Способ изготовления и контроля много-витковой интегральной магнитной головки

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИС НИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ИТИЛЬСТВУ (i<>83872i3

Q +

C (61) Дополнительное к авт, свид-ву(51)М. Кл.

{22) Заявлено 070979 (21) 2814962/18-10 с присоедииеиием заявки ¹â€”

G 11 В 5/42

Государственный комитет

СССР но ваяем изобретений н открытий (23) Приоритет—

Опубликовано 150681, Бюллетень № 22 (53) УДК 534. 852, .2(088.8) Дата опубликования описания 15.06,81

Г =-О.В.Знаменский, В. Д.Половинкин и В.Д.Холжаев

/ б (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И КОНТРОЛЯ МНОГОВИТКОВОЙ

ИНТЕГРАЛЬНОЙ МАГНИТНОЙ ГОЛОВКИ

Изобретение относится к приборостроению, в частности к технике магнитной записи.

Известен способ изготовления многовитковой интегральной магнитной головки, включающий последовательное нанесение на диэлектрическую магнитную пластину проводящих и изолирующих слоев и формирование головки методом фототравления 1, 1О

Однако из-за технологических трудностей число витков обмотки в такой головке невелико и это приводит к пою вьыенныи токам записи и тяжелому тепловому режиму. !5

Известен также способ изготовления и контроля многовитковых интегральных магнитных головок, включающий масочное напыление на подложку первого плоского. полусердечника, витков обмотки и, вто- 20 рого профильного полусердечника, pasделенных изолирующими слоями, шпифование до вскрытия рабочего зазора и контроль магнитных головок 21.

Однако в процессе изготовления ro- 25 ловки отсутствует контроль смещения витков обмотки, так как контроль качества магнитных головок проводится после вскрытия рабочего зазора, и это приводит к тому, что операции вскрытия рабочего зазора подвергаются как годные, так и бракованные магнитные головки.

Цель изобретения — повышение качества и экономичности процесса изготовления многовитковых интегральных магнитных головок путем контроля смещения витков обмотки до вскрытия рабочего зазора.

Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления многовитковой интегральной магнитной головки, включающем формирование на подложке методом масочного напыления первого плоского полусердечника из магнитного материала, витков обмотки из проводящего материала и второго профильного полусердечника, разделенных изолирующими слоями, которые с первым витком обмотки образуют рабочий зазор и шлифование до вскрытия рабочего зазора, одновременно с. напылением первого витка обмотки, на подложке формируют внутреннюю технологическую шиту иэ проводящего материала, .затем при напылении последующих витков обмотки формируют наружную .технологическую шину, расположенную от внутренней на расстоя838723 нии, равном допуску на смещение витков обмотки, и определяют величину этого

Смещения витков обмотки головки визуально или путем измерения сопротив ления между внутренней и наружной проводящими шинами.

При масочном напылении точность совмещения масок составляет 5 мкм, поэтому из-за смещения витков обмотки размеры обмотки могут быть больше заданных на 10 мкм, что ухудшает Ц качество многовитковых интегральных магнитных головок и даже приводит к браку. Задача определения и отбраковки негодных магнитных головок и проведения вскрытия рабочего зазора только для качественных головок решается путем формированг на подложке внутренней и наружной шин и контроля с их помощью смещения витков обмотки.

На фиг, 1 изображена многовитко- 2О вая интегральная магнитная головка, поперечное сечение„ на фиг. 2 — часть маски для напыления первого витка обмотки с отверстием для напылен.=. в. утренней технологической шины, на ц фиг. 3 — часть маски для .напыления последующих витков обмотки с отверс- . тием для напыления наружной шины, на фиг. 4 — часть подложки с напыленными на нее внутренней и наружной шинами, на фиг. " — 7 — возможные формы выполнения внутренней и наружной шины.

На подложку 1 напыляют плоский полусердечник 2 и изолирующий слой 3, затем через маску 4 напыляют первый виTQK oGMQTKH 5, который с изолирующими слоями 3 образует рабочий зазор, и одновременно с напылением первого витка обмотки через отверс,тие 6 на подложке формируют внутрен- 40 нюю технологическую шину 7. После этого поочередно напыляют изо -.ирующие и проводящие слои, причем при напылении через маску 8 витков обмотки 9 на подложке через отверстие 10 формируют наружную технологическую шину

11, состоящую из нескольких слоев проводящего материала, а затем напыляют профильный полусердечник 2.

Отверстия 6 и 10 в масках 4 и 8 изготавливают таким образом,. чтобы при совмещении этих масок расстояние между отверстиями соответствовало допуску.на смещение витков обмотки.

Сформированные интегральные магнитные головки контролируют визуально или путем измерения сопротивления между внутренней и наружной шинами и в случае обнаружения смещения наружной шины на расстояние, больше чем Я, дальнейшие операции изготовления для таких головок не проводят.

Применение внутренней и наружной проводящих шин, сформированных на подложке в процессе напыления витков обмотки интегральной магнитной головки, позволяет получить значительную экономию за счет того, что отбракованные головки не подвергаются трудоемкой операции шлифования. формула изобретения

Способ изготовления и контроля многовитковой интегральной магнитной головки, включающий масочное напыление на подложку первого плоского полусердечника, витков обмотки и ВТорого профильного полусердечника, разделенных изолирующими слоями, шлифование до вскрытия рабочего зазора и контроль магнитных головок, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения качества и экономичности процесса изготовления головок, на подложке одновременно с напылением первого витка обмотки формируют технологическую внутреннюю проводящую шину, затем при напылении последующих витков обмотки формируют наружную технологическую проводящую шину, расположенную от внутренней на расстоянии; равному допуску на смещение витков обмотки, и определяют величину этого смещения визуально или путем измерения сопротивления между внутренней и наружными шинами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Япониии 9 53-690, кл. 102 Е 502, 1978.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 662961, кл. G 11 В 5/27, 06.12.76 (прототип).

838723

8 f0

Фиг,я

Риг.7 " Puz.Þ

Фи3

Составитель н. Балбашова

Техред И.Асталош Корректор Е. Рошко

Редактор A. Долинич

Филиал ППП "Патент",г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 4461/74 Тираж 645 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитата СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5