Способ изготовления кварцевых камертонов

 

Cons Советских

Сецнаектмчеспмх

Расаубав4

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОУСКОМУ СВ ИЗЛЬСТВУ

{с 1) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 260479 (21) 2763256/18-23

li»792534 р )м. кл. с присоединением заявки N9—

Н 03 Н 3/00

Гееударствеввмй авмятет ссср вв делам кзобретеккй в атармтяй (23) Приоритет

Опубликовано 30.1280, Бюллетень Н9 48 (53) УДК 621.372. .412 (088.8) Дата опубликования описания 30.12,80 (72) Автор изобретения

В. A . .Павлов

>

Угличский филиал Научно-исследовательского инсТйтута часовой промышленности (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ KBAPgEBhlX KAMEPTOHOB

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении малогабаритных кварцевых резонаторов с кристаллическим элементом в форме камертона.

Известен способ изготовления кварцевых камертонов, при котором из монокристалла кварца вырезают отдельные заготовки-бруски с припуском на каждую сторону, после чего их шлифуют 10 до получения заданных размеров и шероховатости, а прошивку щели осуществляют отдельно в каждом бруске на ультразвуковом станке (11.

Этот способ характерен эначитель- f$ ным разброссы размеров щели и ветвей камертона, имеет низкую производительность, не обеспечивает точную ориентацию камертона относительно кристаллографических осей и не позволяет по- 20 лучить сверхминиатюрных камертонов.

Известен способ изготовления ,кварцевых камертонов способом фотолитографии. Этот способ, при котором из монокристалла кварца вырезают 2S заготовки-пластины с припуском на каждую сторону, после чего их шлифуют и полируют до получения заданных размеров и шероховатости, а щель выполняют методом фотолитографии (2). З0

Этот способ требует применения специальных химикатов и иэ-за подтрав— ления ребер камертона не обеспечивает высокой точности выполнения размеров.

Известен также способ изготовления кварцевых камертонов, при котором из монокристалла кварца вырезают пласты толщин ой, рав ной зада нного толщине камертона и шириной, равной, его заданной длине; наклеивают пласты

C на подло>яку, укрепляют подло>хку на держагеле станка с алмазным кругом, имеющим внутреннюю режущую кромку, прорезают щели в пласте и отрезают камертоны, повторяя последние две операции последовательно по всей длине пласта, после чего расплавляют клеящую массу и обрабатывают боковые поверхности камертонов до получения заданной ширины 13).

Недостатком этого способа является недостаточно высокая точность изготовления, не обеспечивающая получение необходимых точностей ра3MPpoB камертона и чистоты поверхностей, образующих щель камертона.

Целью изобретения является повышение точности изготовления кварцевых камертонов.

/9?534

Это достигается тем, что в спосо- Подложку с блоком закрепляют на столе бе изготовления кварцевых камертонов, кварцеотрез ного стакана с алмазными при котором иэ монокристалла кварца дисками с наружной режущей кромкой вырезают пласты толщиной, равной эа- М производят пробный срез. Отрезанную данной толщине, и шириной, равной часть отделяют от блока и контролиего заданной длине, наклеивают пласты руют на рентгенгониометре по кристана подложку, укрепляют подложку на ллографическим осям. При необходидержателе станка с алмазным кругом, мости вносится поправка по углу среимеющим внутреннюю режущую кромку, эа перемещением стола кварцеотрезнопрорезают щели в пласте и отрезают ro станка относительно плоскост.» откамертоны, повторяя последние две резного диска. Затем производят посоперации последовательно по всей дли- ледовательно прорезание щелей 5 и не пласта, после чего расплавляют отрезание камертонов 6 с припусками клеящую массу и обрабатынают боко- на дальнейшую обработку путем проревые поверхности камертонов до полу- зывания па 3oB . Глубина па зон настрачения заданной ширины, переб наклей- ив ается по огра ничител ям хода в еркой пластов на подложку, их склеивают тикальной подачи отрезного станка. в блок; для наклейки на подложку ис- Расстояние между па зами устанавлинапользуют ниэкотемперетурную клеящую ется по лимбу поперечной подачи стомассу, температура плавления которой ла отрезанного станка и в процессе ниже температуры плавления клея»»»ей резки ав томатически поддерживается массы для склеивания в блок, отрез- Щ постоянным. Глубина пазов при отреку камертонов проводяТ путем проре- эании пакетов камертонов должна быть зынания пазов, образующих пакеты ка- больше толщины блока, т.е. длины мертонов, в блоке с подложкой вдоль камертона, и на 1 — 1,5 мм захватывать толщины камертонов.на глубину, пре- стеклянную подложку ° Пакеты н провышающую длину камертона, с последую в 5 IIecce Резки не отделяются от подложщим расплавлением клеящих масс, при ки, а пазы между ними заполняют расэтом дополнительно доводят щели ка -. плавленной канифольно-восковой массой мертонов для чего после прорезывания

