Способ измерения параметров анизотропии

 

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ АНИЗОТРОШИ в нводтороюшх а нвзотропвых объектах, вкпючающий фор S П & liTi мирование пинейно поляризованного, модулированнотх ) по азимуту попяризаоив просвечивающего пучка и взмерение раэ ности фаз между опорным сигналом и сит налом, всеннк/ЕйЫцййдпя регистрации рассеянного объектом взпученшг, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрошения процесса измерений, дополнительно создают эллигнтичеекую поляризацию просв эчийвактавго пучка, модулируют его по эллиптичности последовательно при двух направлениях большой оси эллипса поляризации, составтгакядих друг с д ругом угол 45°, а разность фаз измеряют при всех видах моау«

(19) О1) - -СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

PECflVSSIHH др G 01 К 21/23

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДВТВГВСТВУ

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

tlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЬПЪМ (21) 2691680/18-25 (22) 04. 12.78 (46) 23.06.83. Бюл. % 23 (72) С.Г.Голубева, Н.M.Äðè÷êî и М.В.Лейкин (53) 535.5 (088.8) (56) 1. Поляризапионно-оптический метод и его приложения к исследованию тепловых напряжений и деформапий. Киев, Наукова думка, 1976, с. 121.

2. Горшков М.М. Эллипсометрия. М., Сов. радио, 1974, с. 138-142 (прототип). (54) (57) CZXXOB ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ АНИЗОТРОЙИИ в неоднородны х а низотрощых обьектах, включаюший формирование линейно полярюованного, модулированного по азимуту поляризидии просвениваюшего пучка и измерение раз ности фаз между опорным сигналом и сигналом; возникайщим для "рагистрапии "раосеянного объектом излучения; о т л ич а ю шийся тем, что, с пелью исо. вышения точности и упрощения пропесса измерений, дополнительно создают эллиптическую поляризапию просвечиваххцего пучка, модулируют его но эллиптичности последовательно при двух направлениях большой оси эллипса поляризапии, составляюших друг с другом угол 45, а разность фаз измеряют при всех видах модуля пик. е

1 7399 SB 2

* Изобретение относится к обпасти ис - формирование:линейно поляризованного, сспедовс сния "неоднородных анизотропных модулированного ло азимуту попярнэаиии объектов оптическими методами. просвечивающего пучка и измерение разИэвестны способы исспедования неодно- ности фаэ между опорным сигналом и р»отднйх аннзотропных объектов, использу gQ сигналом, возникающим rrps регистрапии ющие регистращпо расееянного обьектом . рассеянного объектом излучения, допопнииз учения I1j . Эти-способы внкйючают — тельно создают аппиптическую поляриэаформирование пинейн»о йоляризованного- - Ilsro просвечивающе1 о пучка, модупируют просвечивающего пучка, мо»дупятпиЫ его: — его по эплиптичности поспедоватепыв rrps по азимуту попяриэаиии, измерение раэ- t0 двух направнентиях бспьшой оси эппипса ности фай между опорам сиг»напоьГй сиг- попярнзапии, составпяющих друг с другом напом, возникающим s канапе регжтрйпии угол 45о, а разность фаз измеряют при " фТссеяйного света, srrs уравнивайие фаз . " вСе» видах модуляпии. этих сигнапов изменением параМетров . Создание эппиптической "йопяризации

КОМПЕНСайИОНйЫХ УСтРОйСтВ, ВВвОнДИМЫХ -В Д ПРОСВЕЧИВаЮЩЕГО ПуЧКа, ВВЕДЕНИЕ дауХ щюсвенчивающий пучок, а также изЫерейия видов его модупяпии и цопопнитепьные 1

Интенсивности рассеянного объектом» Ийну-, " из»меренйят при этих видах модуляпии раэчения и угповйх йейтичин. ": - но»тей фаз между овэрным сигнапом и

Недостатками, тйсих устройств ФВЙют -. " сигнсапатмй, воэникакхдньей при регистра" ся разность измеряемых вепичий - arrari пии рассеянного объектом излучения, — . точность Измерения некотнорЫох йз них,-а . rroer»oirrrrov поопучять нужные "дтанные о па.также сложность процесса измтеорейая. . раметрах, aMsaorporrss неоднороднйх аниэо-

Наибопее бпйзкнм по технической . "" тройаих объектов по одним фазовым иэ- сущности к изобретению явпяется спо" " мефе4йям, не.прибавим к измерениям сон, нрЭмвнвнвый в вонврвгвтрв 2). тн. нртгнн вв»»нннин!тМт4ннсвюцствй, тонов

По этому способу для rrpocseeseassrr . " rrowpor i и Поиску экстремумов интен исследуемого объекта формируют йийетйи»о сивюсти. Переход к изменению иесколь поляризованный пучок, модупйРуют его по - к к эяйчений одной тсдичйи ), которая

* аэИмуту попяриэапии s дпя каждоя йс--- 1кзмеряеМя с малой погрещкостью с мало погрещиостью, поспедуемой точки объекта измеряют раэ засияет повысить точность йэмереиий ность фаэ. между опорным сигнапом и сиг- Й фюетМть процесс измерений, раССЕяйНОГО Сивта. КРОМЕ ТОГО; ИЗМЕря- . рааИйэумщтЕЕ йрйдиаГаЕМЫй СПОСОб Sar4epe Йт угоп поворота объекта от pe@pe3t ного нйя, Йапртавпения до попожения, при котором устройство вкпвчает источник моие" сигиал в канапе рассеянного света . З5 хройетрйчеевс»кого попяриэованного иэпуче минимапен; и интенсивность рассеянтйого - ния"1, вращающуюся от двигате»пя rrrrao-.

