Стекло для спаивания с коваром
CoIo3 Советских
Социалистических
Ресиубиик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИ ВТВЛЬСТВУ (1 833595 (61) Дополнительное к авт. свид-ву р1)м. кл.з (22) Заявлено 150629 (21) 2781337/29-33 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет
С 03 С 3/08
Гюсу4аретвенния кемнтет
СССР яв Аеааи нзобретеннй н вткрмтнй
Опубликовано 300581. Бюллетень N9 20 (53) УДК 666. 263 (088.8) Дата опубликования описания 300581
В.И. Русак, В.М. Зубков, В.Д. Протас, В.Т.
H.М. Васильченко и A.Ï. Павленк (72) Авторы изобретения л» !.Ì! ». -„ (71) Заявитель
Белорусский технологический институт им. С. (54) СТЕКЛО ДЛЯ СПАИВАНИЯ С КОВАРОМ
Изобретение относится к составам стекол для изготовления корпусов интегральных схем.
Известно стекло, включающее SiO
ВФОь Адя Оъ ZnO К 20 Ма20» L i<0 и МпО в следующих количествах, вес.%:
SiO 65-69В Оъ 16-19, 5
Аоъ 2733 О
Zn0 4,5-5,5
К 0 3,0-5,0
Ма о 1.,5-2,5
L I0 0,02-0,8
Нпо 0.08-2,2 Г17
Стекло обладает КЛТР порядка 44к к 10 град " и температурой размягчения +590 С.
Наиболее близким к предлагаемоьц по технической сущности и достигаемому результату является стекло состава» вес.%:
SION . 50-80
03
В, О 8-15
Ма 0 0,5-8,0 к о 1-5
l. i ä.0 0 5-10 вао 0,5-8
Zn0 0,5-5 й» кроме того, Сао 0,5-5,0 127. Это стекло варится при температуре
1640О С.
К недостаткам этих составов относятся высокие температуры варки (1600-164(P С) и выработки стекла (" 1500oC), небольшая химическая стойкость и низкие значения КЛТР (6 44.10 град 1) . о
Цель изобретения — снижение температуры выработки, повышение химической устойчивости стекла.
Поставленная цель достигается тем, что стекло для спаивания с коваром, включающее SIO, В ОЪ, A0>0>, Z»O, Вао, Ма»0, K<0 .LI +, дополнительно содержит Йдо при следующем соотношении ингредиентов, масс.%:
510» 52,0-59 8 ВаО 4,4-7 0
ВдОЪ 20,0-23,0 Ма»0 3,8-.4,2
А оъ 2,5-4,0 К О 3,8-5,0
Zn0 0,1-5,0 L 0 0,5-0,8
Мдо О, 1-5, О
Конкретные составы стекол приведены в табл. 1 °
Физико-химические свойства приве« денных составов стекол представлены в табл. 2.
833595
Таблица 1
Компоненты, вес.В
Соста-. вы
ВДОВ АВ 0 К О Na<0 Li О BaO MgO ZnO 4,4 1,1 1,1
5,8 0,1 0,1
7,0 2,0 5,0
2
0,5
23,0 2,5
22,5 3,8
20,0 4,0
59,8
59,5
3,8
3,8
4,0
0 5
0,8
3,7
4,2
52,0
5,0
Таблица 2
320 2,825 0,06 0,32 . 1,50
325 2,880 0,07 0,32 1,52
323 2,910 0,06 0 35 1,55
590
600
595
АВ Оь 2,5-4,0 К О
ZnO 0,1-5,0, L i<0
MgO 0,1-5 0
3,8-5,0
0 5-0,8
Составитель М. Шойтов редактор Л. Пчелинская Техред N. Голинка Корректор Н. Швыдкая
Заказ 3912/21
Тираж 520 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж«35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Наличие у стекла предлагаемого состава хорошей адгезии к сплаву
"Ковар" и химической устойчивости к воде и щелочи позволяет получить вакуумные термические спаи.
Формула изобретения
Стекло для спаиванйя с коваром, включающее SiЦ., В О, АВ ОЬ, ZnO, 8а0, Na 0, Kg u Li О, о тл ич ающ е е с я тем, что, с целью снижения температуры выработки и повышения химической устойчивости, QHQ допол- 40 нительно содержит MgO при следующем соотношении ингредиентов, мас.Ъ:
SiOy 52,0-59,8 ВаО 4,4-7,0
ВаОЪ 20,0-23,0 Na O 3,8-4,2
Применение предлагаемого стекла для корпусов интегральных схем позволяет расширить область использования электронных приборов.и повысить их надежность и долговечность.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
9 620439, кл. С 03 С 3/08, 1978.
2. Авторское свидетельство СССР
Р 424825, кл. С 03 С 3/08, 1974.
