Рабочая жидкость диффузионных насосов

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ () 723237 (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 131078 (21) 2674134/25-06 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 250380. Бюллетень М" 11

Дата опубликования описания 250380 (51)М, Кл.2

F F 9/00

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.527. . 8 (088. 8) (72) Авторы изобретения

М.Л. Алашкевич, В.И. Мириманова, P.М. Гельштейн, Н.Ю. Аронская, М.И. Любарская и В.A. Фридман (71) Заявитель (54 ) РАБОЧАЯ ЖИДКОСТЬ ДИФФУЗИОННЫХ НАСОСОВ

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известно применение,в диффузионных насосах кремнийорганических жидкостей мфт (метилфенилцикло5 тетрасилоксан) и фм-2 (тетраметилгексафенилтетрасилоксан) (1).

Известна также рабочая жидкость диффузионных насосов на основе пентафенилового эфира (2). При исполь зовании пентафенилового эфира нет опасности образования пленок неорганических материалов в виде закиси кремния внутри откачиваемых объемов, однако он подвергается кристалли- . 15 зации при положительных температурах, что значительно сокращает срок работы.

Целью изобретения является увеличение срока службы. 20

Это достигается тем, что жидкость дополнительно содержит полифениловый эфир с низкой упругостью пара, преимущественно гексафениловый эфир, при следующем соотношении компонентов вес.Ъ:

Пентафениловый эфир 90 — 95

Гексафениловый эфир 5 — 10

При изготовлении рабочей жидкости диффузионных насосов в цилиндр ем-30 костью 100 мл вливают 92 мл полифенилового эфира и затем до метки 100 добавляют (0,8 мл) гексафенилового эфира. Цилиндр с полученной смесью. помещают в сушильный шкаф, предварительно нагретый до 50-60ОС.

При этой температуре смесь выдерживают в сушильном шкафу 1 ч., после чего цилиндр с жидкостью вынимают из шкафа и нагретую жидкость перемешивают стеклянной палочкой до полного растворения одной жидкости в другой. Получается однородная прозрачная бесцветная жидкость . Данная жидкость не кристаллизуется при положительной температуре и обладает хорошими вакуумными свойствами — позволяет получать насосом практически такой же сверхвысокий вакуум, как и чистый пентафениловый эфир (1,5-2,0) ° 10 мм рт. ст .

Применение некристаллизующейся рабочей жидкости на основе пентафенилового эфира вместо кристаллизующихся полифениловых эфиров позволяет избежать применения воды для охлаждения насосов, повысить в 2-3 раза срок службы рабочей жидкости, существенно упростить и удешевить эксплуатацию оборудования.

723237

Пентафениловый эфир

Гексафениловый эфир

90 — 95

5- 10

Составитель О. Тишина

Редактор О. Стенина Техред O.Ëåãåçà Корректор Н. Стец

Заказ 393/25 Тираж 725 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Формула изобретения

Рабочая жидкость диффузионных насосов на основе пентафенилового эфира, отличающаяся тем, что, с целью увеличения срока службы, жидкость дополнительно содержит полифениловый эфир с низкой упругостью пара, преимущественно гексафениловый эфир, при следующем соотношении компонентов, вес.Ъ:

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. АвтоРское свидетельство СССР

Р 514121, кл. F 04 F 9/02, 1972.

2. Информационный листок Новая рабочая. жидкость марки М-5Ф4Э, Р 74-2357, 1974.

Рабочая жидкость диффузионных насосов Рабочая жидкость диффузионных насосов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумным пароструйным насосам, и может быть использовано для откачки вакуумных емкостей

Изобретение относится к области холодильной и криогенной техники и касается конструкции и эксплуатации вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях

Изобретение относится к области вакуумной техники

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в качестве эффективного средства откачки в установках различного назначения, в частности в установках вакуумного напыления, термообезгаживания, плазменного упрочнения и т.п
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к области органических вакуумных жидкостей, имеющих универсальное применение
Наверх