4 для обеспечения жесткости блока пазов их заполняют низкотемпературной при дальнейшей обработке. Разрезанклеящей массой и обрабатывают щели ный блок пластин снимают со стола каждого пакета камертонов билеталли- кварцеотрезного стакана и устанавческой проволокой с применением сво- линают на приспособление для доводки бодного абразива, а обработку боко- щели камертона, имеющем проволоку с вых поверхностей камертонов проводят регулируемым натяжением, совершающую пакетами после расплавления низкотем- возвратно-посту»»ательное движение в пературных клеящих масс, кроме того 35 горизонтальной плоскости и имеющую в качестве биметаллической проволоки возможность перемещаться в вертикальможет использоваться платинит. ной плоскости. Приспособление имеет

На чертеже пока зан блок камерто- свободное перемещение н горизонтальнов, изготавливаемых предложенным ной плоскости на величину 5 мм от пособом 4Q продольной оси, свободный поворот в

В блоке собраны пласты 1. Пласты горизонтальной плоскости на угол «1 5

1 склеены высокотемпературной клея-, и свободный поворот в вертикальной

+ г щей массой 2, температура плавления плоскости по оси проволоки на 15. которой не превышает температуры тер- Оно имеет также жесткую поперечмического разрушения и фазового пе- 4 ную подачу для предварительного рехода кварца. Пласты 1 наклеены на сонмещения блока пластин с проволоподложку 3 низкотемпературной клея- кой. Приспособление обеспечивает щей массой 4, температура плавления самоустанонку щели 5 с проволокой которой не менее чем на 10% ниже в течение всего процесса обработки. температуры планления массы 2. Про- о На проволоку наносится абразивная резанные в блоке пазы также эаполне- суспензия. Совершая рабочие движены массой 4..Мели 5 проходят вдоль ния, проволока производит доводку каждого пакета камертонов 6. щели камертона до номинального разПредложенный способ поясняется на мера. Такую операцию проводят для следующем примере. щелей всех йакетов блока . Для полуЗаготовки-пласты 1 отрезают и шли- чения поверхности щели высокого класФуют по толщине и длине камертонов. са шероховатости применяют платинитоПлас;ы 1 склеивают в блок длиной вую проволоку, имеющую сердечник

30 мм. В качестве склеивающей массы из сплава никеля и железа и медную

2 применяется спиртовой раствор шелла- рубашку, При этом, медь в силу своих ка с температурой плавления после 4Q фИзикомеханических свойств, хорошо застывания 130 С. Блок пластов уста- шаржируется абра зин ными зернами, выснавливают на стеклянную подложку 3 тупающими над .поверхностью меди на толщиной не менее 4 мм и приклеивают одинаконую высоту. Кроме того, медь к ней канифольно-восковой массой 4 меньше подвергается абразивному изс температурой плавления 60-70 С. 65 носу, чем более твердые материалы.

792534

Формула из обре тени я

ВНИИПИ Заказ 9598/62 Тираж 995 Подписное

Филиал ППП Патент, r, Ужгород, ул, Проектная, 4

11ОСЛО Д<>BOJlf

Предложенный способ изготовления кварцевых камертонов обеспечивает воэможность получения камертонов с высокими точностью его геометрических 1О размерон и качеством поверхностей .

Он пригоден для массового производствав à KB а рцевы:< камертонов дл я ма— логабаритных пьезоэлектрических резонаторов, применяемых в наручных элекr-)5 ронных и электронно-механических часах.

1. Способ изготовления кварцевых камертонов, при котором иэ монокри— сталла кварца вырезают пласты с тол— щиной, ран ной заданной толщине камер— тона, и шириной, равной его длине, наклеивают пласты на подложку, укреп — 25 ляют подложку на держателе станка с алмазным кругом, имеющим н нутреннюю режущую кромку, прорезают щели н плас— те и отрезают камертоны, пон торя я последние две операции последователь — 30

Но по всей длине пласта, после чего расплавляют клеющую массу и обрабатывают боковые поверхности камертонон до получения заданной ширины, о т л и ч а ю «1 и и с я тем что с 35 целью повышения точности, перед наклейкой пластов на подложку, их склеивают в блок, дл < наклейки на подло::<ку используют ниэкотемпературную клеящю массу, температура плавления торой ниже температуры плавления клеящей массы для склеивания в блок, отрезку камертонов проводят путем проре зыва ния па зов, образующих па— кеты камертонов, н блоке с подложкой вдоль толщины камертонов на глубину, прон сдающую длину камертона, с последующим расплавлением клеящих масс, при этом дополнительно доводят щели камертонов, для чего после прорезывания пазон их заполняют низкотемпературной клеящей массой и о< рабатывают щели каждогo пакет» камертонов . биметаллической проволокой с применением свободного абрази а, а обра— ботку боковых поверхностен каMертонон пр<1водят пакетами по::-.е расплавления низкотемпературных .<лсящих масс.

2. Способ иэготонлениll кварцевых камертонов по п.1, о т л и ч а ю шийся тем, что в к; ч«<:твс биметалличоскои пронолоки Hcl .< Iü. Уют платини-,.

Источники информ <»<и принятые Е3о внимание при «к<=пертиэс.

Нестеров F,.Б. и лр. И«.-лелование процессов изготовлени, кварц< вых кам pToIIGB для низкочас I BI

2. Рахманинов С,В.Кв If "I<е резоHàтopû для элеKòðoíныK IIB1 "учных часов . Обэс р 011ТЭИ, 14., 1

3 . АBòîðñêîå свиде fсlll ТВо СССР

Ч 372646, кл, Н ОЗ Н 3, I!2, 1 971,