Способ изготовления трафарета длязапоминающих матриц ha ферритовыхсердечниках

 

() )) 794665

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.02.79 (21) 2729184/18-24 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 07.01.81. Бюллетень № 1 (45) Дата опубликования описания 07.01.81 (51) М.К .

G 11С 5/02

1осударстееииый комитет

СССР пе делам изобрегений и открытий (53) УДК 681.327.66 (088.8) (72) Авторы изобретения

П. Г. Василенко, П. П. Мягконосов и Т. Н. Пестерова (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТА,}дЛЯ ЗАПОМИНАЮЩИХ МАТРИЦ HA ФЕРРИТОВЫХ

СЕРДЕЧ Н И КАХ дПТБ сейте ж®РИЗ, 1

Изобретение относится к области вычислительной техники и может быть использовано при изготовлении матриц ЗУ высокой информационной плотности на ферритовых сердечниках.

Известны способы изготовления трафарета для запоминающих матриц на ферритовых сердечниках (1, 21.

Известный способ (11 заключается в том, что на предварительно нагретую тканую сетку накатывают слой сухого пленочного фоторезиста, на который последовательно накатывают требуемое количество слоев этого же фоторезиста до необходимой толщины. Затем осуществляют экспонирование полученной структуры через фотошаблон и проявляют изображение до получения сквозных отверстий.

Недостатком этого способа является возможность выпадания сердечников из отверстий трафарета при наложении на него механических колебаний большой амплитуды в процессе заполнения, так как усилие вакуумной фиксации сердечников в ячейках трафарета мало, поскольку отверстия не перекрываются сердечниками полностью.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ (21, заключающийся в том, что в нагретой до температуры размягчения пластине из термопластичного материала буемой толщины при помощи специального пуансона выдавливаются ячейки, форма которых соответствует форме дуги сегмента применяемых сердечников. Каналы, обеспечивающие вакуумную фиксацию в ячейках трафарета, формируют одновременно с формированием профиля ячеек.

Ряд ячеек выдавливают, перемещая пуансон с шагом, обеспечивающим ширину перемычки между соседними отверстиями порядка 0,3 мм. При выдавливании следующего ряда ячеек пуансон смещают в перпендикулярном ряду направлении на

0 —:9 мм. На каждой операции выдавливания пуансон ориентируют строго под углом

90 к плоскости термопластичного материала.

Недостатками этого способа являются невозможность достижения высокой плотности расположения ячеек, невозможность изготовления жестких и механически прочных трафаретов вследствие коробления тонкой пластины термопластичного материала, выпадание сердечников из ячеек трафарета при механических колебаниях в процессе заполнения и низкая производительность процесса изготовления трафарета, Целью изобретения является повышение надежности изготовления трафарета за счет

794665

Изд.

Сапунова, 2

Типография, пр, 3 устранения искажений профиля отверстий в поверхностном слое основания трафарета.

Поставленная цель достигается тем, что с целью повышения надежности изготовления трафарета за счет устранения искажений профиля отверстий в поверхностном слое основания трафарета, основание из сухого пленочного фоторезиста нагревают и с помощью рельефной матрицы, рабочая поверхность которой покрыта смазкой, выдавливают отверстия в поверхностном слое сухого пленочного фоторезиста основания, затем рельефную матрицу отделяют от основания, а оттиск рельефной матрицы на основании экспонируют через фотошаблон и проявляют изображение до получения сквозных каналов для вакуумной фиксации ферритовых сердечников, Изготовление трафарета в слое фоторезиста путем выдавливания ячеек с помощью рельефной матрицы позволяет достигнуть высокой плотности расположения ячеек и исключить искажение их профиля, которое возникает при последовательном выдавливании ячеек и обусловлено вытеснением материала трафарета в направлениях, перпендикулярных направлению движения пуансона.

Соединительные каналы формируют фотохимическим методом после операции выдавливания ячеек, что позволяет увеличить поперечное сечение каналов и исключить .выпадание сердечников из ячеек трафарета.

Способ осуществляется следующим образом.

Сетку натягивают на раму и нагревают до 60 — 80 С, после чего на нее накатывают и напрессовывают слой сухого пленочного фоторезиста при удельном давлении 0,1—

0,3 кг/см в течение 5 — 10 мин. Размеры ячеек и диаметр провода плетения сетки выбирают с учетом обеспечения надежного усилия вакуумной фиксации сердечников в ячейках трафарета. Под действием,повышенной температуры и давления вязкость фоторезиста снижается и он «затекает» в ячейки сетки, обеспечивая прочное соединение с ней фоторезистивного слоя, на который затем при 80 — 90 С накатывают требуемое количество слоев этого же фоторезиста до получения общей толщины фоторезистивного слоя над сеткой в 0,4 — 0,5 величины наружного диаметра сердечника. В этом случае при 80 — 90 С формируют ячейки путем выдавливания при помощи рельефной матрицы при удельном давлении

0,1 — 0,2 кг/сма, действующем в течение

10 — 15 мин.

Рельефную матрицу получают путем закрепления в требуемой последовательности дисков из металла или ферромагнитного материала той же формы и размеров, что и применяемые сердечники, в слое компаунда (эпоксидной смолы), нанесенной на поНПО «Поиск» . Заказ 43/14 ф верхность жесткой подложки, служащей держателем в рельефной матрице.

Затем температуру снижают до 18 — 20 С и по истечении 30 мин отделяют рельефную матрицу от фоторезиста. Для предотвращения искажения профиля ячеек при отделении рельефной матрицы рабочую поверхность ее перед операцией выдавливания покрывают тонким слоем вещества, исключающим залипание матрицы в слое фоторезиста, например приборным маслом. Полученный в слое фоторезиста оттиск рельефной матрицы экспонируют через фотошаблон и проявляют изображение до получения сквозных каналов, обеспечивающих вакуумную фиксацию сердечников в ячейках.

Использование предлагаемого способа изготовления трафарета для запоминающих матриц на ферритовых сердечниках по сравнению с известными позволяет создать трафарет с высокой плотностью расположения ячеек, исключить возможность выпадания сердечников из ячеек трафарета при заполнении, что способствует повышению производительности труда вследствие устранения трудоемкой операции ручной доставки сердечников в незаполненные ячейки, упростить технологию изготовления трафарета, что достигается применением групповых методов при формировании профиля ячеек и соединительных каналов для вакуумной фиксации.

Формула изобретения

Способ изготовления трафарета для запоминающих матриц на ферритовых сердечниках, заключающийся в создании основания путем нанесения сухого пленочного фоторезиста определенной толщины на предварительно нагретую сетку и в выдавливании отверстий в поверхностном слое основания, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности изготовления трафарета за счет устранения искажений профиля отверстий в поверхностном слое основания трафарета, основание из сухого пленочного фоторезиста нагревают и с помощью рельефной матрицы, рабочая поверхность которой покрыта смазкой, выдавливают отверстия в поверхностном слое су: хого пленочного фоторезиста основания, затем рельефную матрицу отделяют от основания, а оттиск рельефной матрицы на основании экспонируют через фотошаблон и проявляют изображение до получения сквозных каналов для вакуумной фиксации ферритовых сердечников.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Отчет МРП «Разработка технологии производства двухпроводного накопителя на микросердечниках», 1978.

2. Патент США № 3360596, кл. 340 †1, 1967 (прототип).

Иа 149 Тираж 661 Подписное