Изобретение относится к технологическому оборудованию для массового нроизводства изделий микроэлектроники и предназначено , в частности, для использования на различны.х технологических операциях , связанных с автоматически.м приемом и выдачей хрупких плоских изделий, преимущественно шаблонов и полупроводниковых подложек