Устройство для присоединения перемычек

 

Сою» Советских

Социалистических республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< >764014 (61) Дополнительное к авт. саид-sy— (22) Заявлено 13. 03. 75 (21) 2120128/18-21 с присоединением заявки ¹â€” (51)М. Кл.з

Н 01 l 21/66

Государственный комитет

СССР по делам изобретений н открытий (23) Приоритет—

Опубликовано 150980. Бюллетень ¹ 34 (53) УДК 621. 396.6. . 002 (088 ° 8) Дата опубликования описания 150980 (72) Автор изобретения

Иностранец

Манфред Банэемир (ГДР) Иностранное предприятие. нФЭБ Электромат" (ГДР) (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ

ПЕРЕМЫЧЕК

Изобретение относится к области полупроводникового производства и предназначено для присоединения выводов посредством проволочной перемычки, путем ультразвуковой сварки, в частности, на лентообраэной подложке с элементами интегральных схем.

Известно устройство для присоединения выводов посредством проволоч- ной перемычки на лентообраэной подложке с закрепленными на ней гребенчать1ми структурами миниатюрных транзисторов, дугообразная форма проволочных перемычек которых образуется путем воздействия на проволоку после первого контактирования, выдвигающейся упругой лентой-подложкой (1) .

Недостатком известного устройства является невозможность формирования перемычек между точками контактирова-2О ния, расположенных на различных расстояниях друг от друга.

Наиболее близким по технической сущности является устройство для присоединения перемычек к внутренним элементам интегральных схем, содержащее шарнирно закрепленный на одном .плече двуплечего рычага генератор ультразвуковых колебаний с жестко со-. единенными с ним концентратором, кнс->О

2 трументом ультразвуковой сварки и угловым рычагом, а двуплечий и угловой рычаги кинематически связаны с распределительным кулачкрвым механизмом 12) .

Недостатком устройства является невозможность изготовления проволочной перемычки с заданной высотой дуги.и обработки длинной лентообразной поддожки с элементами интегральных схем.

Целью изобретения является повышение надежности и расширение функциональных возможностей.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для присоединения перемычек к внутренним элементам интегральных схем, содержащее шарнирно закрепленный на одном плече двуплечего рычага генератор ультразвуковых колебаний с жестко соединенными с ним концентратором, инструментом ультразвуковой сварки и угловым рычагом, а двуплечий и угловой рычаги кинемати-чески связаны с распределительным ку*лачковым механизмом, дополнительно снабжено удлинителем, жестко закрепленным на генераторе ультразвуковых колебаний, коромыслом, на конце которого закреплен штифт, расположенный

764014

50 под уллинителем, Т-образным рычагом с двумя осями, на одной из которых подвижно закреплены коромысло и дву; плечий рычаг, а на другой угловые рычаги, подвружиненные к регулирово ным упорам.

На фиг.1 показан вид сбоку устрой5 ства для присоединения перемычек к внутренним элементам интегральных схем; на фиг.2 — вид сверху устрой-. ства.

Устройство для присоединения перемычек к внутренним элементам интегральных схем содержит генератор ультра звуковых колебаний 1 с жестко соединенным с ним концентратором 2 и инструментом (зондом) ультразвуковой 15 сварки 3, шарнирно закрепленном посредством оси 4 на одном плече двуплечего рычага 5, имеющего возможность покачивания на оси б, другой конец которого посредством ролика 7 опира- Щ ется на дисковый кулачок 8 распределительного кулачкового механизма 9.

На генераторе ультразвуковых колебаний 1 жестко закреплен удлинитель 10, а на оси б с воэможностью покачива-ния закреплено коромысло 11, на одном конце которого закреплен штифт 12, имеющий возможность механического контакта с нижней кромкой удлинителя

10, а на другом ролик 13, опирающийся на второй кулачок 14.

Ось б закреплена в Т-образном рычаге 15, который совместно с угловыми рычагами 16 и 17 независимо может покачиваться относительно неподвижной оси 18, закрепленной в неподвижном кронштейне 19, содержащем выполненный в виде регулировочного винта упор 20, к.которому подпружинен пружиной 21 упорный выступ 22 Т-образного рычага

15. 40

Угловые рычаги 16 и 17 снабжены соответственно регулировочными винтами-упорами 23,24 и роликами 25,26, опирающимися на профили дисковых кулачков 27 и 28 кулачкового распределительного механизма 9 (на фиг.? показан условно). Питающий барабан 29 с проволокой 30 для подачи ее в зону контактирования закреплен на генераторе ультразвуковых колебаний.

Принцип работы устройства для присоединения перемычек к внутренним элементам интегральных схем заключается в следующем.

Инструмент ультразвуковой сварки

3 устанавливают посредством винта- 55

Упор 20 над первой точкой контактирования таким образом, чтобы горизонталь Х-Х касательн-я к точке сварки, вертикаль У-У, проходящая через ось кулачкового распределительного механизма и ось опорных роликов 7,13,25,26 (на фиг.2 оси роликов условно смещены) и линия А-А,проходящая через подвижную ось 6 и неподвижную ось 18, пересекались в одной точке "0". После предварительной настройки устройства с помощью ВННТоВ-óïîðoâ 23 и 24 задают промежуточную высоту подъема инструмента 3 для обеспечения заданной длины и высоты дуги перемычки и высоту положения инструмента над второй точкой контактирования.

Благодаря воэможности регулирования промежуточной высоты подъема инструмента ультразвуковой сварки имеется возможность получения перемычек заданной длины и высоты при различном пространственном расположении точек контактирования в плоскости сварки. формула изобретения

Устройство для присоединения перемычек преимущественно к внутренним элементам интегральных схем, содержащее шарнирно закрепленный на одном плече двуплечего рычага генератор ультразвуковых колебаний с жестко соединенными с ним концентратором, инструментом ультразвуковой сварки и угловым рычагом, а двуплечий и угловой рычаги кинематически связаны с распределительным кулачковым механизмом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности и расширения функциональных возможностей, оно снабжено удлинителем, жестко закрепленным на генераторе ультразвуковых колебаний, коромыслом, на конце которого закреплен штифт, расположенный под удлинителем, T-образным рычагом с двумя осями, на одной из которых подвижно закреплены коромысло и двуплечий рычаг, а на.другой — угловые рычаги, подпружиненные к регулируемым упорам.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент ГЦР 9 61059, кл. 21 G 11/02, 1965.

2.Патент США Р 3305157, кл. 228-1, 1966.

764014

f8 21 22 5

1 4

Puz.1

17

Составитель Н.Сменов

Редактор Н.Каменская Техред M.Ðåéâåñ Корректор И.Муска

Закаэ 6295/46 Тираж 844 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4

Устройство для присоединения перемычек Устройство для присоединения перемычек Устройство для присоединения перемычек 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх