Способ измерения толщины металлических покрытий

 

-- Ъ. ..1 ф„л

ОПИСА НИЕ

ИЗОБРЕТЕН И Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< >7693И

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 28.09.78 (21) 2668677/25-28 с присоединением заявки— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 07.10.80. Бюллетень № 37 (45) Дата опубликования описания 10.11.80

I (51) М Кл С 01 В 7/06

Государственный комитет (53) УДК 620.179..142.5.6 (088.8) IIo делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Э. А. Сахно, К. Г. Багинский и М. А. Кускова (71) Заявитель

{54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ

ТОЛЩИНЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, может быть использовано для измерения толщины покрытий в технологических процессах металлизации пластмасс, а также при изготовлении печатных плат аддитивным методом.

1Известен экранный способ измерения толщины металлических изделий, заключающийся в том, что с двух сторон изделия .размещают соответственно возбуждающую и Измерительную катуцхки индуктивности и по сигналу последней судят об измеряемой толщине (11.

Однако этот способ не обеспечивает необходимой точности при измерении тон-. ких покрытий.

Известен также способ измерения толщины металлических покрытий на проводящих изделиях в процессе осаждения из раствора, заключающийся в том, что в ванне размещают покрываемые, изделия и образец-свидетель, измеряют изменение сопротивления образца-свидетеля и по нему судят о толщине покрытия (2).

:Недостатком известного способа является то, что его нельзя использовать для измерения толщины IIoKpbITHB на непроводящих изделиях.

Цель изобретения — измерение толщины металлических покрытий также и на непроводящих изделиях.

Это достигается за счет того, что в ванне устанавливают трансформаторный преобразователь с жидкостным контуром связи, образец-свидетель .размещают в канале преобразователя и по сигналу последнего судят об изменении сопротивления образ,ца. Кроме того, в .ванне устанавливаютвто-; рой трансформаторный преобразователь, идентичный первому, и его сигналом корректируют сигнал первого преобразователя.

На чертеже представлена схема реалиIS зации способа.

В ванне 1 с растворам 2 .размещают трансформаторные преобразователи 3 и 4 с жидкостным контуром связи. Каждый из трансформаторных преобра20 зователей выполнен в виде заключенных в кольцевой, корпус двух соосных тороидаль.ных сердечников, на одном из которых размещены обмотки 5, б возбуждения (соответственно), а на другом — измеритель25 ные обмотки 7 и 8 (соответственно).

Сердечники разделены один от другого электростатическими экранами 9 и 10. Индуктивная связь между обмотками пре-. образователя осуществляется посредством жидкостного контура при погружении пре76931f

< образователя в электропроводящую жидкость. Образец-свидетель F11 устанавливают в канале 12 преобразователя 4.

Питание преобразователей 8 и 4 осуществляется от генераторов И и 14, сигнал преобразователей усиливается усилителями 15 и 1б и,регистрируется индикаторами

17 и i18. Способ осуществляется следующим образом.

Трансформаторные преобразователи 8 и 4 устанавливают в ванне 1 с раствором

2 и с покрываемыми изделиями (на чертеже,не показаны). Образец-свидетель 11 из не электропроводящего материала поме. щают в канал;12 преобразователя 4. На об мотки б и б возбуждения подают низкочастотное напряжение .питания от генераторов 18 и,14. Через жидкостной контур связи на измерительной обмотке 7 .наводится сигнал, пропорциональный сопротивлению жидкостного контура связи, а,на измерительной обмотке 8 — сигнал, пропорциональный сопротивлению жидкостного контура связи и сопротивлению наносимого на образец-свидетель покрытия.

Сигналы с измерительных обмоток усиливаются усилителями 15 и 16 и подаются на индикаторы,17 и 18.

Сравнивают полученные сигналы, .например, находят их разность, и по ней судят о сопротивлении наносимого на образец-свидетель покрытия и его толщине.

Формула изобретения

1. Способ .измерения толщины металлических покрытий на проводящих изделиях в процессе осаждения из,раствора, заключающийся в том, что в ванне размещают покрываемые изделия и образец-свидетель, измеряют изменение сопротивления образца-свидетеля, и по нему судят о толto щине покрытия, отличающийся тем, что, с целью .измерения толщины металлических покрытий также и на непроводящих изделиях, в ванне устанавливают трансформаторный преобразова15 тель с жидкостным контуром связи, образец-свидетель размещают в канале преобразователя и по сигналу последнего судят об изменении сопротивления образца.

2. Способ по п.,1, отличающийся

20 тем, что в ванне устанавливают второй трансформаторный преобразователь, идентичный первому, и его сигналом корректируют сигнал. первого преобразователя.

25 Источники информации, принятые во внимание при экапертизе:

1. Дорофеев А. Л. и др. Индукционная толщинометрия, М., «Энергия», 1978, З0 с. 4.3 — 51.

2. Авторское свидетельство СССР

М 178495, кл. G 01 В 7/Об, 1964 (прототип).

769311

13

1В

Корректор С. -Файн

Редактор Г. Петрова

Заказ 1230/1340 Изд. Ка 475 Тираж 810 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Составитель И. Кесоян

Техред И. Пенчко э

Д 16