Устройство для травления кварцевых пластин

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 090178 (21) 257275 3/18-2 3 (51) М. КЛ.

Н 03 Н 3/02 с присоединением заявки No

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 150680. Бюллетень Ко 22 (53) УДК 621.372. . 412 (088. 8) Дата опубликования описания 20. 06. 80

В. M. Харитонов, A. С . Савоськин, К. Г. Кожемякин, Г. В. Бузмаков, Ю. С. Бочаров, A. В. Зачесов, В. В. Барышев и Н. М. Литинская (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИН

Изобретение относится к области .радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении кварцевых резонаторов. 5

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому изобретению является устройство для травления кварцевых пластин, содержащее измерительный приемник с генератором, счет- 1О но-решающий блок, ванны смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обезжиривания и сушильную камеру (1).

Однако в. этом устройстве производится группоцоб травление пластин, при.. котором происходит перетравливание одних и недотравливание других пластин.

Использование известного устройства приводит к увеЛичению брака и не обеспечивает точной подгонки частоты кварцевых пластин.

Целью изобретения является повышение производительности труда и обеспечение точности подгонки частоты кварцевых пластин.

Цель достигается тем, что в устройство .для травления кварцевых пластин, содержащее измерительный приемник с генератором, выход которого соединен 3О с входом счетно-решающего блока, ванны смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обеэжиривания и сушильную камеру, введены поворотный механизм, выполненный в виде карусели качающихся рычагов, и программный механизм, выполненный в виде программной пластины с размещенными на ней по окружности управляющими выступами и блока управления рычагами, при этом выступы программного механизма расположены над соответствующими отверстиями поворотного механизма, а выход счетно-решающего блока-соединен с входом блока управления рычагами.

На фиг. 1 показана кинематическая схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 — схема взаимодействия карусельного механизма с качающимися рычагами; на фиг. 3 — функциональная схема управления процессом.

Устройство содержит электродвигатель 1, через редуктор 2 соединенный с двумя полушестернями 3 и 4, через которые вращение передается на шесте ню 5, сидящую на одном полом валу карусельной пластиной 7, и на кр шип 8, находящийся в зацеплении ,лом 9, на котором закреплена прот

741414 Мйая пластина 10. Совмещение карусельной пластины с программной пластиной обеспечивает выступ 11. На пластине

7 по всей окружности на осях 12 в стойках 13 размещены качающиеся рычаги 14 (журавли) . Пружина 15 удерживает рычаг 14 в нижнем положении, а пружины 1б с фиксаторами 17 удерживают рычаги в верхнем положении.

На длинном конце рычага размещена изготовленная из фторопласта люлька

18, на коротком конце журавля установлены ролики 19, взаимодействующие с программной пластиной 10. Последняя оборудована по окружности управляющими выступами 20-22, которые обеспечивают подъем и опускание рычагов (журавлей) . Управление выступами 20 осуществляется блоком управляющих электромагнитов 23. Рычаги с люльками, в которых находятся кварцевые пластины, проходя технологический цикл, опускаются поочередно в ванны 24- 27,смачивания, трав-. ления, ультразвуковой промывки, обезжиривания и сушильную камеру 28.

Устройство содержит также измерительный приемник с генератором 29 и счетно-решающий блок 30.

Устройство для травления кварцевых пластин работает следуюшим образом. Вращение вала электродвигателя 1 через редуктор 2 передается на полушестерни 3 и 4. Количество зубьев, диаметр и расположение зубчатых зацеплений 4-5 и 3-8 подобраны так, что обеспечивается поочередная работа пластин 7 и 10, причем на цикл (т. е. один оборот вала редуктора) происходит один поворот на угол с(. карусельной пластины 7 и два возвратно-поступательных вертикальных перемещений программной пластины 10. Выступы 11 и отверстия 31 на карусельной пластине 7 расположены так, что обеспечивается совпадение качающихся рычагов (журавлей) 14 строго в одной вертикальной плоскости с управляющими выступами 20-22 после каждого очередного поворота на угол oL карусельной пластины 7.

