Карусельная вакуумная печь

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТИЛЬСТВУ

Союз Советских

Сецивлистических

Республик

<и 832285 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (53)М. Кл З (22) Заявлено 170878 (2! ) 2656798/22-02 с присоединением заявки Йо (23) Приоритет

F 27 В 9/16

Государственный комитет

СССР по деяам изобретений и открытий

Опубликовано 230581. Бюллетень Н9 19

Дата опубликования описания 2305.81 (5З) Я 621.783.2 (088. 8) (72) Автор изобретения

A.À.1 àâðèëoâ (71) Заявитель (54) КАРУСЕЛЬНАЯ ВАКУУМНАЯ ПЕЧЬ

Изобретение относится к термичес " кому оборудованию для обработки изделий электронной техники.

Известна карусельная вакуумная печь, содержащая шлюзовую и технологи.ческие камеры, установленные на промежуточной камере, в которой установлены карусель для перемещения садок из одной технологической камеры 1О в другую и механизмы с индивидуальными приводами для возвратно-поступательного перемещения садок в вертикальном направлении и для поворота карусели. Количество механизмов с индивидуальными приводами определяется количеством технологических камер, раэобщаемых с базой., к кроме того необходим механизм привода карусели. блюэовая и технологические камеры, раэобщаемые с базовой камерой, а так-2О же и она имеют необходимые вакуумные или газовые системы для получения в них нужной контролируемой среды 111 .

Недостатком укаэанной печи явля-. ется наличие нескольких механизмов с индивидуальными прйводами с под вижными вакуумными уплотнениями в каждом.

Известна карусельная вакуумная . печь, содержащая шлюзовую и техноло- гические камеры, объединенные промежуточной камерой с устройством перегрузки. Шлюзовая и технологические камеры снабжены индивидуальными откачными постами. Технологическая камера охлаждения также снабжена индивидуальным откачным постом и выполнена разобщенной от базовой камеры, в которую вводится инертный газ для интенсификации процесса охлаждения эа счет теплопроводности газаь2).

Однако разобщение камер с базовой камерой осуществляется дисковыми затворами. Для поджима дисковых затворов в базовой камере установлены механизмы, содержащие поворотноподъемные рычаги с индивидуальными приводами. Наличие нескольких механизмов с индивидуальными приводами требует надежную систему блокировки на йх срабатывание, исключающую сбой в последовательности срабатывания механизмов, так как наличие технологических камер с вакуумом и газовой средой, объединенных одной базовой камерой, при неправильной после! довательности срабатывания механизмов приводит к порче обрабатываемых

832285 деталей из-за потери вакуума во всех камерах. Необходимость применения в одной установке нескольких. вакуумных уплотнений для возвратно-поступательного и вращательного перемещений штоков механизмов с индивидуальным приводом приводит к частой остановке печи для технологического обслуживания этих уплотнений, так как известно, что надежных и долговечных вакуумных уплотнений, особенно для поступательных перемещений, не существует. И кроме того такие подвижные уплотнения являются. источниками натеканий, отрицательно влияющих на работу вакуумных установок.

Цель изобретения — обеспечение высокой эксплуатационной надежности печи.

Поставленная цель достигается выполнением устройства в виде концентрично установленных обечаек и платформы с подвесками и расположенного на промежуточной камере привода вращения обечаек, имеющего редуктор с мальтийскими механизмами, водило одного из них имеет возможность осевого перемещения, и каждый соединен со своей обечайкой, при этом на внутренней стороне наружной обечайки выполнена лекальная копирная канавка, на внутренней обечайке вертикальные пазы, а платформа имеет пары копирных роликов, установленных в пазах и канавке. С целью ускорения охлаждения садки одна из технологических камер имеет концентрично установленный тороидальный цилиндр а корпус камеры выполнен полым и образует с цилиндром канал.

На фиг. 1 изображена печь, разрез; на фиг. 2 — наружная обечайка1 на фиг. 3 — развертка наружной обечайки; на фиг. 4 — внутренняя обечайка на фиг. 5 — развертка внутренней обечайки.

Печь содержит технологические камеры l и 2 и шлюзовую камеру (на чертеже не показана), укрепленные на промежуточной камере 3 с устройством перегрузки, включающим концентрично

Установленные обечайки 4 и 5, платформу б и привод. В перегрузочной камере сцентрирована обечайка 4 шестью парами конических роликов 7.

