Способ изготовления электродов электровакуумных приборов

 

1

1

1 !

I (72) Авторы изобретения

Г. В. Гуськов, В, П. Власов и Д.. Морозов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДОВ

ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к электронной технике, в частности к способу изготовления электродов электровакуумных приборов, например ламелей с вольфрамовым покрытием, получаемым осаждением иэ газовой фазы.

Известен способ изготовления электр родов с локальным покрытием, согласно которому покрытие наносят избирательно через отверстия в трафарете, размеры «оторых соответствуют контуру покрытия 1

Щнако при изготовлении электродов с большой толщиной покрыл ия, налример с толщяной более 0,2 мм, происходит срастание покрытж на электродах и трафарете, вследствие чего невозможно удаление последнего беэ повреждения покрытия. Поскольку электроды, применяемые в электронной технике, изготавливают с точностью не ниже пятого класса, а ширина поврежденной эоны,йо контуру покрытия близка к его терщике, этим способом невозможно изготовить электроды

2 с торцевым покрытием толщиной более

0,04 от толщины электродов.

Известен также способ изготовления электродов электровакуумных приборов, имеющих форму пластины и состоящих

3 из матрицы с покрытием на одной иэ торцевых поверхностей, включающий операции сборки электродов с промежуточными пластинами в пакет, нанесения покрытия на пакет, формообразования и последую19 щую операцию разборки пакета.

Электроды соединяют в пакет так, что они выступают над торцевыми поверхностями промежуточных пластин, а незащищенИ ные пластинами поверхности электродовпокрывают слоем в е ьфрама. Согласно этому способу при демонтаже электродов производят отсоединение последних от промежуточных пластин с разрывом покрытия, нанесенного на боковые поверхности электродов, а покрытие на торцевых поверхностях не повреждается (2), Недостатком этого способа является высокая трудоемкость, вызванная необходимостью шлифовальной обработки покрытия на боковых поверхностях электродов с целью удаления последнего.

Цель изобретения — снижение трудоемкости при изготовлении электроаов c гопшиной покрытия 0,05-1 от их толщины путем исключения обработки боковых поверхностей электродов.

Эта цель достигается тем, что при изготовлении электродов, имеющих форму пластины и состоящих из Матрицы с покрытием на одной из торцевых поверхностей, способом, включающим операции сборки матриц с промежуточными пластинами в пакет, нанесения покрытия на пакет, формообразования и последующую операцию разборки пакета, промежуточные пластины собирают в пакет так, что они выступают над поверхностью мат рицы» на высоту, превышающую толщину покрытия и не более,чем в -4 раза - толщину электрода. При изготовлении электродов с вольфрамовым покрытием, получаемым осаждением из газовой фазы, промежуточные пластины должны выступать над поверхностью матрицы на высоту 1,11,З от толщины вольфрамового покрытия.

Сущность способа поясняется чертежом.

Согласно предлагаемому способу мат рицы 1 и промежуточные пластины 2 собирают в пакет так, что последние выступают из него на-высоту, превышающую толщину покрытия.

На пакет одним из способов наносят покрытие З осаждением из газовой фазы или электролита, пульверизацией и,др.

Затем пакет подвергают электроэрозионной или шлифовальной обработке по плоскости 4 и разбирают накет, на отдельные элект . роды 5. Промежуточные пластины 2 вы.полняют из материала, на котором покрытие 3 имеет слабую адгезию, вследствие чего при разборке пакета электроды 5 отделяют от пластины без повреждения покрытия. Получают электроды, имеющие слой покрытия заданной ширины, равной толщине электродов, и, таким образом, исключают необходимость дополнительной обработки их боковых поверхностей.

Скрытным путем было установлено, что высота, на которую промежуточные пластины выступают из пакета при его сборке; нв должна превышать 4-х толщин электрода, а толщина получаемого IloKpblTBH должна быть не более толщины электрода. При превышении этих величин происходит срастание покрытия у противоположных торцов выступающих пластин при не9 4 достаточной толщине покрытия на повврхности матриц, При изготовлений электродов например ламелей с вольфрамовым покрытием, дос-таточно, чтобы высота выступающих час, тей промежуточных пластин составляла

1,1-1,3 от толщины покрытия. Это позволяет снизить трудоемкость при шлифовальной обработке пакета.

При величине высоты меньше 1,1 толщины цокрытия возможно образование необработаннйх участков поверхности, вследствие шероховатости поверхности.

Высоту выше 1,3 толщины покрытия использовать нецелесообразно из-eà резкого повышения трудоемкости при механической обработке пакета.

Получают электроды с покрытием толщиной 0,05-1 m их толщины, нанесенным на плоскую или другой формы поверхность матрицы.

Пример. 20 медных матриц ламелей, имеющих размер 2 х20х40 мм и поперечное сечение, как показано на чертеже; собирали в пакет с промежуточными пластинами, выполненными из хромированной меди с размерами 2 х21 х40 мм причем промежуточные пластины выс— тупели над поверхностью матриц на высоту 1,5 мм. Собранный пакет устанавливали в камеру осаждения вольфрама, где закрепляли его между упорными винтами.

Смесь водорода и гексафторида вольфрама при концентрации последнего 10% (объемных) пропускали в направлении, указанном стрелкой. При температуре 510 С производили осаждение на пакет вольфрамового слоя толщиной 0,8 мм, после чего извлекали пакет из камеры и производили его шлифовальную обработку и разборку. В результате получали ламели с вольфрамовым покрытием толщиной 1,2, измеренной по их боковой поверхности, с адгезионной прочностью покрытия 160180 Нlмм .

Преимуществом предлагаемого способа является снижение трудоемкости изготовления в 6-8 раз цо сравнению с известным за счет исключения шлифовальной о обработки боковых поверхностей

Формула изобретения

1 . 0пособ изготовления электродов электровакуумных приборов, имеющих форму пластины и состоящих из матрицы с покрытием на одной из торцевых поверхностей, включающий операции сборки матСоставитель .А. Киселев

Техред И. Асталош

Корректор С. Шекмар

Редактор В. Лазаренко

Заказ 7260/87 Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

1130З5, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 риц с промежуточными пластинами в пакет, формообразования и последующую операцию ризборки пакета, о т л и ч а» ю ш и и с я тем, что, с целью снижения трудоемкости при изготовлении электродов с толщиной покрытия 0,05-1 or ux толщины путем исключения обработки боковых поверхностей электродов, проме жуточные пластины собирают в пакет так, что они выступают над поверхностью матрицы на высоту превышающую толщину покрытия и не более, чем в 4 раза толщину электрода.

2. Способ по п. l, о т л и ч а юm и и с я тем, что йри изготовлении электродов с вольфрамовым покрытием, получаемым осаждением из газовой фазы, 58139 b промежуточные пластины выступают над поверхностью матрицы на высоту 1, 11.,3 от толщины вольфрамового покрытия.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Володин Ю. A. и др. Лнтиэмиссионные свойства пленок пластины и иридия на оксидном катоде. — Вопросы радиоэлектроники". Серия l. Электроника, 1965Ä

16 Ж 5, с. 196.

2. Турнер А. Х. и др. Защита резонаторных систем ЭВП вольфрамом, осажденным из газовой фазы. — Электронная техника". Серия 10. Технология и организация производства, 1871., J47, с. 5051. (прототия).