Устройство для визуального контроля плоских изделий

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНМЕ

ИЗОБРЕТЕННАЯ

< >790042

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) За "влено 31. 01. 79 (21) 2719066/18-21 с присоединением заявки М— (5()М. Кл.

H 01 L 21/70

Государственный комитет

СССР но делам изобретений н открытий (23) Приоритет— (53) УДК 621.382.003.

3. (088.8) Опубликовано 2312й0 Бюллетень Мо47

Дата опубликования описания 23 . 12. 80 (72) Авторы изобретения

В. A. Назаров, В. A. Белов и A. И. Горохов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВИЗУАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ

ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к производству интегральных схем, в частности к технологии контроля и отбраковки готовых изделий.

Известно устройство для визуаль- 5 ного просмотра интегральных схем (ИС), представляющее собой кассету, состоящую иэ корпуса и крышки. В корпусе кассеты выполнены ячейки в виде пазов и выступов, ограниченные 10 с торцов глухими стенками корпуса.

Загрузка ИС в корпус кассеты осуществляется вручную (пинцетом). После проведения визуального осмотра ИС в корпусе ДИП с одной стороны, удалив бракованные ИС пинцетом, оператор. накрывает корпус кассеты крышкой, в которой также выполнены ячейки в . виде пазов и выступов, но в негативном изображении по отношению к 2О корпусу. Перевернув кассету на 18(f оператор снимает корпус кассеты и проводит визуальный осмотр другой стороны корпусов ИС. Удалив бракованные схемы, оператор заполняет 25 свободные места в кассете заведомо годными ИС и возвращает все ИС вторичным поворотом на 180 кассеты, т.е.

О обратной перегр xoH в корпус кассеты. Ра. грузка ка =се1ы осуществляет- 30 ся вручную в - специальные емкости

"внавал".

Недостатком известного устройства является то, что конструкция кассеты не позволяет вести всесторонний осмотр ИС, так как остаются труднодоступные для глаза оператора места на корпусе ИС, в частности боковые стороны, что не обеспечивает 100%-ного выявления брака. К числу недостатков кассеты также следует отнести большие затраты ручного труда, отчего резко снижается производительность на операции визуального контроля ИС. Кроме того, появляется неудобство в использовании этого устройства для контроля ИС в плоских корпусах иэ-эа отсутствия фиксатора изделий (1J .

Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемому является установка визуального контроля, содержащая загрузочно-разгрузочный механизм, направляющие, привод, узел фиксации изделий, в которой пластины поштучно подаются иэ кассеты загрузки этажерочного типа по направляющей в зону контроля, где они фиксируются. После визуального конт—

790042

39

4О

5О роля пластина поступает по направляющей в кассету разгрузки $2).

Однако известная установка не позволяет производить возврат ИС «а позицию контроля и вести всесторонний осмотр ИС, что не обеспечивает

100%-ного выявления брака. Кроме того, конструкция установки сложна, а сама установка малопроизводительна.

Цель изобретения — повышение производительности труда и упрощение конструкции.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для визуального контроля плоских изделий, содержащем кассету с ячейками для плоских изделий, держатель плоских изделий и загрузочно-разгрузочный механизм, держатель плоских иэделий выполнен в виде пластины, установленной на наклонном поворотном основании, причем на одной из граней гластины выполнены ступенчатые выступы с шагом, равным расстоянию между ячейками кассеты, а загрузочно-разгрузочный механизм снабжен направляющей, закреп ленной на поворотном основании, и пластиной для кассеты, установленной с возможностью перемещения по направ. ляющей.

На фиг.1 схематически представлено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг.2 — схема расположения изделий на пластине; на фиг.3 . устройство, вид спереди.

Предлагаемое устройство для контроля внешнего вида полупроводниковых приборов состоит из наклонно установленной пластины 1, имеющей на одной из граней ступеньки 2, на которых располагаются контролируемые изделия 3 (позиция контроля), а загрузочно-разгрузочный механизм 4 выполнен в виде продольной направляющей 5 и перпендикулярно установленной площадки 6 для кассеты 7 с ячейками 8 для контролируемых иэделий 3. Пластина 1 и эагрузочноразгрузочный механизм 4 установлены на наклонном поворотном основании 9.

Устройство работает следующим образом.

Кассета 7 с заполненными ячейками 8 контролируемыми иэделиями 3 устанавливается на площадку 6. Затем (вручную) ее перемещают,вниз вдоль продольной направляющей 5 до упора (фиг.3). При этом каждые изделия 3 опускаются на ступеньку 2 (фиг.2),так как шаг ступеньки 2 равен расстоянию от начала одной ячейки 8 до начала соседней (фиг.1)

После проведения контроля изделий

3 с одной стороны пластину 1 поворачивают на поворотном основании 9 на 90о направо и налево от первоначального положения для контроля с боковых сторон. Для того чтобы осуществить контроль противоположной стороны изделий, кассету 7 поднимают вверх вдоль продольной иаправля ющей(фиг.3). При этом каждое изделие

3 располагается в своей ячейке 8 в кассете 7, т.е. устройство возвращается в исходное положение. Затем, кассету 7 поворачивают на 180,вновь устанавливают ее на площадке 6. Осуществляют аналогичный процесс контроля изделий с противоположной стороны.

Держатель изделий 3 в виде пластины со ступеньками установлен íà основании наклоненным под углом в

9-12 к горизонту. Такой наклон пластины обеспечивает надежное удержание изделий на позиции контроля. Кроме того, наличие поворотного основания обеспечивает визуальный осмотр (контроль) со всех сторон.

Формула изобретения

Устройство для визуального контроля плоских изделий, преимущественно интегральных схем в плоских корпусах, содержащее кассету с ячейками; для плоских иэделий, держатель плоских изделий и загрузочно-разгрузочный механизм, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности работы и упрощения конструкции, держатель плоских изделий выполнен в виде пластины, установленный на наклонном поворотном основании, причем на одной из граней пластины выполнены ступенчатые выступы с шагом, равным расстоянию между ячейками кассеты, а загрузочно-разгрузочный механизм снабжен направляющей, закрепленной на поворотном основании, и пластиной для кассеты, установленной с воэможностью перемещения по направляющей.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Тара для корпусов ДИП Fe

10Т-11-00. Тех.документация.

2. Установка для визуального контроля фирмы Cobiit О!ч3sion ComputerVlsIon Corporation. — "Solid state

TechnoIoqy", 1973, Р 8 (прототип).

790042

Составитель В. Жеглов

Редактор И. Николайчук,Техред М.Табакович Корректор N. Коста

Заказ 9046/52 Тираж 844 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4