Внутренняя обечайка 5 сцентрирована и зафиксирована относительно наружной обечайки тремя парами роликов 8 и 9, а платформа б тремя роликами 10 сцентрирована относительно внутренней обечайки 5.

Внутренняя обечайка 5 имеет, три вертикальные паза ll, а на внутренней поверхности наружной обечайки

4 выполнена канавка 12, платформа 6 имеет три пары роликов 13 и 14, установленные в пазах 11 и канавке

12,. и подпружиненные диски 15 для

t0

d0 герметиэ ации технологических камер и подвески садок 16.

Привод содержит электродвигатель

17, соединенный через редуктор 18 с мальтийскими механизмами, включающими мальтийские(кресты 19, водило 20, которое выводится из зацепления с мальтийском крестом 19 в осевом направлении кулачком 21 посредством рычага 22, а фиксируется мальтийский крест 19 на время вывода водила 20 диском 23. Каждый мальтийский крест 19 соединен через заключенный в сильфон 24 вывод с шестерней 25.

Одна из технологических камер камера 2 охлаждения имеет концентрично установленный тороидальный охлаждаемый цилиндр 26, а .корпус камеры выполнен с охлаждаемой рубашкой .

Промежуточная камера 3 закреплена на станине 27.

Работа печи осуществляется следующим образом.

После установки обрабатываемых деталей в садку через шлюзовую камеру и герметизации ее происходит откачка этой камеры и технологической камеры 3 остывания с инертным газом до необходимого разрежения. После чего начинается вращение наружной обечайки 4 на 60 при остановленной внутренней обечайке 5 и происходит подъем ролика 13 в пазу 11, ролика

14 по канавке 12, и платформа 6 с садками поднимается иэ шлюзовой и технологических камер в перегрузочную. После поворота наружной обечайки 4 на 60 автоматически от куо лачка 21 вводится в зацепление водило 10 мальтийского механизма внутренней обечайки 5 и начинается синхронное вращение обечаек 4 и 5 на 90о, в результате чего происходит круговое перЕмещение садок для смены ими технологических камер. Далее автоматически тем же кулачком 21 водило 20 мальтийского механизма внутренней обечайки 5 выводится иэ зацепления с мальтийским крестом, он фиксируется, и внутренняя обечайка 5 останавливается, а наружная продолжает вращаться еще на 60 . В результате этого происходит опускание садок в технологические камеры и необходимая их герметизация. После этого оба водила 20 мальтийских механизмов останавливаются, происходит наполнение технологической камеры остывания инертным газом, и начинается интенсивное охлаждение термически обработанных деталей, а в другой технологической камере начинается процесс термичеСкой обработки следующих деталей.

На этом цикл работы печи заканчивается.

Указанные углы поворота обечаек взяты для лечи, с одной шлюзовой и тремя технологическими камерами.

Для большего количества технологи-.

832285

,ческих . камер синхронное вращение обеих обечаек соответственно меньше, Применение предлагаемой печи поз воляет улучшить качество обработки, повысить производительность труда.

Формула изобретения

1. Карусельная вакуумная печь, содержащая шлюзовую и технологические камеры, объединенные промежуточной камерой с устройством перегрузки, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения эксплуатационной надежности, устройство для перегрузки выполнено в виде концен15 трично установленных обечаек и платформы с подвесками и расположенного на промежуточной камере привода вращения обечаек, имеющего редуктор с мальтийскими механизмами, водило одного иэ них имеет возможность осевого перемещения, и каждый иэ которых соединен со своей обечайкой,при этом на внутренней стороне наружной обечайки выполнена лекальная копирная . канавка, на внутренней обечайке— вертикальные пазы, а платформа имеет пары копирных роликов, установленных в пазах и к навке обечаек.

2. Печь по п. 1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью ускоре" ния охлаждения садки, одна из технологических камер имеет концентрично установленный тороидальный цилиндр, а корпус камеры выполнен полыми и образует с цилиндром канал.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 585222, кл, С 21 D 9/00, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР

9 165481, кл. С 21. D 9/00, 1963.

Фиг.2

Риг. Я бг.4

Фиг.f

Составитель Н.Кузовкина

Редактор В.Данко Техред Ж. Кастелевич Корректор Н.Бабинец

Заказ 3325/36 Тираж 658 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035,Москва,Ж-35, Раушская наб.,д.4/5

Филиал ППП Патент,г.ужгород, ул. Проектная, 4