Устройство для обработки фасок изделий
ОПИСАНИЕ!
7274 О5
Союз Советскии
Социалистических
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное к авт, свид-ву— (5 l ) M. Кл. (22) Заявлено 27.02.78 (21) 2584163/25-08
Геоудерстееииый комитет
СССР с присоединением заявки.%
В 24 В 9/16 (23} Приоритет— (53) УДК 621 . 9(088.8) иа делом изооретеиий и открытий, Опубликовано 15.04.80. Бктллетень №14
Дата опубликования описания 20.04.80 (72) Автор изобретения
О. Н. Друнк (j!) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ
ФАСОК ИЗДЕЛИЙ
Изобретение относится к механической
/ обработке преимущественно полупроводниковых пластин и предназначено для шлифовки периферийных частей изделий, а точнее — для снятия фасок по краям изделий.
Известно устройство для обработки
5 фасок одновременно с двух сторон, которое содержит два идентичных круга и о р
Недостатком известного устройства является необходимость самостоятельной правки кулачка и инструмента.
Для упрощения конструкции устройства копир устанавливают жестко между двумя
15 кругами с возможностью совместного с ними вращения, что одновременно и упро. . . щает конструкцию устройства..
На чертеже схематично изображено предлагаемое устройство.
Оно состоит из следующих основных деталей: держателя 1 изделия Выполненн» ного в виде стола с вакуум-присосами, получающего круговое вращение со ско2
-ростью подачи от привода (на чертеже не показан), инструмента, состояшего из двух идентичных дисков 2и 3 с алмазными участками соответственно 4 и 5; между дисками 2 и 3 инструмента жестко установлен копир 6 (заданной толщины) с возможностью врашения заодно синструментом, псаучаютцим, в свою очередь, вращение от электродвигателя 7. Держатель 1 изделия установлен с возможностью обеспечения постоянного контакта изделия 8 в процессе его обработки за счет силы, иостоянно действующей в направлении оси вращения инструмента
9, что достигается с помощью известных средств, например с помошью пневмоцилиндра или пружины (на чертеже не показано) .
Изделие 8, например полупроводниковая пластина толщиной 0,8 мм, закрепленная с помощью вакуум-присосов дер-! жателя 1, подводится в плотную к алмазным участкам 4 и 5 дисков 2 и 3, пос10!
ЦНИИПИ Заказ 1039/12 Тираж 94З
Подписное
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4
Ъ *
3 72 ле. чего держателю 1 и дискам 2 и 3 с установленным между ними копиром 6, имеющим толщину 0,2 мм, сообщается вращательное движение в противополбжном один другому направлении. При этом происходит снятие фасок 10 11 однс временно с двух сторон изделия 8. Процесс съема фасок 10 и ll идет до момента упора края иэделия 8 в копир 6, после чего держатель 1, сделав один полный оборот, отводится от инструмента (влево). Режущие участки 4 и 5 инструмента, а также копир 6 устанавливаются тех размеров, которые обеспечивают получение необходимой конфигурации профиля кромки изделия 8 т.е. инструмент должен иметь профиль, обратный профилю кромки изделия, который необходимо получить.
Предлагаемое устройство обеспечивает возможность обработки фасок одновременно с двух сторон плоскосого .хрупкого изделия, телшиной не более 1 мм, что при использовании в полупроводниковом производстве позволит улучшить стойкость полупроводниковых пластин к механическим повреждениям, уменьшить
7405 4
- образование кремниевой пыли в процессе осуществления очередных операций, уменьшить утолщение на краях пленки фоторезиста во время его нанесения, а также исключить нарост пленок кремния по краям пластин, получаемых при эпитаксии и осаждении из газовой фазы, что все в целом и в отдельности позволит повысить выход годных изделий.
Формула изобретения
Устройство для обработки фасок иэделий, содержащее два круга с конусными рабочими поверхностями, установленными из jj cBQBHKK одновременной обработки фасок с двух сторон, и копир, о т л ич а ю ш е е с я тем, что, с целью упрс щения конструкции устройства, копир установлен жестко между двумя кругами с воэможностью совместного с ними вра- щения.
Источники информации. принятые во внимание при экспертизе
l. Патент CllIA № 3158967, кл. 51-89, опубл. 1964.
