Состав для шлифования и полирования хрупких монокристаллических материалов

 

ОП ИСАКИИ

И ЗОВРЕТЕН ИЯ

К АВЕОРС КОМУ СВИДВТИЛЬСТВУ о Союз . Совотекнтт

Социапнетичоемйм

Республик (iu86588l (5l ),дополнительное и авт. свнд-ву (22)Заявлено 02.01.80(21) 2861036/23-26 е прнсоедянениеет заявки М (23) П риорнтет (51)М. Кл.

С 09 К 3/14

ГосудеестеинеВ коиитет

СССР да делен изобретений и открытий

Опубликовано 23.09. 8 1 . 5ктллетень М 35

Дала апуйднкоааыаа олисаямя 25.09.8) (53) УД3 667. 634. . 7 (088.8) (72) Авторы изобретения

3. А. Кутейникова, А. И. Сошко, В. Е. Шестопалов, E. Б. Друянова и Ю. А. Савушкин

ИОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к механической обработке хрупких монокристаллических татериалов и может быть использовано для обработки карбида кремния, галлий-гадолиниевого граната, лейкосапфира, кварца.

Известны составы для шлифования и полирования материалов, содержащие абразивный порошок и различные поверхностно-активные вещества (lj .

Наиболее близким по технической тв сущности и достигаемому результату является состав для шлифования и полирования хрупких монокристаллов, содержащий алмазный порошок и, в качест1S

8е поверхностно-активного вещества, водный раствор сополимера акриловой кислоты с гексааллиловой или тетрааллилпентаэритритом (23.

Однако на приготовление состава требуется длительное время (около

4 ч); постоянное перемешиваиие; кроме того, состав готовят непосредственно перед обработкой, так как он при хранении полимеризуется; вследствие высокой вязкости состава требуется довольно высокая (др 6 вес.М) концентрация алмазного порошка.

Цель изобретения — увеличение производительности процесса, улучшение условий работы оборудования, уменьшение шероховатости поверхности и глубины нарушенного слоя изделия.

Поставленная цель достигается тем, что состав для питифования и полирования хрупких монокристаллических материалов, включающий абразивный порошок, сополимер и воду, в качестве сополимера содержит сополимер лигносульфоната с метилметакрилатом и допол-, нительно содержит нитрат натрия, хромовокислый калий и биологическую добавку при следующем соотношении компонентов, вес.7:

Сополимер лигносульфоната с метилметакрнлатом О, 5-3,0, Нитрат натрия 0,2-0,7

865881

Хромовокислый калий 0,1-0,5

Биологическая добавка 0,01-0,1

Абразивный порошок 0,4-0,7

Вода Остальное

В качестве биологической добавки состав содержит гексахлорофен или фенол.

Состав готовят растворением исходных компонентов в воде с последую-щим добавлением абразивного порошка.

Варианты состава приведены в табл. 1.

В табл. 2 представлены сравнитель" ные характеристики предлагаемого и изТаблица

Со ержание вес.%

1 1 3

Компоненты

2 3

0,5 0,7

0,5

Сополимер

Нитрат натрия

0,2

Хромовокислый

KcLBHH

0,2 0,5

Биологическая добавка

0,05 0,1

0,01

Алмазный порошок зернистостью 1/О

0,5 0i7

0,4

Осталь- Осталь- ОстальВода ное ное ное

Таблица

Состав

Технологические показатели

П едложенный

Известный

Объем, мкм/мин 2

Класс шероховатости

0,06/13в 0,063/13в 0,04/14б 0,05/14а

Глубина нарушенного слоя, мкм I 0-1,2 0,9-1,1

0,8 1 iÎ 0 8 1 0

Время приготовления состава, ч 4

0,2

0,2

Время хранения состава, мес. 0,03 вестного составов, опробованные на галлий-гадолиниевом гранате.

Данные табл. 2 свидетельствуют о,том, что по сравнению с известным составом предложенный состав позволяет повысить производительность обработки при достижении того же класса шероховатости. Упрощается технология приготовления состава, который в те1О ченне длительного времени сохраняет свои рабочие свойства. Сокращается расход алмазных порошков при этом достигается высокое качество обработки изделий.

865881

Формула изобретения

0,5-3

l . Состав для шлифования и полирования хрупких монокристаллических материалов, включающий абразивный по5 рошок, сополимер и воду, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью увеличения производительности процесса,. улучшения условий работы оборудования, уменьшения шероховатости поверх1О ности и глубины нарушенного слоя изделия, он в качестве сополимера содержит сополнмер лигносульфоната с метилметакрилатом и дополнительно содержит нитрат натрия, хромовокислый !

3 калий и биологическую добавку при следующем соотношении компонентов,вес.X:

Сополнмер лигносуль фоната с метилметакри" . латом

Нитрат натрия 0,2-0,7

Хромовокислый калий 0,1-0,5

Биологическая добавка 0,01-0,1

Абразивный порошок О, 4-0,7

Вода Остальное

2. Состав по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что в качестве биологической добавки он содержит гексахлорофен нли фенол.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Бабочкин О. И., Брук В. А., Никифорова-Денисова С.Н. Механическая обработка полупроводниковых матерйалов; М., "Высшая школа", 1973, с. 40.

2. Авторское свидетельство СССР

Ф 5380!4, кл. С 09 G 1/02, 1976 (проотип).

Составитель В. Сальников

Редактор С. Патрушева Техреп С. Лигунова Корректор Г. Решетиик

Заказ 7988/37 Тираж 687 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва, Ж-35 Раушская наб д. 4/5

Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4