Конфигурация управляющих выступов

20-22 программной пластины обеспечивает подъем, опускание и сохранение состояния (при отсутствии выступов) рычага по жесткой программе и те же манипуляции по перестраиваемой (гибкой) программе (для ванны травления), автоматически настраиваемой по результатам измерения пьезоэлементов для каждого пьезоэлемента, находящегося в люльке 18 рычага 14.

На первом такте рычаг (журавль)

14, находящийся в зоне приемника 29 поднимается и люлька 18, пустая при начальной загрузке или с пьезоэлементом, уже прошедшим обработку травлением, заходит в окно приемника 29. На втором такте люлька 18 выходит из приемника, кварцевая пластина остается в приемнике измерительного генератора, где замеряется частота пластины, а счетно-решающий блок 30 вычисляет время дополнительного травления. По принятому решению счетнорешающеГо блока кварцевая пластина поступает в кассету готовых изделий, или остается в приемнике, или идет в брак. На третьем такте в приемник 29, если он свободен, поступает новая пластина, для которой определяется количество циклов травления.

На чертветом такте люлька поступает в приемник и захватывает новую или недоработанную пластину. Во время пятого такта все рычаги (журавли) поворачиваются на один шаг (угол Х) .

Кварцевая пластина опускается в ванну 25 травления при помощи электромагнита и управляющего выступа 20 по сигналу счетно-решающего блока на вычисленное количество (по времени) циклов движения карусели. В конце ванны травления все рычаги (журавли) поднимаются и, пройдя перегородку, 25 опускаются в ванну 26 ультразвуковой промывки, а далее — в ванну 27 обезжиривания и сушильную камеру 28 по жесткой программе техпроцесса до поступления кварцевых пластин вновь в измерительный приемник..

Все такты движения фиксируются концевыми датчиками, сигналы поступают в счетно-решающий блок 30, который осуществляет управление установкой.

Предлагаемое устройство позволяет повысить производительность, так как процесс измерения и травления пластин осуществляются непрерывно и последовательно один за другим, устанозка травления не простаив, †.ет в ожидании завершения предварительной сортировки. Время травления каждой пластины рассчитывается и реализуется индивидуально, что устраняет возмож-4 ность перетравливания или недотгазливания пластин, обеспечивая тем самым точность подгонки частоты кварцевых пластин. Интервал разброса частоты уменьшается в 10-15 раз. Перевалка пластин из кассеты в зазор и обратно, а также выгрузка готовой или бракованной партии изделий происходит только один раз, что приводит к сокрашению выхода пластин в брак из-за сколов, Выход годных кварцевых резонаторов увеличивается на 9-12%.

Формула изобретения

Устройство для травления кварцевых пластин, содержащее измерительный приемник с генератором, выход которого соединен с входом счетнорешающего блока, ванны смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обезжиривания и сушильную камеру, 741414

10 отличающееся тем,что, с целью IIoBhEtleHHH производительности труда и обеспечения точности подгонки частоты кварцевых пластин, в него-введены поворотный механизм, выполненный в виде карусели качающихся рычагов и программный механизм, выполненный в виде программной пластины с размещенными на ней окружности управляющими выступами и блока управления рычагами, при этом выступы, программного механизма расположены под соответствующими отверстиями .поворотного механизма, а выход счетно-решающего блока соединен с входом блока управления рычагами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Глюкман Л. И. Производство пьезоэлектрических кварцевых резонаторов. Энергия, 1964, с. 109-113.

741414 фи83

Заказ 3216/52

Тираж 995 Подписное

ЦНИИПИ ГосударственнОго комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

СоставиТель Т. Панина

Р едактор В. Трубченко Техред И.Асталош Корректор E. Папп