Привод сверхвысоковакуумного клапана

 

Союз Советскии

Социвпистическии

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

750205 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 01.03.78 (21)2585367/25-08 с присоединением заявки .% (23) П риоритет

Опубликовано 23.07,80. Бюллетень ¹ 27

Дата опубликования описании 23.07.80 (5 I ) Ч. Кд.

F 16 К 31/46

Воударстеаииый комитет

СССР

00 делам изаоретеиий и открытий (5З) УДК621, .646(088.8) (72) Авторы изобретения

Л. С. Ронжин и А. С. Шархов

Институт химической кинетики и горения

Сибирского отделения АН СССР (71) Заявитель (54) ПРИВОД СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНОГО КЛАПАНА

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в вакуумных клапанах с дистанционным управлением.

Известны различные приводы высоковакуумных клапанов, обеспечиваюшие закрытие и последуюшее уплотнение клапана Д, г, 1Однако они сложны по конструкции и недостаточно надежны в эксплуатации.

Из известных приводов высоковакуум10 ных клапанов наиболее близким по техни ческой сушности к предлагаемому является устройство, содержашее корпус со ступенчатой полостью, внутри которой

15 размешен шток, и взаимодействуюший со штоком через шарики сердечник, выполненный с конической частью 3 .

Недостатком данного привода является его низкая надежность ввиду малого хода

20 штока.

Целью изобретения является повышение надежности привода клапана за счет обеспечения большого хода штока с малым

2 усилием при открывании-закрывании и большого усилия для уплотнения.

Указанная пель достигается тем, что шток выполнен в виде втулки с внутреннйм ступенчатым каналом и радиально расположенными в одном поперечном сечении отверстиями под шарики, на коническом участке сердечника выполнена кольцевая полукруглая проточка, переходящая в бурт, прячем конический участок сердептика . расположен во внутреннем канале штока, а наружный диаметр штока равен диаметру средней ступени полости корпуса, кроме того, размеры привода выбираются из следующих соотношений: с ь . дл- К» = 0,1И, 1ддф

4 0,1 %@dan Э, где — диаметр кольцевой полукруглой проточки, С(. - наружный диаметр штока:

Й>- диаметр шарика: д»- диаметр сопряжения конической части сердечника с кольцевой полукруглой проточкой:

75(? 205 4 та, а также быстродействие предлагаемого привоца позволяют использовать его в сверхвысоковакуумных каналах с автоматическим дистанционным управлением.

Движение сердечника при этом может осушествляться электромагнитом, пневмоили гицроцилинцром.

+n — угол конусности сердечника, С - угол конусности средней ступ ни полости корпуса.

Сущность изобретения поястняется чер тежами, гце показан продольный разрез привода сверхвысоковакуумного клапана: на фиг. 1 - при открытом положении кла пана, на фиг. 2 — момент закрывания клапана, на фиг. 3 — при закрытом, уплот ненном положении, на фиг. 4 — момент lo открывания клапана.

Привод соцержит корпус 1 со ступенчатой полостью 2, внутри которой размещен шток 3, выполненный в виде втулки с внутренним ступенчатым каналом 4, сту 15 пень которого образует буртик 5. В штоке

3 в одном поперечном сечении выполнены радиально расположенные отверстия 6, в которых размещены шарики 7. Серцечник

8 имеет конический участок 9, размешен- 2о ный во внутреннем канале 4 штока 3, кольцевую полукруглую проточку 10 и бурт 11. Диаметр штока 3 равен диаметру средней ступени полости 2 корпуса 1.

Ступень в полости 2 корпуса l образует 25 конический участок 12.

Привод сверхвысоковакуумного клапана работает следуюшим образом.

При закрывании клапана сердечник 8 перемещается влево, передавая усилие на 30 шток 3 через шарики 7, расположенные в начальный момент в кольцевой полукруглой проточке 10. Размеры штока, сердечника, углы наклона конических поверхностей выбраны такими, что при за- 35 крывании шарики 7 скользят по внутренней цилинцрической поверхности корпуса

1, а в момент уплотнения клапана шарики 7, выталкиваемые коническим участком

9 сердечника 8, перемещаются по кони- 40 ческому участку 12 корпуса 1 и цавят на шток 3, обеспечивая необходимое усилие уплотнения.

При открывании клапана серцечник 8 перемешается вправо, упирается буртом 45

11 в буртик 5 штока 3 и сцвигает его.

Шарики 7 при этом выталкиваются в кольцевую полукруглую проточку 10 сердечника 8, Возможность обеспечения болыпого хо- 50 да и создания большого усилия цля уплотнения в конце хопа, за счет поступательного перемешения приводного элеменФормула изобретения

1. Привод сверхвысоковакуумного клапана, содержащий корпус со ступенчатой полостью, внутри которой размешен шток, и взаимодействующий со штоком через шашарики сердечник, выполненный с коническим участком, о т л и ч а ю ш и й— с я тем, что, с целью повышения нацежности, шток выполнен в виде втулки с внутренним ступенчатым каналом и рапиально расположенными в одном поперечном сечении отверстиями поц шарики, на коническом участке серцечника выполнена кольцевая полукруглая проточка, переходящая в бурт, причем конический участок сердечника расположен во внутреннем канале штока, а наружный диаметр штока равен диаметру срецней ступени полости корпуса.

2. Привод по п. 1, о т л и ч а юш и и сятем,,что размеры привода выбираются из следуюших соотношений: б =б1- 2б1; с с 1 — 0,103,1Я о 0,1; Я-«, 3, гце 4„- диаметр кольцевой полукруглой проточки, < - — наружный циаметр штока, d.p - циаметр шарика, Q — диаметр сопряжени я, конической части сердечника с кольцевой и<— полукруглой, проточкой. о4 — угол конусности сердечника, - угол конусности средней ступени полости корпуса.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

N9 300701, кл. F 16 К 31/48, 1969.

2. Авторское свицетельство СССР

hh 412426, кл. F 16 К 31/46, 1972.

3. Патент ФРГ Чо l 589 733, кл. F 16 К 31/06, опублик. 1 .>75,