Стекло
ОИ ИКАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
«)791672 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 310578 (2! ) 2622788/29-33 с присоединением заявки Ко 2622789/29-33 (23) Приоритет
Опубликовано 30.12ЯО Бюллетень Мо 48
Дата опубликования описания 10. 01. 81 <„з
С 03 С 3/14.
Государственный комитет
СССР по делам изобретений н открытий (53) MK 666. 112 ° .92(088.8) Б.В,Тарасов, Э.Н.Каплина, Г.И.Артамбнова и
Т.Н.Половникова (72) Авторы изобретения
Государственный научно-исследовательский институт и стекла (71) 3aявитель (54) СТККЛО
Изобретение относится к составам легкоплавких стекол, которые преимущественно могут быть использованы в качестве контрастных диэлектрических покрытий в радиоэлектронике и полупроводниковой промышленности.
Известен состав стекла, содержащий следующие компоненты, вес.Ъ . в о 80
R О
3-9
Zn0 17 — 58
RO 5 (1) .
Наиболее близким к изобретению по составу и технической сущности является стекло, включающее, вес.3:
В2 О 55 — 65
Zn0 7-15
А12 Оа
1-6
Ма О 4-8
К2О 4-8
L1p G 14-18
CdO . 2-5
V,Gg 2-7 P2).
Указанное стекло имеет температуру плавления до 500 С. Оно не обладает черным цветом, поэтому не может применяться для создания контрастных шкал.
Целью изобретения является повышение адгезии к пленкам ВпОр и InOg и химической стойкости, обеспечение контрастного черного цвета и понижение температуры плавления.
Это достигается тем, что стекло содержит компоненты при следующем соотношении, вес.Ъ:
В2 Og 50-65 иа20 4-10
К 20 4-9
Li20 9-16
ZnO 4-9
А12 05 0,3-1,5
Ип 0
4-10
Группу окислов
СоО 2-5
Ni0 О, 05-0, 2 2 05 2.— 5 или группу окислов
Со2 03 0,3-0,7
СОО 0 5-3.
Присутствие в составе стекла Чв Оу и СоО, NiО улучшает смачивание стек:лом подложки и повышает адгезию.
2з Соотношение щелочных окислов к
Ва 0, как (О, 3-0, 5): 1, создает температуру плавления до 470 С при диэлектрической постоянной до
20. Присутствие трех щелочей в по30 добном соотношении создает полище791672 лочной эффект, повышающий химическую .устойчивость легкоплавкого стекла.
Введение в состав, стекла Со 0
Си0 и Ип О в представленном соот <ошении сообщает стеклу интенсивный черный цвет, способствует снижению температуры плавления и улучшает адгезионные и электрические свойства при создании диэлектрического контрастного покрытия на электровакуумном стекле с токопроводящей пленкой.
Стекла указанного состава имеют температуру плавления до 470 C и создают контрастное диэлектрическое покрытие на электровакуумном стекле с токовпроводящей пленкой толщиной до
100 мкм. t5
В качестве сырьевых материалов для варки стекла используют борную кислоту, фтористый алюминий, азотнокислый натрий,. азотнокислый калий,,углекислый литий, окись цинка, окись 2О меди, окись кобальта, Окись марганца.
Сырьевые материалы должны быть смаркировкой "ч" и "хч".
В таблице приведены различные составы и свойства стекла в зависимости от соотношения компонентов, Стекло может использоваться для создания паралаксных шкал с покрытием толщиной 100ммкм.
Стекло характеризуется повышенной химстойкостью к воде. Паралаксные шкалы, создаваемые из этого стекла, :имеют контрастный черный цвет и о6ладают высокой адгезией при толщине покрытия 100 мк. Диэлектрические шкалы, выполненные иэ этого стекла, имеют высокую надежность в условиях длительной эксплуатации на воздухе, беэ создания условия герметизации.
Стекло наносится обычными способами применяемыми в радиоэлектронике при создании толстопленочных покрытий.
Стекло может найти широкое применение в радиоэлектронике и полупроводниковой промышленности, при созда.нии изолирующих, токопроводящих (с токопроводящим наполнителем), контрастных и др. покрытий.
791672 а о и3 а
° 3 CO Ф с
СЧ
%-3 о о а
° Ф 0Ъ
3«3 с
% о о а о
° Ф о
tA о ч чР а tA с-3 сб о о
tO tA (Ч с3 CO (Ю и е
Р3 о о
to o Ф ОЪ п3 !
Х е
3ч и а с
0Ъ!
О о о а о ср с3
Ю
pt и о
v о е
3 о
tA о с о
tA
° 3 о Ф
О
° с о о ! с
° Ф
Ю о о -4
\33
« о
I O а 3 . lA
О с о
Ю о о
% !
I 1 О а
2 о m ии с-! I«а С4 с с с с оо0ъа3н !ъ3чо а 3 а tA
Ръ а tA т-4
«с ! с с ойдо 3ЪОО
Ч (") еео ! с с с а330Ъа3 ! !о
° Ф ЦЪ % 4
-o с
tO а lA с-! сУ О Зч а о!
«3 CO
tA,, tAÎ с с с о î
% т4РЪ . РЪ IA с-3
0 с с с с с а .3 Оъ со о 3 ОО
10 ююа с \ а3 Оъо0ъоо3О
tA c %
0t с ) а С ъ
tO с34 «с.с с I ! а О\ о а-3 \o o o о Оъ а! tAtA Ф0ъа с с с с
33 а а а 3 3 о о
tA с-4
<ч .3 а! <ч а
tO M c3 0t сР с-3 О РЪ CO
t tO tA <Ч
О Я с с с с
Ч3r а!аОосЧtO аао
0Ъ (Ч с с а 3 t w m o o w tA
)33 3С ЮЪ МЪ ЪО Î ОО О «Ъ
О 3,3О Зчо вч еО ючО О О
t«3tt3 4 — С 0 З С co— а 2ЫJt«!CDÎ KOD2
10 о о ь
0t
tA с.4 о сч
I ДЕОН
u oe 3 оси
