Вакуумный сорбционный насос

 

Союз Советски к

Социалистическик

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗЬБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()823630 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04.07.79, (21) 2790886/06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл э

F 04 В 37/02

Гасударственный квмлтет

Опубликовано 23.04.81. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 28.04.81 (53) УДК 621.528..3 (088.8) пе делам иэввретеиий и открытий (72} Авторы изобретения

К. Г. Бреславец и В. С. оган . .: .., : г„

/-,-..I

1 - ---; ..;, ".,"

< (4 ! л (71) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ СОРБОЦИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известны вакуумные сорбционные насосы с циркулирующим сорбентом, содержащие корпус со спиральным. пазом на внутренней поверхности, разделенный на камеры сорбции и десорбции экраном, плотно прилегающим к внутренней поверхности корпуса, и охлаждаемый заливной экран (1) .

Известный насос работает следующим образом.

Сорбент поступает в камеру сорбции при температуре, близкой или равной температуре хладагейта, и поглощает откачиваемый газ в количествах, определенных изотермой сорбции, относящейся к данной фиксированной температуре сорбента. Для обеспечения поступления сорбента в камеру сорбции при температуре хладатента охлаждаемый заливной экран вынесен далеко за пределы этой камеры. Сорбент сразу после регенерации в камере десорбции и задолго до поступления в камеру сорбции вступает в тепловой контакт с хладагентом и принимает его температуру.

Недостатком устройств, в которых используется криоадсорбционная откачка при фиксированной низкой температуре, является то, что сорбция в наиболее активных порах с минимальными радиусами и наибольшими теплотами сорбции, обеспечивающая предельно низкие равновесные давления, осуществляется с замедленной кинетикой, не реализуя весь сорбционный объем пористой системы сорбента. В результате насос работает с уменьшенной быстротой откачки, не обеспечивает максимально возможный ресурс работы и минимальное предельное давление.

Цель изобретения — повышение эффективности откачки.

Указанная цель достигается тем, что ниж15 ний торец охлаждаемого экрана расположен в плоскости, равноудаленной от торцов разделительного экрана.

На чертеже показан предлагаемый сорбционный насос, разрез.

Насос содержит корпус 1 со спиральным пазом на внутренней поверхности, разделенный на камеры 2 и 3 сорбции и десорбции экраном 4, плотно прилегающим к внутренней поверхности корпуса 1, и охлаждаемый заливной экран 5, нижний торец которого

823б30 расположен в плоскости, равноудаленной от торцов разделительного экрана 4.

Вакуумный сорбционный насос работает следующим образом.

Из камеры 3 десорбции нагретый сорбент поступает по спиральному пазу к камере 2 сорбции и постепенно охлаждается. Только в камере 2 сорбции сорбент принимает температуру, близкую к температуре хладагента. Таким образом, сорбция газа осуществляется на дрейфе температуры, т. е. в оптимальном режиме, при этом реализуется весь сорбционный объем сорбента.

Предлагаемое выполнение насоса обеспечивает достижение более низкого предельного давления при сохранении прежней его производительности.

Формула изобретения

Вакуумный сорбционный насос с циркулирующим сорбентом, содержащий корпус со спиральным пазом на внутренней поверхности, разделенный на камеры сорбции и десорбции экраном, плотно прилегающим к внутренней поверхности корпуса, и охлаждаемый заливной экран, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности откачки, нижний торец охлаждаемого экрана расположен в плоскости, равноудаленной от торцов разделительного экрана.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 383877, кл. F 04 В 37/02, 1969.

Хладоиге

Составитель Н. Юшин

Редактор Н. Егорова Техред А. Бойкас Корректор Ю.Макаренко

Заказ 2047/43 Тираж 712 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Вакуумный сорбционный насос Вакуумный сорбционный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх