Устройство для распыления жидкости

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<» 835501

Свив Советских

Социалистических

Республик (61} Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 15.08.79 (21) 2811195/23-05 с присоединением заявки— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 07.06.81. Бюллетень № 21 (45) Дата опубликования описания 26.06.81 (51) М Кл з В 05 В 1:14 йесударственный комитет (53) УДК 66.069.83 (088 8) сссР ле делам иэебретеиий и открытий

Н. И. Никулин, И. И. Поярков и В. Н. Комаров

1 " - -"=:з Ы9жщ.щи 13 (72) Авторы

ызобр етени я (71) За,явитель

"1 ОП М (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ ЖИДКОСТИ

Изобретение относится к технике распыления жидкости m может быть использовано, в частности, в полупроводниковом. производстве для распыления проявляющего раствора при фотолитографической обработке полупроводниковых пластин и фотошаблонов.

Известно устройство для распыления жидкости, содержащее корпус, в котором закреплены сопла, расположенные на одной лини и и отрегулированные таким образом, чтобы периферийный участок струи жидкости, испуакаемой каждым соплом, находился относительно аналогичного периферийного участка любой другой струи на одной линии, „проходящей поперек тракта подачи обрабатываемого изделия (1). В результате взаимодействия всех струй образуется ли нейная струя равномерней толщины, проходящая поперек поверхности изделия. Недостатком этих устройств является сложность конструкции и регулировки параметров струй, выходящих из сопел.

Известно также устройство для распыления жидкости, содержащее полый цилиндр с отверстиями, равномерно расположенными в его стенке (2). |Кроме того, устройство содержит пористую насадку, изготовленную оплавлением большого количества пластмассовых частиц..В процессе распыления жидкости из отверстий в стенке цилиндра она,проникает в - пористую структуру насадки, а из нее под;небольшим напором и с низкими скоростями рассеивается наружу. Это устройство,является наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату. Его недостатки в том, что кон-, струкция устройства сложная; на распыление жидкости требуются сравнительно большие энергозатраты.

Сложность конструкции обусловлена наличием пористой насадки, изготовление которой сопряжено со значительными трудностями. Повышенные энергозатраты на распыление жидкости обусловлены тем, что при прохождении через пористую насадку струи жидкости теряют значительную часть кинетической энергии .и выходят из него под небольшим напором и с низкими скоростями. Однако в ряде технологических процессов, например при проявле25 нии полупроводниковых пластин и фотошаблонов в процессе их фотолитографической обработки, необходимо подавать проявляющий раствор в виде сплошной и равномерной по плотности завесы, |при этом мельчайшие частицы раствора, со835501 ставляющего завесу, должны обладать большой кинетической энергией, Для того, чтобы обеспечить распыление проявляющего раствора с помощью известного устройства, необходимо проявляющий раствор подавать в полый цилиндр под большим давлением, а это сопряжено с большими энергозатратами.

Цель изобретения — упрощение конструкци и устройства и снижение энергозатрат на распыление.

Указанная цель достигается тем, что в устройстве для распыления жидкости, содержащем полый цилиндр с отверстиями, равномерно расположенными в его стенке, согласно изобретению, иа наружной поверхности цилиндра по его образующей выполнен паз, сообщающийся с отверстиям и,,при этом ширина паза равна диаметру отверстий, а глубина — двум диаметрам отверстий.

На фиг. 1 изображено устройство для раопыления жидкости, разрез; на фиг. 2— сечение А — А фиг. 1.

Устройство для распыления жидкости содержит полый цилиндр 1 с отверстиями

2, равномерно расположвнными в его стенке. На наружной поверхности цилиндра il no его образующей выполнен паз 8, сообщающийся с отверстиями, ширина паза равна диаметру (d) отверстий, а глубина — двум диаметрам d отверстий. жидкость, .например проявляющий раствор, под определенным давлением подается в полость цилиндра 1 и через отверстия 2 распыляется наружу в виде струй. Благодаря наличию паза 3 в результате взаимодействия всех струй образуется линейная струя равномерной плотности, ширина которой равна ширине паза. Размеры паза подобраны экспериментальным путем. При этом было установлено, что при всей других соотношениях размеров паза

3 и отверстий 2 лам инарность потока, а следовательно, и его равномерность нарушались.

Таким образом, предлагаемое устройб ство для распыления обеспечивает получение линейной струи:распыляемой жидкости одинаковой плотности.

Устройство просто по конструкций и требует малых энергозатрат на создание равномерной по плотности линейной струи с большой кинетической энергией, так как в .нем отсутствует насадка из пористого материала, а ее роль выполняет паз, выполненный в стенке цилиндра.

15 Предварительные расчеты показали, что трудоемкость изготовления предлагаемого устройства по оравненик с изгоТовлением известного устройства уменьшится на

20 — 30о/о, а энергозатраты на распыление— на 60 — 70о/о.

Ф ор.мула и зоб.р ете н ия

Устройство для распыления жидкости, содержащее полый цилиндр с отверстиями, равномерно расположенным и в его стенке, о тли ч а ю шее с я тем, что, с целью упрощения конструкции устройства и снижения энергозатрат .на распыление, .на на30 ружнои поверхности цилиндра по его образующей вЬ|полнен паз, сообщающийся с отверстиями, при этом ширина паза равна диаметру отверстий, а глубина — двум

35 диаметрам отверстий.

Источники информации, при нятйе во внимание при экспертизе:

1. Патент GIIIA № 4072772, .кл. 427-!64, 40 опублик. 197 8.

2..Патент США № 4О94466, кл. 239-145, опублик. 197i8 (прототип).

835501

Составитель А. Чал-Борю

Редактор Л. Ушакова Техред И. Заболотнова Корректор И. Оснновская

Заказ 776/701 Изд. № 403 Тираж 784 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»