Проекционный объектив с увеличением-0,1

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ () 800943 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (51)М. Кл 3 (22) Заявлено 0404,79 (21), 2745066/18-10 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 300181, Бюллетень № 4

Дата опубликования описания 15. 12. 81

G 02 В 9/64

Государственный комитет

СССР но делам изобретений н открытий (53) УДК 771. 351,7 (088. 8) . (72) Авторы изобретения

E.Е.Онегин, И.А.Кадомский, Э.С.Гуревич, С.С.Черневич и С.Б,Манвелян (71) Заявитель (54) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ

С УВЕЛИЧЕНИЕМ вЂ” 0,1

Изобретение относится к оптичес. ким системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.

Известен проекционный объектив, предназначенный для аналогичных целей. Объектив работает с увеличением — 0,1, опертурой 0,3 и линейным полем зрения 85 мм (1) .

Недостатком данного объектива является малое поле зрения, Известен также объектив, который работает с увеличением — 0,1", апер" турой 0,3 и линейным полем зрения

60 мм (2) .

Недостатком данного объектива является малое поле зрения.

Наиболее близким к предлагаемому является проекционный объектив, состоящий из семи компонентов, содержащих одиннадцать линз. Первый компонент — положительная одиночная линза, второй — одиночный отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, третий — двускле енный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, четвертый — положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, пятый положительная двояковыпуклая линза, шестой — отрицательный мениск и седьмой — положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета. Объектив имеет апертуру 0,25 и линейное поле зрения 141 мм (3) .

Недостатком объектива является малая апертура.

Цель изобретения — увеличение апертуры объектива и уменьшение дисторсии.

Эта цель достигается тем, что в объектив введены положительный мениск, обращенный вогнутостью,к предмету, расположенный за четвертым компонентом, и положительный двухлинзовый мениск, обращенный вогнутостью к изображению и расположенный за пятым компонентом, шестой компонент выполнен двухлинзовым, а расстояние между вторым и третьим компонентом составляет 0,2-0„4 фокусного расстояния всего объектива.

На чертеже приведена оптическая схема объектива.

Первый компонент представляет собой положительную одиночную линзу 1 с соотношением радиусов 1:1,15.

Второй компонент — одиночный отрицательный мениск 2, обращенный

ЗО вогнутостью к изображению.

800943

Формула изобретения

Составитель В.Ванторин

Редактор Т.Портная Техред З.Фанта Корректор М,пожо

Заказ 11245

Тираж 550 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, F., Ужгород, ул, Проектная, 4

Третий компонент — отрицательный мениск, склеенный иэ двух линз 3 и 4, обращенный вогнутостью к предмету, выполненный иэ тяжелого флинта и сверхтяжелого крана, расстояние его от второго компонента составляет

0,2-0,4 фокусного расстояния всего объектива.

Четвертый компонент — положитель-. ный мениск 5, выполненный из сверхтяжелого крона, обращенный вогнутостью к предмету. Позади него установлен положительный мениск 6, обращенный вогнутостью к предмету с соотношением радиусов 1:0,25.

Пятый компонент — положительная двояковыпуклая линза 7, выполненная из сверхтяжелого крона, с соотноше нием радиусов 1:3,6. Позади него установлен положительный мениск, склеенный из двух линз 8 и 9, обращенный вогнутостью к изображению, выполнен- Щ ный из тяжелого флинта и сверхтяжелого крона, разность показателей не превышает 0,0006, а разность коэффициентов дисперсии равна 22.

Шестой компонент — отрицательный мениск, склеенный из двух линз 10 и

11, обращенный вогнутостью к иэображению.

Седьмой компонент — положительный мениск, склеенный иэ двух линз 12 и 13, обращенный вогнутостью к изображению, Применение объектива дает воэможность получить на поле 141 мм минимальный элемент в 1 ьж, что увеличи вает производительность труда при ис- З пользовании объектива в проекционных системах экспонирования.

Проекционный объектив с увеличением — 0,1", содержащий семь компонентов, первым из которых служит положительная одиночная линза, вторым-одиночный отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к изображению, третьим — двухсклеенный мениск, обращенный вогнутостью к предмету, четвертым - положительный мениск, обращенный вогнутостью к предмету, пятым — положительная двояковыпуклая линза, шестым — отрицательный мениск и седьмым положительный мениск, обращенный вогнутостью к иэображению, отличающийся тем, что, с целью увеличения апертуры объектива и уменьшения дисторсии, он снабжен положительным мениском, обращенным вогнутостью к предмету, расположенным эа четвертым компонентом, и положительным двухлинзовым мениском, обращенным вогнутостью к предмету, расположенным эа пятым компонентом, шестой компонент выполнен двухлинэовым, а расстояние между вторым и третьим компонентами составляет 0,2-0,4 фокусного расстояния всего объектива.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 486298, кл. G 02 B 9/64, 1973.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 333525, кл. G 02 В 9/64, 1972 °

3. Авторское свидетельство СССР по заявке Р 2613507/18-10, кл. G 02 В 9/64, 1978 (прототип),