Механизм для перемещения скани-рующего зеркала

 

Союз Соеетскнк

Соцналнстнческнх

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 80281( (6() Дополнительное к авт. свнд-ву " (22)Заявлено 14 02 7g (21) 2727521/18-10 с присоединением заявки М— (23 ) П риоритет— (51)М. Кд.

Q 01 J 3/06

Всудврстввииы1 квинтет

0GGP

Опубликовано 07.02.81. Бюллетень М 5 до деми нзецретеннй аткрытнй (5Ç) УДК 621.384..3(088.8) Дата опубликования описания 07.02.81 (;2) Автор изобретения

A. E. Ковалев

% т »

I C;, Особое конструкторское бюро Интеграл прн ЛГУ им. А. А. Жданова 1 У(-. (7 I ) Заявите.rib (54) МЕХАНИЗМ ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

СКА НИРУЮЩЕГО ЗЕРКАЛА

Изобретение относится к области оптического приборостроения и может быть использовано в оптических следящих системах, в устройствах сканирования в монохроматорах, в качестве прецизионного привода, вакуумного ввода, а также в приборах, работающих в вакууме или космосе.

Известно устройство, в котором цля перемещения отражающего зеркала использованы пьезоэлектрические столбики (1).

Осн овным недостатком это го устройства является малое изменение длины пьезоэлектрически столбиков (доли миллиметра) и, слецовательно, малые углы поворота отражаюшего зеркала.

Наиболее близким по технической сущнести к прецложенному механизму являетcs механизм, содержаший зеркало с осно- ® ванием, соециненным подвижно с корпусом, в котором для привоца зеркала использован электропривоц и передаточный механизм в вице двух соединенных трубопроводом и заполненных жицкостью сильфонов

Ю

Нецостатком его является сложность и низкая точность юстировки системы, так как отражающее зеркало можно установить в заданное положение только изменением количества заполняющей жидкости.

При этом в систему не должен попасть воздух, так как наличие газа в жидкости снижает точность и жесткость системы.

Целью изобретения является повышение точности юстировки.

Это достигается тем, что механизм перемещения сканирующего зеркала, соцержащий основание цля установки зеркала, соециненное подвижно с корпусом, электропривод и перецаточный механизм, выполненный в вице двух соединенных трубопроводом сильфонов, заполненных жидкостью, снабжен дополнительным сильфоном, соециненным с трубопроводом, причем один торец сильфона прикреплен к корпусу, а другой торец закрыт крышкой, связанной с микрометрическим винтом, установленным в корпусе.

He: чертеже изображен исполнительный м е ка ни ам.

Исполнительный механизм состоит из

5 отражающего зеркала 1 с основанием 2, подвижно связанным с корпусом 3, электропривода 4, на выходном валу 5 которого посажен кулачок 6, и рычага 7.

Электропривод соецинен с основанием 2 посредством передаточного механизма, выполненного в виде двук заполненнык жидкостью сильфонов 8 и 9, соединеннык трубопроводом 10, к которому присоединен сильфон 11. Сильфон 11 одним торцом прикреплен к корпусу 3, Другой торец сильфона 11 закрыт крышкой 12, в которую упирается микрометрический винт

Между основанием 2 зеркала и корпусом 3 установлена пружина 14.

Устройство оаботает следующим обра- . зом. Электропривод 4 с кулачком 6 перемещает рычаг 7. Рычаг 7 сжимает силь фон 8, жидкость из которого перетекает в сильфон 9 по трубопроводу 1 О. Сильфон 9 растягивается и поворачивает основание 2 с зеркалом. Пружина 14 устраняет люфты B устройстве, так как усилие сжатия этой пружины через сильфон 9 и трубопровоц 10 передается сильфонам g и 11. В результате автоматически выбира-, ется зазор между рычагами 7 и кулачком

6 и крышкой 12 сильфона 11 и микрометрическим винтом 13. Аналогично перемещение микрометрического винта 13 приводит

35 к сжатию или растяжению сильфона 9 и, следовательно, к перемещению основания

2 с отражающим зеркалом 1. Таким об1l 4 разом может быть произведена установка зеркала 1 в заданное положение (юстировка), Процесс юстировки намного упрощается.

При этом в процессе юстировки сохраняется герметичность и юстировка может быть произведена с высокой точностью при высокой жесткости и безлюфговости исполнительного механизма.

Изобретение может быть использова« но в оптических слецящих системах и монокроматорак (в качестве механизма сканирования спектра), работающих в условиях космического пространства.

Формула изобретения

Механизм для перемещения сканирующего зеркала, содержащий основание цля установки зеркала, соециненное подвижно с корпусом, электропривод и перецаточный механизм, выполненный в виде двух соециненных трубопроводом сильфонов, заполненных жидкостью, о т л и ч а ю -. шийся тем, что, с целью повышения точности юстировки, он снабжен дополнительным сильфоном, соединенным с трубопроводом, причем один торец сильфона прикреплен к корпусу, а другой торец закрыт крышкой, связанной с микрометрическим винтом, установленным в корпусе.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

% 454514, кл. В 21 О 7/06, 1973.

2. Авторское свидетельство СССР

J4 630535, кл. Gj 01 3 3/06, 1978 (прототип) .

Составитель М. Лебедев

Редактор Т. Загребельная Техред М.Федориак Корректор E. Рошко

Зака 1 0604/54 Тираж 918 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4