Устройство для возвратно-поступательногоперемещения b вакууме

 

Союз Соаетских

Социалистичеаких

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ИТЕЛЬСТВУ (u) 804956

Ж

» (61) Дополнительное к аат. саид-ау (22) Заявлено 220379 (21) 2738979/25-28 (я)м. к„.з с присоединением заявки М

F 16 Н 25/12

Государственный комитет

СССР ио делам изобретеиий и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 150281.Бюллетень М б (53) У (К 621. 835 (088. 8) Дата опубликования описания 150231 (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВОЗВРАТНО-ПОСТУПАТЕЛЬНОГО

ПЕРЕМЕЩЕНИЯ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в устройствах вакуумной техники.

Известно устройство для передачи возвратно-поступательного перемещения в вакууме, содержащее корпус, установленное н нем недущее звено, выполненное в виде штока, соединенного с корпусом сильфоном, ведомое звено, связанное сильфоном с ведущим звеном (1), Наиболее близко по технической сущности к изобретению устройство для возвратно-поступательного перемещения н вакууме, содержащее корпус, установленные н нем ведущее звено, выполненное в виде шарнирно соединенного с корпусом штока и цилиндра, соединенного с корпусом сильфоном, ведомое звено с направляющими, шарнирно соединенное с цилиндром ведущего звена через связывающий их сильфон (2).

Недостатком этих устройств является наличие трущихся в объеме вакуума элементов, вследствие чего при перемещении ведомого звена происходит осыпание поверхностного слоя ме талла взаимодействующих н вакууме элементов, что ведет к снижению .чистоты вакуума.

Цель изобретения — уменьшение влияния трущихся поверхностей на чистоту вакуума.

Поставленная цель достигается тем, что направляющие ведомого звена выполнены в виде, по крайней мере, 1О двух пар упругих металлических лент с отогнутыми параллельными ветвями, одна иэ которых соединена с корпусом, а другая - с .ведомым звеном.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид на фиг. 2 - разрез A-A на фиг. 1.

Устройство содержит корпус 1, установленное в нем ведущее звено 2, выполненное в виде шарнирно соединенного с корпусом штока 3 и ци2О линдра 4, соединенного с корпусом сильфоном 5, ведомое звено б с напранляющими 7, шарнирно соединенное с цилиндром ведущего звена через свяэынающий их сильфон 8, Направ25 ляющие недомого звена ныпполнены в виде, по крайней мере, двух пар упругих металлических лент с отогнутыми параллельными нетвями, одна из которых соединена с корпусом, а другая — с ведомым знеиом.

804956

Формула изобретения

Устройство работает следующим образом.

При перемещении установленного в корпусе 1 ведущего звена 2 шток Э, поворачиваясь, воздействует на цилиндр 4, который с одной стороны воздействует на сильфон 5, связывающий его с корпусом 1, а с другой— перемещает ведомое звено б, которое в свою очередь с одной стороны сгибает или разгибает параллельные ветви упругих металлических направляющих 7, а с другой-воздействует на сильфон 8, Использование данного устройства в вакуумной технике позволит повысить чистоту вакуума в вакуумных камерах, что улучшит условия протекания в них технологических процессов.

Устройство для возвратно-поступательного перемещения в вакууме,со ;держащее корпус, установленные в нем

1 ведущее звено, выполненное в виде шарнирно соединенного с корпусом штока и цилиндра, соединенного с кор-. пусом сильфоном, ведомое звено с направляющими, шарнирно соединенное с цилиндром ведущего звена через связывающий их сильфон,. о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения влияния трущихся поверх!

О ностей на чистоту вакуума, направляющие ведомого звена выполнены в виде, по крайней мере, двух пар упругих металлических лент с отогнутыми параллельными ветвями, одна из которых соединена с корпусом, 1$ а другая — с ведомым звеном.

Источники информации, .принятые во внимание при экспертизе

Щ 1. Медников М.И, Вводы движения в вакуум. М., Машиностроение, 1974, с. 89, рис. 34.

2. Там же, с. 90, рис. 35 (прототип).

804956

A-A

Составитель В. Фаддеев

Редактор A. Гук Техред A. Ач

Корректор Ю. Макаренко с

Заказ 10837/54 Тираж 1017 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4