Высоковакуумный сорбционный насос

 

(i(j7690УФ

ОП ИСАЙ И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Coio3 йоветскйк фрциалистическив

Уеспублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 24.07.78 (21) 2653475/25-06 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 07.10.80. Бюллетень № 37 (45) Дата опубликования описания 07.10.80 (51) М.К .

F 04В 37/02

Государствоииый комитет

СССР

1 по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.528.3 (088.8) (72) Авторы изобретения С. П. Максимов, М. И. Дмитрук, В. П. Кравцова и Г. Я, Щепкин (71) Заявитель (Вптб (54) ВЫСОКОВАКУУМНЫИ СОРБЦИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен высоковакуумный сорбционный насос, содержащий корпус с размещенным в нем резервуаром, заполненным жидким 5 хладагентом, и сорбент, расположенный на охлаждаемой поверхности резервуара и поджатый к ней упругими элементами (1).

В известном насосе используется только одна цилиндрическая поверхность, на кото- 10 рой размещается сорбент, что ограничивает количество сорбента в насосе и не позволяет увеличить ресурс работы насоса без увеличения размеров резервуара для жидкого хладагента. 15

Целью настоящего изобретения является увеличение ресурса работы насоса.

Указанная цель достигается тем, что резервуар имеет заглушенные с нижнего торца трубки, сорбент закреплен на их наруж.ной поверхности, а каждый упругий элемент выполнен в виде манжеты из сетки, охватывающей сорбент и снабженный по краям продольными пластинами с отверстиями, и в последних установлены кре- 25 пежные элементы, снабженные упругими компенсаторами, и тем, что в корпусе концентрично резервуару размещен по меньшей мере один дополнительный резервуар.

На фиг. 1 показан разрез описываемого насоса; на фиг. 2 — сечение А — А фиг. 1; на фиг. 3 — узел крепления упругого элемента.

Высоковакуумный сорбционный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем резервуаром 2, заполненным жидким хладагентом, и сорбент 3, расположенный на охлаждаемой поверхности резервуара 2 и поджатый к ней упругими элементами, Резервуар 2 имеет заглушенные с нижнего торца трубки 4, сорбент 3 закреплен на их наружной поверхности, а каждый упругий элемент выполнен в виде манжеты 5 из сетки, охватывающей сорбент 3 и снабженный по краям продольными пластинами бс отверстиями, и в последних установлены крепежные элементы 7, снабженные упругими компенсаторами 8.

В корпусе 1 концентрично резервуару 2 размещен по меньшей мере один дополнительный резервуар 9.

Насос работает следующим образом.

Резервуары 2 и 9 заполняются хладагентом. При этом внешний резервуар может быть заполнен, например, жидким азотом, а внутренний — жидким гелием. Предварительно отрегенерированный сорбент 3 охлаждается и начинает сорбировать газ из откачиваемого объема. Прижим сорбента

769079

3 посредством сетчатых манжет, снабженных упругими элементами к наружным поверхностям трубок 4, обеспечивает хороший контакт сорбента 3 с охлаждаемой поверхностью и увеличивает ресурс работы насоса.

Использование дополнительного резервуара 9 и использование хладагентов с различной температурой кипения способствует получению сверхнизких давлений в откачиваемом объеме.

Формула изобретения

1. Высоковакуумный сорбционный насос, содержащий корпус с размещенным в нем резервуаром, заполненным жидким хладагентом, и сорбент, расположенный на охлаждаемой поверхности резервуара и поджатый к ней упругими элементами, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью увеличения ресурса работы, резервуар имеет заглушенные с нижнего торца трубки, сорбент закреплен на их наружной поверхности, и

5 каждый упругий элемент выполнен в виде манжеты из сетки, охватывающей сорбент и снабженной по краям продольными пластинами с отверстиями, и в последних установлены крепежные элементы, снабженные

10 упругими компенсаторами.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что в корпусе концентрично резервуару размещен по меньшей мере один дополнительный резервуар.

15 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 428107, кл. F 04В 37/02, 1971.

769079

Ж/г. Г

Редактор Е. Братчикова

Корректор А. Степанова

Заказ 1997/15 Изд. № 497 Тираж 729 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Фиг. 8

Составитель Н. Юшин

Техред И. Пенчко