Многозондовое устройство

Авторы патента:

H05K1/04 - Печатные схемы (блоки из нескольких отдельных полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле H01L 25/00; приборы, состоящие из нескольких полупроводниковых или прочих компонентов на твердом теле, сформированных на одной общей подложке или внутри нее, например интегральные схемы, тонко- или толстопленочные схемы H01L 27/00)

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

11 11 73I 620

Оевв Ооаатеких

Ссинедиотичеоких

Реслублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 27.02.78 (21) 2583592/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.04.80. Бюллетень ¹ 16 (45) Дата опубликования описания 30.04.80 (51) М. Кл.-

Н 05К 1/04

Государственный комитет (53) УДК 621.315.684 (088.8) ло делам иаааретеиий и открытий (72) Авторы изобретения

В. А, Болдырев, М, М. Резник, В. К. Рубцов, А. И. Степанов и В. В. Ситников

Пензенский филиал Всесоюзного научно-исследовательского технологического института приборостроения (71) Заявитель е (54) МНОГОЗОНДОВОЕ УСТРОИСТВО

Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано в установках для контроля и подгонки электрических параметров элементов микросхем.

Известна зондовая головка, состоящая пз 5 прозрачного диэлектрического корпуса, металлических зондов, имеющих форму пирамиды или конуса, жестко скрепленных с металлическими полосами, нанесенными на плоскую поверхность корпуса, которые в 10 свою очередь соединяются с измерительным блоком (11.

Однако при использовании такой зондовой головки в установках для контроля и подгонки электрических параметров элемен- 15 тов микросхем увеличивается возможность повреждения контактных площадок зондами при контактировании ввиду жесткой связи зондов с металлическими дорожками корпуса. 20

Известно многозондовое устройство, содержащее диэлектрическое основание с закрепленными в нем капиллярными трубками, в каждой из которых размещен упру- 25 гий стержневой зонд. Кроме того, на цилиндрической поверхности каждой капиллярной трубки выполнен паз, а часть зонда, размещенная в пазу, выполнена плоской, причем пазы смещены в радиальном на- з0 правлении один относительно другого (2).

Такое зондовое устройство не может быть применено для подгонки электрических параметров микросхем, так как диэлектрическое основание и капиллярные трубки являются преградой, мешающей производить подгонку и не обеспечивают свободного доступа луча лазера к подгоняемым элементам микросхем с одновременным контактированием всех площадок любой топологии микросхемы, т. е. одновременной подгонки и контроля электрических параметров микросхем.

Цель изобретения вЂ” повышение производительности подгонки микросхем.

Цель достигается тем, что многозондовое устройство, содержащее корпус, стержневые зонды с упругой част1ио и механизм перемещения зондов, снабжено оптически прозрачным диэлектрическим основанием и печатной платой, размещенной над основанием и соединенной с механизмом перемещения зондов. Причем упругая часть каждого зонда расположена в зазоре между печатной платой и основанием, а хвостовик жестко закреплен в печатной платс, снабженной окнами, форма и расположение которых соотвстствует форме и расположению подгоняемых элементов микросхемы.

На фиг. 1 изображено описываемое многозондовое устройство в разрезе; на фиг.

2 вЂ” то же, вид сверху.

731620

Многозондовое устройство содержит оптически прозрачное диэлектрическое основание 1, печатную плату 2, упругие стержневые зонды 3 и плиту 4 механизма перемещения зондов. 5

Основание 1 выполнено из оптически прозрачного диэлектрического материала, например из органического стекла, что обеспечивает свободный доступ луча лазера к подгоняемым элементам микросхемы. Для Io этого в печатной плате 2 выполнены окна

5, расположение и форма которых соответствует расположению и форме подгоняемых элементов микросхемы, В основании 1 и псчатной плате 2, соединенных между собой 15 так, что плата 2 находится над основанием 1, образуя определенный зазор, ьсртикально закреплены упругие стержневые зонды 3, хвостовики которых жестко связаны с металлизированными дорожками 6 20 печатной платы 2, а, нижние, находясь в напряженном состоянии под действием упругих плоских частей зондов 3, расположены в направляющих отверстиях основания 1, причем острия их расположены в плоскос- 2> ти, совпадающей с плоскостью расположения контактных площадок микросхемы.

Зонды 3 смещены в радиальном направлении один относительно другого так, -pro их плоские упругие части не пересекают поля 30 подгоняемых элементов.

Плита 4, выполненная из магнитомягкого материала и жестко связанная с печатной платой 2, действует как внешний якорь, притягиваемый к сердечникам электромаг- 35 нитов, расположенных на установке подгонки.

Для совмещения зондов 3 с зондируемыми точками микросхемы на основании 1 наносят метку, контуры которой совпадают N с контурами соответствующей метки на контролируемой микросхеме, а в печатной плате 2 выполняют отверстие 7, расположенное так, чтобы метки основания 1 и контролируемой подложки находились в поле зрения микроскопа.

Работает описываемое устройство следующим образом.

После того, как многозондовое устройство выставлено относительно определенной топологии микросхемы, включаются электромагниты, которые находятся на установке подгонки, притягивая плиту 4 механизма перемещения зондов, и в результате соприкосновения контактных площадок микросхемы с упругими зондами 3 создается надежный омический контакт с контактныIiiIl 1IJIolllBpIc2i>III элемен 1 QII микросхемы, Одновременно с этим начинается подгонка м икр о схемы.

Использование изобретения позволяет автоматизировать процесс подгонки и, таким ООразОм, повысlг1ь произьодllтельность подгонки при надежной рабогс устроиства.

Oор мул а изобретения . 1ногозондовое устройство, содержащее корпус, стержневые зонды с уиругои частью и механизм перемещения зондов, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности под1.онк,1 микросхем, оно снабжено оптически прозрачным диэлектрическим основанием и пе атнои II;iBтой, размещенной над основанием и соединенной с механизмом перемещения зондов, причем упругая часть каждо о зонда расположена в зазоре между печатной платои и основанием, а хвоставик жестко закрсп.1ен в печатной плате, снабженной окнамц, форма и расположение которых coorlliicrвует форме и расиоложеншо иод1оняемых элементов микросхемы.

Источники информации, принятьге ВО Внимание llpII экспс1)тиос

1. Авторское свидетельство СССР

М 317133, кл. Н 011 21/66, 1970.

2. Авторское свидетельство СССР

Кэ 514457, кл. Н 05К 1/04, 1974 (прототип).

731620 авиа. 1 фиа.2.

Составитель Л. Прокопенко

Корректор Л. Орлова

Техред В. Серякова

Редактор Е, Караулова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 763/9 Изд. № 296 Тираж 889 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

П3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Похожие патенты:

Клеммная колодка // 729866

Печатная плата // 729864

Зондовое устройство // 728227

Электрический контакт // 721930

Соединитель для монтажа радиоэлементов на печатную плату // 721929

Контактное устройство // 718953

Электрический соединитель для печатных плат // 718952

Контактное устройство // 716152

Контактное устройство // 714667

Контактное устройство // 714666

Интегральная схема и способ ее изготовления // 2117418

Радиоэлектронный блок // 2125775

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при конструировании блоков радиоэлектронной аппаратуры, предназначенных для приема и обработки спутниковых радионавигационных систем

Способ отбраковочных испытаний подложки из диэлектрика или полупроводника с топологией, изделий электронной техники на стойкость к внешним воздействующим факторам // 2138830

Изобретение относится к способам электрического контроля и испытаний на постоянном и переменном токе с последующей отбраковкой подложек из диэлектрика или полупроводника, содержащих изделия электронной техники и электротехники (электрорадиоизделия), содержащих плоские и объемные проводящие области, содержащих активные и пассивные функциональные элементы в виде полупроводниковых приборов, многослойных трехмерных структур, пленок с различным типом электрической проводимости, жидкокристаллических панелей и др

Способ изготовления печатных схем и печатная схема, изготовленная этим способом // 2161382

Изобретение относится к способу изготовления электронных модулей, а именно транспондеров и карт с интегральной схемой на основе печатных схем

Радиоэлектронный блок // 2172080

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при конструировании радиоэлектронных блоков, осуществляющих прием и обработку сигналов спутниковых радионавигационных систем

Радиоэлектронный блок // 2172081

Изобретение относится к радиоэлектронике, может использоваться при конструировании радиоэлектронных блоков, осуществляющих прием и обработку сигналов спутниковых радионавигационных систем (СРНС)

Радиоэлектронный блок // 2173036

Изобретение относится к радиоэлектронике, может использоваться при конструировании блоков, осуществляющих прием и обработку сигналов спутниковых радионавигационных систем

Базовый конструктивный блок для радиоэлектронных приборов // 2173037

Изобретение относится к радиоэлектронике, может использоваться в качестве базовой конструкции при выполнении радиоэлектронных приборов, осуществляющих прием и обработку сигналов спутниковых радионавигационных систем

Радиоэлектронный блок // 2182408

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в конструкциях радиоэлектронных блоков, осуществляющих прием и обработку сигналов спутниковых радионавигационных систем (СРНС)

Термоэлектрический модуль с улучшенным теплообменом и способ его изготовления // 2185042