствам оргтехники, а именно к способам и средствам штемпелевания набора знаков на платежных документах, товарных чеках, счетах и т.п

Носитель информации, печатная форма, способ ее изготовления и способ металлографской печати для запечатывания примыкающих друг к другу поверхностей сплошными красочными слоями различной толщины // 2236949

Контрольный элемент для печатных объектов // 2286260

Способ создания элементов защиты полиграфической продукции от подделок // 2309046

Изобретение относится к полиграфической отрасли

Способ нанесения изображения на листовой материал методом тиснения (варианты), каландр для его осуществления (варианты) и изделие, полученное этим способом с использованием каландра (варианты) // 2359839

Изобретение относится к области механической обработки листового или рулонного, или слоистого материала, в частности, к способам и средствам механической деформации без удаления материала, например для тиснения, при осуществлении заявленного способа нанесения изображения, создающего образ копируемого оригинала (картинки, фотографии) с передачей полутонов, на полосу или ленту из фольги или слоистого материала с металлическим внешним слоем изображение наносят с использованием каландра, имеющего ведущий и, как минимум, один ведомый валы, на рабочей поверхности одного из которых или на рабочих поверхностях обоих валов выполнены ряды выступов, при этом на одном вале гравированием с удалением материала выступов (по криволинейной поверхности или плоскости) в пределах их высоты выполнена рельефная поверхность, форма и переменная глубина которой заданы в соответствии с копируемым оригиналом изображения, причем глубина рельефной поверхности в местах удаления материала выступов, находится в зависимости от оптической плотности соответствующих участков копируемого изображения и лежит в пределах от величины, соответствующей расположению основания выступа, до нулевой величины, соответствующей расположению вершины выступа, с выполнением на обрабатываемом материале переменной глубины тиснения, обеспечивающей эффект имитации разных уровней серого, в соответствии с более темными или более светлыми местами участков оригинала копируемого изображения, с созданием образа, подобного фотографии, по-разному («негатив» или «позитив») воспринимаемого в зависимости от угла наблюдения, и/или от вида, и/или от положения источника света

Голографическое изображение, проявляющееся на упаковке // 2415024

Изобретение относится к упаковке, которая имеет изображение голографического типа, по меньшей мере, на части своей внешней поверхности и к процессу получения этого голографического изображения, которое расположено на внешней поверхности упаковки

Структура защиты данных // 2419550

Способ изготовления матрицы дляпрессования прозрачных линзовыхрастров // 818914