= "=света в етом» же канапет" при повспн еднующ»еом тийоку Я /2 . 2;»две цпастинки 3/4 3 повороте» объекта íà 45 . Попучвнейй»йе: и 4; r rraisare наЩЙ вйения которых составаанВ1бйсйЫьз»уют дйя сопре йййая айра- ""rrrr другов с другом угоп 45, иоспедуе- м»ветров анизотропни обьекта мый объе»квт - 5 КаеоМ perScrparrss раоНедостатком этого способа явйяется »сеянного обнъеткто»м изтп ййая В и 7 поляннеобходимнтбетьр измт е ВЙЙ.ffaa%6poamx ". . " ррйза»т»ор 8" фёгЬйфйемйийи perscvpsppo-... та, углов поворота и фазовытх хаparriepsc-:" метр 11. ffrracism" 2 - 4 составпяют в

isrr» сигналов, что эначитепьно успожияет 45 еотвоткупейт»ир rrorrr»rpmarrsorrsr rn модуля-

irp»orre»cс йэмеренйя и затрудняет" автома- тор т1»2» т: - " тиэапию. КроМе того, изме»фейият ййтен- Поспе источника иэпучения 1 по яриза С»ИВНО»Стэй» ЗНаЧИ»»тва»ПЬНО УСтУ»йаЮт фаэОВ»йвМР rrSOSSr4r4 МОДУПЯтОРОМ ПМ (т .Е . ВРаЩЕНИЕМ иэмефейиям по точности и требуют cire- пйаостинки 3 /2) формируют линейно rio "rrsarriных мер дпя исключения впияния >О йятрирзтовтанрйый пучок, модупиройаиный по

НЕСтабИПЬНОСтн ПрОСМЧИВЪВаЕГОН тфЧКа И аЗИЫУтув ПОПярнзацИИ. ЗатЕМ ПрбСВЕЧИВаЮт ряда другф факторов, вызытваюнщи» из-- йтим Пучком объект 8 и регистрируют мейение интенсивности ратс»сеятйонно во света. рассеянное объеитсва Излучение в двух

Целью изобретения является повь1ще- направпениях, picrrorrorrrerrrrr rx в плоскости, - ийе: тьчности" s прюще»ние проиеСса изме-я перп»ендникулярной просвечивающему пучку, pessrr, - - — — - - — ----- и образующих друг с другом угол 45

Эта rreirr, достигается тем, что по (каналы 6 и 7). С выходов фотоприем "" " "ПрвсднаоГаЕМОМу СПОСОбу ; ВКЛЮЧаЮщЕМу .. НИКОВ 9 На ИЗМЕрнтЕПЬНЫй траКт ПОСту

Техред А.Бабинвп Корректор В. Бутяга

Редактор Л. Утехина

Зоыоо 6614/3 7ыоыы 873 Поыыыоыоы

ВНИИПИ Государственного комитета" СССР— по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 739085 .. 4 пают синусоидальвае сигналы. Опорный ность фаз между опорным сигналом и .: сигнал формируют, отводя часть линейно сигналами в каналах 6 и 7. Затем изме ы поляризованного, модулировайного по няют направление бопыпой оси эллипса азимуту попяризапии излучения и пропуо- полярюапии просвечиваккпего пуочка на кая его черве поляризатор 8, полученный s 45 о и модупируют его по эппийтичности. с фотоприемника 10 опорный сигнал we- Это может быть мюпопнвно, например, Ьт ту же частоту, что и регистрируемые .- введением пластинки 3 и введением плас сигналы, Ёазность фаз между опорным тинки 4. При етом состоянии просвечивасигнайоМ и о»дним ss регистрируемых юшего пучка вновь повторяют иэмерення сигналов aps отсутствии анизотропин обь- 10 разностнфазвобоихканалах.Врезультатэиэ екта равна йфоою. Разность фаэ между,мвренкйдлякаждойнсследуемойточкимодели опорным сигналом и сигналами в обоих . получают табпипу из шести значений разрегистрирукхдих каналах измеряют фазо- ности фаз. По данным для двух соседник метром 11. Затем попяриэапионным Мо- . точек .объекта pàññ÷èòûâàâò характвристидулятором создают эллиптическую люляри»- 15 ческив параметры, которые и являются эайию- просвечивакхпего пучка при напраа- - мерой анизотропии выделенного этими ленни большой оси эллипса, совлвдаютим с точками участка объекта. с 6диим из направылеиий регистрапии poQ: Переход от измерения ряда раэнород» сеяяного света, и модупируют его по эп- ных величин к- измеренййщной величины липтичиости. Это осушвствпяют, напри- 20 значительно упрсаает процесс ИэМвРенИЯ, мер, введв/нием nocme врашающейся полу-. повышает скорость измерений, облеичавт волновой пластинки 2 пластинки %/4 3., автоматизапию лропвсса и его точность. глоавной направление которого совпадает Предлагаемый, способ опробован экас оыдон3й4 es направлейий регистрации рао- пвримвнтально с тес объектом и вввст (сеянного влучоеиия. Снова юмеряют раз- 25, ными.харвктеристинескнми афаметрами.

ы

4»