Плазменный источник электронов

 

Плазменный источник электронов, содержащий катод, промежуточный электрод с контрагирующим отверстием, анод, управляющий и ускоряющий электроды, отличающийся тем, что, с целью стабилизации тока пучка электронов и повышения электрической прочности ускоряющего промежутка, на поверхности промежуточного электрода, обращенной к катоду, выполнен кольцевой выступ, при этом промежуточный электрод отделен от катода пластиной, поперечный размер которой превосходит диаметры как катода, так и выступа, а расстояние между пластиной и промежуточным электродом, равное внутреннему диаметру кольцевого выступа, на порядок величины больше диаметра контрагирующего отверстия.

Изобретение относится к электродуговым источникам плазмы, служащим для формирования электронных пучков. Известны источники электронов в виде разрядной ячейки Пеннинга с извлекающим электродом [1] Их недостаток состоит в ограничении сверху по току пучка электронов. Наиболее близким по технической сути является плазменный источник электронов, содержащий катод, промежуточный электрод с контрагирующим отверстием, анод, управляющий и ускоряющий электроды, формирующие пучок электронов [2] В данном источнике ионизации рабочего вещества осуществляется дуговым разрядом, сжатым отверстием в промежуточном электроде. Повышенные плотность и степень ионизации плазмы позволяют значительно увеличить ток пучка электронов. Однако этот параметр нестабилен, а в ускоряющем промежутке относительно часто наблюдаются пробои. Целью изобретения является стабилизация тока пучка электронов и повышение электрической прочности ускоряющего промежутка. Поставленная цель достигается тем, что в плазменном источнике электронов, содержащем катод, промежуточный электрод с контрагирующим отверстием, анод, управляющий и ускоряющий электроды, на поверхности промежуточного электрода, обращенной к катоду, выполнен кольцевой выступ, при этом промежуточный электрод отделен от катода пластиной, поперечный размер который превосходит диаметры как катода, так и выступа, а расстояние между пластиной и промежуточным электродом, равное внутреннему диаметру кольцевого выступа, на порядок величины больше диаметра контрагирующего отверстия. Устройство, выполненное согласно данному изобретению, представлено на чертеже. Оно состоит из катода 1, промежуточного электрода с контрагирующим отверстием 2, анода 3, управляющего электрода 4, ускоряющего электрода 5. На электроде 2 выполнен кольцевой выступ 6 и установлена пластина 7, поперечный размер которой превосходит диаметры как выступа 6, так и катода 1. Работает данное устройство следующим образом. Рабочую полость устройства вакуумируют, между электродами 1 и 3 поджигают дуговой разряд, который сжимается отверстием в электроде 2. Между электродами 4 и 5 прикладывают высокое напряжение, чем формируется электронный пучок. Наличие выступа 6 на электроде 2 и пластины 7 предотвращает попадание паров катода в контактирующее отверстие электрода 2 и в ускоряющий промежуток между электродами 4 и 5. Первый фактор стабилизирует ток пучка электронов в силу стабилизации параметров плазмы, второй повышает электрическую прочность ускоряющего промежутка.

Формула изобретения

Плазменный источник электронов, содержащий катод, промежуточный электрод с контрагирующим отверстием, анод, управляющий и ускоряющий электроды, отличающийся тем, что, с целью стабилизации тока пучка электронов и повышения электрической прочности ускоряющего промежутка, на поверхности промежуточного электрода, обращенной к катоду, выполнен кольцевой выступ, при этом промежуточный электрод отделен от катода пластиной, поперечный размер которой превосходит диаметры как катода, так и выступа, а расстояние между пластиной и промежуточным электродом, равное внутреннему диаметру кольцевого выступа, на порядок величины больше диаметра контрагирующего отверстия.

РИСУНКИ

Рисунок 1



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к электроракетным двигателям и можеи использоваться при их конструировании

Изобретение относится к области сильноточных вакуумных электродуговых устройств

Изобретение относится к плазменной технике, а именно к накальным катодам-компенсаторам на газообразных рабочих телах, и может быть использовано при разработке электрореактивных двигателей для нейтрализации ионного пучка, а также в технологических источниках плазмы для ионноплазменной обработки поверхности материалов в вакууме

Изобретение относится к плазменной технике, а именно к катодам-компенсаторам на газообразных рабочих телах, и может быть использовано при разработке электрореактивных двигателей для нейтрализации ионного пучка, а также в технологических источниках ускоренных потоков для ионно-плазменной обработки поверхности материалов в вакууме

Изобретение относится к области плазменной техники и может быть применено при разработке электронно-лучевых устройств и использовано в электронно-лучевой технологии, экспериментальной физике, плазмохимической технологии

Изобретение относится к плазменной технике, а именно к катодам-компенсаторам, работающим на газообразных рабочих телах, и может быть использовано в электрореактивных двигателях для нейтрализации ионного пучка, а также в технологических источниках плазмы, предназначенных для ионно-плазменной обработки поверхностей материалов

Изобретение относится к области электрореактивных двигателей, а именно к классу плазменных ускорителей (холловских, ионных), использующих в своем составе катоды

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и элементов дифракционной оптики на криволинейных поверхностях

Изобретение относится к плазменной эмиссионной электронике, в частности к конструкции плазменных ионных и электронных эмиттеров непрерывного действия с большой поверхностью на основе объемного разряда с холодными электродами, и может быть использовано для термической обработки в вакууме: при спекании изделий из металлических порошков, пайке, закалке, а также в технологических процессах, например, обезгаживания деталей с последующей активизацией и нанесением покрытий, когда требуется комбинация электронных и ионных пучков, решаемая в едином цикле путем переключения полярности ускоряющего частицы напряжения
Наверх