Электрохромная структура

 

Союз Советских

Соцналнстических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

<„> 871129

Й .

1 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 11.09,79 (21) 2818028/18-25 (51) М. Кл.

G 02 F 1/17 с присоединением заявки Мо

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 07J.081. Бюллетень Йо 37

Дата опубликования описания 07.10,81 (53) УДК 5З5. 511 (088.8) i

В.В. Серебренников, А ° Н Сергеев,.: И.Г. Домахин, Е.И. Даценко и В.И. Фель (72) Авторы изобретения

Томский ордена Трудового КрасногС Дцаменн государственный университет им. В.В.Куйбышева (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОХРОИНАЯ СТРУКТУРА

Изобретение относится к области (электронной техники и может быть ис пользовано при создании твердотельных преобразователей иэображения.

Известны электрохромные структуры, образованные прозрачными диэлектрическими пластинами, у которых на обращенных друг к другу сторонах нанесен электродный рисунок из прозрач10 ных проводящих пленок оксида индия, и содержащие электроокрашиваемый и вспомогательный слои (1).

Такие структуры обладают малым сроком службы и высокои инерцион ностью (время переключения в пределах 0,2-0,6 с) .

Наиболее близким техническим решением является электрохромная структура, содержащая электроокра- шиваемый слой трехокиси вольфрама и вспомогательный слой моноокиси кремния (Sio). Она состоит нз обращенных друг к другу прозрачных диэлектрических пластин с нанесенными прозрачными проводящими электродами и расположенных между ними электроокра-... шиваемого и вспомогательного слоев(2 ).

Недостатком ее является небольшой срок службы, который исчисляется

10 100 переключениями, после чего 30 идет электрическое старение скрашиваемого слоя с последующим разруше- нием в локальной области, а время переключения достигает О, 2 с. Невысокие электрооптические параметры обусловлены тем, что электроокрашиваеьый слои WO> не обеспечивает равномерное распределение центров светочувствительности в приповерхностном слое.

Целью изобретения является увеличение срока службы электрохромной структуры.

Это достигается тем, что в электрохромной структуре, состоящей из обращенных друг к другу прозрачных диэлектрических пластин с нанесенны ми прозрачными проводящими .электродами и расположенными между ними слоями трехокиси вольфрама и моноокйси кремния, соответственно введены слои восстановленной окиси вольфрама WQ > и двуокиси кремния S10@,в которых 1 Е х 2, причем слой S i 0> непосредственно прилегает к слою

SiO, а отношение толщины слоя ЧОв, к слою WO соответственно составляет

1/15-1/7 °

Иа чертеже представлена предлагаемая электрохромная структура.

871129

Формула изобретения

Составитель Г.Александров

Редактор О. Филиппова ТехредМ.Рейвес Корректор Г. Назарова

8432/19 Тираж 542

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Заказ

Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4

Электрохромная структура содержит стеклянные пластины 1, проводящие прозрачные электроды 2 из 3 н О 9 и

Слои W09 3, WO Х - 4, S!0 — 5, Si0 â€,6.

В слое восстановленной окиси вольфрама равномерно формируются центры окраски из кислородных вакансий, ассоциированных с разными катионами, и катионов W, находящихся в злах решетки. Это повышает быстродействие и срок службы электрохром-. ной структуры. Слой SiO стабилизирует слой WÎ „ и обеспечивает снижение сквознйх токов и увеличение электрической прочности электрохромной структуры.

Структура ЧО -ИО -SiО -SiО имеет следующие электрооптйческие параметры: 7 = 2 ° 10 с; И= 8.104, где время переключения, N- общее число циклов переключения. Толщина слоя WO для этой структуры составляет 0,06 мкм, а слоя W05 — 0,76 мкм.

Использование окрашиваемого ЯО и стабилизирующего (SIO X) слоев выгодно отличает предлагаемую электрохромную структуру, поскольку формируются равномерно распределенные центры окраски. В результате качество электрооптических параметров будет улучшено, что .увеличит сферу; применения электрохромных структур и повысит надежность и стабильность микросхем.

Электрохромная структура, состоящая из обращенных друг к другу про.— зрачных диэлектрических. пластин с нанесенными прозрачными проводящими электродами и расположенных между ними электроокрашиваемого и вспомогательного слоев, а т л и ч а ю—

15 щ а я с я тем, что, с целью увеличения срока службы между электроокра иваемым и вспомогательным слоями последовательно введены пленки восстановленного окисла вольфрама и двуокиси кремния: .Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США Р 4053209, кл. G 02 F 1/36, 1977.

2. Красов В.Г. Обзор по электронной технике "Пленочные диэлектрики в микроэлектронике". M., ВИНИТИ, 19 78, с. 46 (прототип).