Молекулярный вакуумный насос

 

()823650

Союз Советскик

Социвлистическик

Реслублик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт.свид-ву— (22) Заявлено 25.12.72 (21) 1861505/25-06 с присоединением заявки № 2798031 (23) Приоритет— (51) М. Кл.з

F 04 D 19/04

Гесудерствеинмк кемитет (53) УДК 621.527..8 (088.8) Опубликовано 23.04.81. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 25.04.81 по делен кэввретений. и еткрмтий (72) Авторы (54) МОЛЕКУЛЯРНЫИ ВАКУУМНЫЛ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству молекулярных вакуумных насосов.

Известны молекулярные вакуумные насосы, содержащие конический корпус с расположенными на его внутренней поверхности кольцевыми рядами статорных лопаток и установленный по оси корпуса с зазором относительно последнего конический ротор с кольцевыми рядами роторных лопаток, расположенных с радиальным зазором относительно статорных, причем одна из боковых и торцовая кромки лопаток расположены соответственно перпендикулярно и параллельно образующей ротора (1).

Недостатками известных насосов яв. ляются невысокая надежность, значитель- ный обратный поток газа и малая быстроходность.

Цель изобретения — повышение надежности, уменьшение обратного потока газа, оптимизация параметров насоса и повышение быстроходности.

Поставленная цель достигается тем, что

20 дрызгая боковая кромка статорных и роторных лопаток расположена под углом к об; разующей ротора, зазор между корпусом и ротором выполнен постоянным, зазор между корпусом и ротором выполнен уменьшающимся в направлении откачки и имеет минимальную величину, превышающую в 5 — 6 раз величину радиальных зазоров, ротор выполнен полым и его полость сообщена с зазором между корпусом и ротором.

На фиг. 1 изображен молекулярный насос, продольный разрез; на фиг. 2 — вариант исполнения насоса с полым ротором; на фиг. 3 — разрез А-А на фиг. 2.

Молекулярный вакуумный насос содержит конический корпус 1 с расположеннь1ми на его внутренней поверхности кольцевыми рядами статорных лопаток 2 и установленный по оси корпуса 1 с зазором относительно последнего конический ротор 3 с кольцевыми рядами роторных лопаток 4, расположенных с радиальными зазорами относительно статорных, причем одна из боковьи и торцовая кромки 5 и.6 каждой лопатки расположены соответственно перпендикулярно и параллельно образующей ротора 3, а другая боковая кромка 7 статорных и роторных лопаток 2 и 4 расположена под углом к образующей ротора 3. Кроме того, зазор между корпусом 1 и ротором 3 выполнен постоян823650 ным или уменьшающимся .в направлении откачки и имеет минимальную величину, превышающую в 5 — 6 раз величину радиальных зазоров, и ротор 3 выполнен полым и его полость 8 сообщена с зазором между корпусом 1 и ротором 3.

Насос работает следующим образом.

Молекулы газа из откачиваемого объема, соударяясь с лопатками 4 вращающегося ротора 3, приобретают импульс в направлении откачки и поступают в форвакуумную полость насоса, откуда удаляются форвакуумным насосом.

Выполнение корпуса и ротора коническими с кольцевыми рядами лопаток, у которых одна из боковых кромок перпендикулярна образующей ротора, а другая расположена под углом к последней, позволяет повысить надежность работы насоса, а также значительно упростить его сборку.

Формула изобретения

1. Молекулярный вакуумный насос, содержащий конический корпус с расположенными на его внутренней поверхности кольцевыми рядами статорных лопаток и установленный по оси корпуса с зазором относительно последнего конический ротор с кольцевыми рядами роторных лопаток, расположенных с радиальными зазорами относительно статорных, причем одна из боковых и торцовая кромки каждой лопатки расположены соответственно перпендикулярно и параллельно образующей ротора, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и уменьшения обратного потока газа, другая боковая кромка статорных и о роторных лопаток расположена под углом к образующей ротора.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что зазор между корпусом и ротором выполнен постоянным.

3. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью оптимизации параметров насоса, зазор между корпусом и ротором выполнен уменьшающимся в направлении откачки и имеет минимальную величину, превышающую в 5 — 6 раз величину радиальных зазоров, 4. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроходности, ротор выполнен полым и его полость сообщена с зазором между корпусом и ротором.

Источники. информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Германии № 605902, кл. 27 с, 15)04, опублик. 1934.

823650

7 б 1

Редактор Н. Егорова

Заказ 2048/44

Составитель В. Кряковкин

Техред А. Бойкас Корректор М. Коста

Тираж 712 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4