Заслонка

 

О П И С А Н И Е (i>)732608

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 23.03.79 (21) 2739852)25-08 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М.К .

F 16 К 1/18

Геоудирстееииый комитет ссср

Опубликовано 05.05.80. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 15.05.80 (53) УДК 621.646 (088.8) ао делом иэооретеиий и открытий (72) Авторы изобретения

М. Д. Лазарев и Ю. М. Ермаков (71) Заявитель

Всесоюзный заочный машиностроительный институт (54) ЗАСЛОНКА

Изобретение относится к арматуростроению и может найти применение в системах внутрикамерного оснащения вакуумного напылительного оборудования.

Известен поворотный дозатор напылительного вакуумного оборудования, выполненный в виде Г-образной упругой пластины, приводная часть которой связана с приводом возвратно-поступательного перемещения (1) .

Недостатком этого дозатора является не10 возможность преобразования возвратно-поступательного движения привода в движение запорного органа, обеспечивающее перекрытие перпендикулярно расположенных смотровых окон, датчиков контроля толщины напыляемого слоя или отверстий каналов.

Цель изобретения — перекрытие каналов, расположенных во взаимно перпендикулярных плоскостях.

Для этого Г-образная пластина допол- 2о нительно изогнута под углом, пропорциональным углу ее поворота в плоскости, перпендикулярной плоскости приводной части пластины.

Изобретение поясняется чертежом, на котором изображена заслонка в двух рабочих положениях, обший вид.

Заслонка, выполненная в виде Г-образной упругой пластины, содержит приводную часть 1, одна кромка которой жестко закреплена в заделке 2, а другая — в возвратно-поступательно перемещающемся штоке 3 привода. От приводной части 1 под углом а отогнуто по радиусу R поворотное плечо 4, совершающее поворот вокруг образующей «а а» на угол ф. От поворотного плеча 4 под прямым углом отогнуто плечо 5, совершающее сложное движение и поворачивающееся на угол:р.

При перемещении штока 3 на величину S приводная часть заслонки деформируется в поперечном направлении на величину h.

Поперечный прогиб h в виде волны поперечной деформации распространяется по приводной части в направлении линии перегиба плеча 4, вызывая на ней крутильные напряжения, обеспечивающие распрямление угловой формы приводной части. Заслонка приобретает Г-образную форму и занимает положение, показанное тонкими линиями.

При этом плечо 4 совершает поворот вокруг

732608

Формула изобретения образующей «а а» на угол //, а связанное с ним плечо 5 совершает сложное движение и поворачивается на угол р. Таким образом поворотные плечи 4 и 5 заслонки от одного привода перекатывают, например, датчики 6 и 7 контроля толщины напыляемого слоя. Вместо датчиков могут быть отверстия каналов и другие элементы. При отводе штока 3 упругий прогиб h приводной части устраняется, и заслонка под действием упругих сил снова принимает исходное положение.

Отсутствие кинематических пар позволяет использовать заслонку в условиях сверхвысокого вакуума, больших перепадов температур. Работа за счет упругой деформации обеспечивает высокие динамические качества и большое быстродействие заслонки.

Заслонка с запорным органом, выполненным в виде Г-образной пластины, приводная часть которой связана с приводом

S возвратно-поступательного перемещения, отличающаяся тем, что, с целью перекрытия каналов, расположенных во взаимно перпендикулярных плоскостях, Г-образная пластина дополнительно изогнута под углом, пропорциональным углу ее поворота в плоскости, перпендикулярной плоскости приводной части пластины.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР по заявке № 2595996/18 — 10, кл. G 01 F 13/00, 5 1978

Составитель Г. Колясинская

Редактор )К. Рожкова Техред К. Шуфрич Корректор М. Шароши

Заказ 1710/28 Тираж 1095 Подписное

ЦН ИИ ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгооод, ул. Проектная, 4