Интерферометр для контроля формывогнутых сферических поверхностей

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ Сви ИТВЛЬСТВУ

Союз Советских

Социанистичесии к

Республик оо823845 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 040779 (21) 2789979/25-28 с присоединением заявки HP (23) Приоритет (53)М КПЗ

G 01 В 9/02

Государственный комитет

СССР ао делам изобретений и открытий

Опубликовано 230481, Бюллетень ИЯ 15 (53) УДК 531 715 (088. 8) Дата опубликования описания 230481 (72) Автор изобретения

Г

В.М. Комраков

);" 1 r)W,Г„:. "1,о И М

Московское ордена Ленина и ордена Трудового Краснодар дНамени

Высшее техническое училище им. Н.Э.Ваумана - " -" .""-" "(71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ .ФОРМЫ ВОГНУТЫХ

СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формы вогнутых сферических поверхностей при их изготовлении к аттестации.

Известен интерферометр для контроля формы сферических поверхностей, содержащий осветительную. систему„ расположенные последовательно по ходу лучей светоделитель, объектив, аплакатический мениск и регистратор интерференционной картины (11, Однако интерферометр обладает сравнительно невысокой точностью кон,троля, обусловленной.тем, что цена интерференционной полосы равна половине длины волны получения используемого источника к, кроме того, сравнительно высокая трудоемкость контроля из-за повышенной чувствительности интерференционной картины к децентрировкам контролируемой поверхности

Цель изобретения - повышение точ" ности и снижение, трудоемкости контроля.

Поставленная цель достигается тем, что интерферометр снабжен плоским зеркалом с отверстием, устанавливаемым в фокальыой плоскости объектива отражающим покрытием к контролируемой поверхности, относительно центра кривизны которой зеркало смещается на величину, большую или равную d/4, где d ..- -диаметр отверстия, центр которого совмещен с фокусом объектива.

На чертеже представлена принципиальная схема интерферометра.

Интерферометр содержит осветительную систему, выполненную в виде лазера 1 и мккрообъектива 2, расположенные последовательно по ходу лучей светоделитель 3, объектив 4, аплана"тический мениск 5 со светоделктель15 кой поверхностью 6, плоское зеркало

7 с отверстием 8,обращенное отражающим покрытием 9 к контролируемой поверхности 10, и регистратор ll интерференционной картины.

Ю Плоское зеркало 7 установлено так, что его отражающее покрытие 9 лежит в фокальной плоскости объектива 4, а центр отверстия 8 совмещен с фокусом Г объектива 4.

Плоское зеркалб 7 смещается относительно центра кривизны контролируемой поверхности 10 на величину, большую или равную d/4, где d - диаметр отверстия 8 плоского зеркала

823845

Формула изобретения

Составитель О. Фомин

ТехредЖ.Кастелевич КорректорВ. Синицкая

Редактор Н. Кончицкая

Тираж б42 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий.

113035, Москва; Ж-35, Раушская иаб., д. 4/5

Заказ 2082/53

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 7, а центр кривизны С поверхности

10 лежит в плоскости покрытия 9.

Интерферометр работает следующим образом.

Излучение лазера 1 проходит микрообъектив 2, светоделитель 3, объектив 4 и падает на светоделительную поверхность б апланатического мениска 5 по нормалям к ней. Часть йэлучения отражается.от светоделительной поверхности б и образует волновой фронт сравнения. Другая часть проходит светоделительную поверхность б, отверстие 8 плоского зеркала 7, отражается последовательно от контролируемой поверхности 10, плоского зеркала 7 и вновь от контролируемой поверхности 10, повторно ,проходит через отверстие 8 плоского зеркала 7 и объединяется с волновым фронтом сравнения на светоделительной поверхности 6 апланатического 20 мениска 5.

Объединившиеся волновые франты интерферируют и поступают в регистратор 11 интерференционной картины.

Изменение настройки интерферометра осуществляется малыми подвижками (на чертеже не показаны) апланатическога мениска 5 вдоль и перпендикулярна оптической оси.

Вследствие того, что лучи света отражаются от контролируемой поверхности дважды, цена одной интерференционной полосы равна й/4, где Я длина волны излучения используемого источника, что повышает чувствительность интерферометра в два раза по сравнению с известным.

Плоское зеркало 7 образует совместно с контролируемой поверхностью

10 систему кошачий глаз, что значительно снижает чувствительность интерферометра к децейтрировкам контролируемой поверхности 10.

Повышение точности и производи-. тельности контроля достигается за счет введения плоского зеркала 7 . с отверстием 8, установленного определенным образом в схеме. интерферометра.

Интерферометр для контроля формы вогнутых сферических поверхностей, содержащий осветительную, систему, расположенные последовательна по ходу лучей светоделитель, объектив, апланатический мениск и регистратор интерференционной картины, а:т л ич а ю шийся тем, чта, с целью повышения точности и снижения трудоемкости контроля, ан снабжен плоским .зеркалом.с отверстием, устанавливаемым в фокальной плоскости объектива отражающим покрытием к контролируемой поверхности, относительноо центра кривизны которой зеркало смещается на величину, большую или равную d/4, где d - диаметр отверстия, центр которого совмеи(ен с фокусом объектива.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР ,Р 28430б, кл. 6 01 В 9/02, 1970, !

g .. Ю