Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки

 

Союз Соввтскик социалистических

Республик (и 858О86 (61) Дополнительное к BBT. саид-ву (22)Заявлено 26.09.79 (21) 2820133/18-10 с присоединением заявки,% (23 } П рноритет (51) IN. Кл.

G 11 В 5/42

3ЪаудвратвеньЖ квинтет

СССР

60 Йвлаи «966РетениН н вткрктнй (53) УДК 534.852., 2 (088. 8 ) Опубликовано 23,08,81. Бюллетень 1й 31

Дата опубликования описания 25,08,81 (72 } Авторы изобретения

К -И.И. Билюс, А, П. Иотаути и В. И. Пустовит

Каунасский политехнический им. Антанаса Снечкуса (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ РАБОЧЕЙ ПОВЕРХНОСТИ

МАГНИТНОЙ ГОЛОВКИ

Изобретение относится к приборортроению, в частности к технике магнитной записи.

Известны способы увеличения износостойкости магнитной головки, основанные на нанесении на их рабочую поверх5 ность тонких дополнительных слоев с более высокой износостойкостью.

Иетодом катодного распыления на рабочую поверхность магнитной головки

10 наносят магнитомягкий сплав алфесил или электролитическим осаждением наносят износостойкий слой, содержащий частицы магнетита или феррита (11и (г)

Однако рассмотренные способы не позволяют получить износостойкие покрытия с хорошей адгезией. В процессе эксплуатации износостойкие покрытия отслаиваются и крошатся, тем самым не обеспечивая необходимых механических параметров головки.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ, включающий операцию обработки поверхности магнитной головки в вакууме путем бомбардировки пучком ионов элементов насыщения 13)

Однако при осуществлении известного способа изготовления магнитной головки ее износостойкость недостаточно высока.

Цель изобретения — получение более высокой степени износострйкости магнитной головки при неизменной гергии внедренных примесных ионов .

Поставленная цель достигается тем, что на магнитную головку наносят слой металла толщиной 0,6-1,0 мкм, после чего осуществляют внедрение электрически активных примесных ионов с постоянной энергией в диапазоне 300600 кэВ и дозой 1 10 — 2,5 10 см при

17 17 одновременном воздействии на рабочую поверхность магнитной головки пучком ионов неона с энергией 5 — 10 кэВ и плотностью ионного тока в пучке 1—

5 мА/см

858086

Энергия ионов Доза легиро- Увеличение фосфора, кэВ вания, см износостойкости раз

Толщина вспомогательного слоя,мкм

0,6 300 1 10 3,2

1 ° 10 3,5

400

0,6

1,5 1О

1,5 ° 10

2.10

2 10 17

2510

0,6

3,65

300

400

3,9

0,6

4,1

300

0,8

4,2

400

0,8

4,3

300

0,8

2 5 10 л.

400

4,35

0 8 т

Формула изобретения

Так как ионы неона постепенно распыляют вспомогательный слой, внедрение электрически активных примесных ионов проводится в тело с перемещающейся границей поверхности и суммарный профиль распределения, очерчиваемый вершиной гауссовой кривой распределения, будет характеризоваться плоской вершиной, т.е. высокоравномерным распределением внедренных примесей по 10 всей глубине магнитной головки,начиная с поверхности. При этом энергия высокоэнергетических примесных ионов в течении всего технологического процесса остается постоянной. 15

На фиг. 1 показано нанесение вспомогательного слоя металла на рабочую поверхность головки; на фиг. 2 — кривая распределения внедренных примесей .

На рабочую поверхность A-А магнитной головки 1 наносят вспомогательный слой 2, например, металла и проводят внедрение высокоэнергетических примесных ионов Б при одновременном распылеиии низкоэнергетичными ионами В вспомогательного слоя 2. По мере постоянного стравливания вспомогательного слоя 2 гауссовая кривая распределения внедренных примесей 3 будет передвигаться вглубь магнитной головки,а результирующая кривая распределения

Использование предлагаемого способа обработки рабочей поверхности магнитных головок обеспечивает высокую износостойкость при неизменной энергии внедряемых электрически активных ионов, что позволяет значительно повысить их долговечность. примесей 4, очерчиваемая вершиной кривой 3, будет характеризоваться высокомерным распределением по глубине магнитной головки. Так как в случае многократных внедрений при различных энергиях и дозах результирующий профиль распределения внедренных примесей 5 характеризуется неравномерным распределением примесей по глубине магнитной головки, то исключение предлагаемым способом нелегированных областей 6 способствует значительному повышению износостойкости магнитной головки,не прибегая к использованию многократных внедрений.

Пример, При реализации способа было проведено увеличение иэносостойкости рабочих поверхностей магнитных головок при энергиях внедренных ионов фосфора 1Р+ 300-400 кэВ и дозах Ф 1 10 — 2,5 10 см. Перед

17 М7 внедрением на рабочую поверхность магнитной головки был нанесен вспомогательный слой A1 толщиной 0,6 мкм и 0,8 мкм, который во время легироваиия распылялся ионами неона Ne c энергией 5 кэВ и плотностью ионного тока 1,5 А/сна.

В таблице приведены значения износостойкости магнитной головки в зависимости от режимов легирования.

Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки, основанный на бомбардировке этой поверхности в вакууме пучком ионов, о т л и ч а ющ и Й с я тем, что, с целью повьппе5 858086 6 ния износоустойчивости рабочей поверх- энергией 5-10 кэВ и плотностью ионио" ности магнитной головки, на нее на- го тока в пучке 1-5 мА/см и носят слой металла толщиной 0,6- Источники информации, 1,0 мкм, после чего осуществляют принятые во внимание при экспертизе внедрение электрически активных при- 5 . I. Патент США Ф 3566045, месных ионов с постоянной энергией кл. G 11 В 5/22, !971. в диапазоне 300-600 кэВ и дозой I 10 !

2. Патент США !! 3737583, -Я.

E — 2,5 ° 10 см" при одновременном воздей- кл. G 1! В 5/40, 1973. ствии на рабочую поверхность магнит- 3, Патент США кл. G 11 В 5/42, ной головки пучком ионов неона с 19.02.78 (прототип).

IAyfew

Фаа8

ВНИИПИ Заказ 7255/84 Тирам 645 Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Уагород, ул. Проектная, 4