Вогнутая дифракционная решетка для вакуумной ультрафиолетовой области спектра
Союз Советских
Социалистических
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
<>773557 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 290379 (21) 2743013/18-10 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (53)М. Кл, С 02 В 5/18
Государственный комитет
СССР по делам изобретений и открытий
Опубликовано 231080, Бюллетень ¹39 (5З) УДК 535. 421. (088.8) Дата опубликования описания 231080 (72) Авторы изобретения
С.А.Стрежнев, В.В.Куинджи, Я.К.Лукашевич и В.П.Петров
1 с с
I (71) Заявитель (54) ВОГНУТАЯ ДИФРАКЦИОННАЯ РЕШЕТКА ДЛЯ ВАКУУМНОЙ
УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА
Изобретение относится к спектральному приборостроению и может быть использовано в оптико-механической промышленности при изготовлении приборов с вогнутыми дифракционными - 5 решетками для вакуумной ультрафиолетовой области спектра.
Известна вогнутая дифракционная решетка для вакуумной ультрафиолетовой области спектра со ступен- 10 чатым профилем -штрихом, у которой рабочие грани всех штрихов наклонены к касательной в каждой точке ее поверхности под одинаковыми углами
ill . 15
Известна вогнутая дифракционная решетка для вакуумной ультрафиолетовой области спектра, у которой наклон рабочей грани штрихов имеет три различных значения на трех раз- 20 личных участках решетки по ее ширине (2) .
Рабочие грани всех штрихов в случае первой решетки и каждый из трех участков второй решетки дают макси- 25 мум концентрации энер."ии в одчом узком пространственном диапазоне направления, в результате чего достигается увеличение светосилы решетки . в сравнительно узкой области спект- 30
2 ра, которая уменьшается по ширине при смещении рабочей области в коротковолновую часть спектра.
Известна также дифракционная решетка для вакуумной ультрафиолетовой области спектра, имеющая ступенчатые штрихи с постоянным углом между гранями штрихов и плоскостью деления
l3) ° При изготовлении такой решетки поверхность резца, формующая рабочие плоскости штрихов, составляет с хордой, стягивающей края решетки, постоянньй угОл. Вследствие этого угол наклона рабочей грани штрихов по отношению к касательной к вогнутой поверхности плавно меняется по ширине решетки. Во всех установках на круге Роуленда вогнутые решетки освещаются расходящимся пучком из точки, лежащей на круге Роуленда. Поэтому угол падения пучков на рабочие грани штрихов и соответственно положение максимума концентрации, даваемого решеткой, меняются по ширине решетки. Вследствие этого каждый участок решетки дает максимум концентрации в определенную область, в результате область высокой концентрации вогнутой решетки
Формула изобретения
Вогнутая дифракционная решетка для вакуумной ультрафиолетовой области спектра со ступенчатыми штрихами с постоянным углом между гранями штрихов и плоскостью деления и отражающим покрытием для вакуумной ультрафиолетовой области спектра, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью увеличения светосилы з широкой области спектра, покрытие ре.шетки состоит из не менее двух частей, каждая из которых имеет наибольший коэффициент отражения в одном из рабочих участков спектра и расположена на том участке решетки, З область максимальной концентрации которого соответствует тому же участку спектра, а границы частей покрытия расположены от начала решетки на расстояниях
Хс R(о с п, /Ьо)+ Р !2, 2<1 соь6/2 .где Н вЂ” радиус кривизны решетки}
К вЂ” порядок спектра} — длина волны, при которой высокоотражающие покрытия смежных ь и t+l частей имеют равные .коэффициенты отражения; и — период решетки; .8 - угол между падающим и дифрагированным пучками в схей ме использования решетки}
A — ширина решетки} — угол между гранями штрихов и плоскостью деления для
5$ центрального участка решетки, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
gg Ю 387319, кл. С 02 В 5/18, 1973.
2.3оаейо8 Optica8 эос е1ц а1 American, У,437)Ep53,с,з)ь.
3. Оптика и спектроскопия. Л., - Наука, т. 16, 1964 с. 133 (прототип} ..увеличивается до двух и более раз в зависимости от ширины решетки.
Недостатком такой решетки является то, что любое из известных покрытий для решеток, работающих в вакуумной ультрафиолетовой облас ти, вследствие селективности отражательной способности по спектру в этой области значительно уменьтает светосилу для тех участков ре:Шетки, максимум концентрации от которых не совпадает с наибольшим коэффициентом отражения покрытия решетки в этой области спектра.
Цель изобретения — увеличение светосилы решетки в широкой облас-i ти спектра.
Поставленная цель достигается, тем, что покрытие решетки состоит из не ,менее двух частей, каждая из которых имеет наибольший коэффициент .отражения в одном из рабочих участков спектра и расположена на том участке решетки, область максимальной концентрации которого соответствует тому ме участку спектра, а границы частей покрытия расположены от— начала решетки на расстояниях
KX,„ х (6 2д ОЬЕ/2 М А/2, где R â€,радиус кривизны решетки}
К вЂ” порядок спектра;
Ъ. — длина волны,при которой вы- ь сокоотражающие покрытия смеж ных и i +1 частей имеют равные коэффициенты отражения; и — период решетки ;
9 --угол между падающим и дифрагирующим пучком в схеме использования решетки}
А — ширина решетки; ур — угол между гранями штри хов и плоскостью деления для центрального участка решетки. На фиг.1 на круге Роуленда изобра.жена предлагаемая вогнутая дифрак- . ционная решетка Р, концентрирующая излучение от источника S в область спектра .-Х1,. на Фиг..2 — графики распределения эффективности, давае.мой.каждым из участков решетки.
Покрытие решетки состоит из двух частей 1.и 2.При этом -каждая из частей 1 и 2 покрытия, имеющего наибольши коэффициент отражения соответственно
Э областях Х;-Ъ.р и Х -Х, распоАЬжена на тех участках 1 и 2 решетки, Область максимальной концентрации
ИОторых также % -Х и о - 11 с Мак"
ОИмумами концентрации при Xr, и Х <, Участки решетки содержат кривую
3. (см. Фиг,2) с областью максимальНОй концентрации Ъ, - Ky qpÿ первой
Чести решетки, кривую 4 с областью
Ивйсимальной концентрация для вто9Ой части и суммарную кривую 5.
Решетка работает следующим:обР53Ом.
При падении излучения на решетку от источника S она концентрирует наибольшую энергию в область Х,-х, причем в область 3,-1о — от rIepBOA части решетки с покрытием из вольф рама, имеющим наибольший коэффициент отражения s этой области спектра, а в область 1,}-Х вЂ” от второй части решетки с покрытием из алюминия с фтористым магнием, имеющим наибольший коэффициент отражения в этой же области спектра. В результате, как видно из Фиг. 2, происходит увеличение светосилы решетки в широкой области спектра Х -А1 СветосиЛа решетки была бы значительно мень15 ше, если бы на всю решетку был нанесен только вольфрам или алюминий с
Фтористым магнием.
773557
Ag
" Фиа1 os Фиг.8 Составитель В.Ванторин Редактор A.Ìîòûëü Техред М.Кузьма Корректор В. Синицкая Заказ7502/59 Тираж 569 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам. изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, r. ужгород, ул. Проектная, 4
