Электрический ввод в высоковакуумную камеру

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскнк

Социаанстическик респубпнк

К А®ТОМСКОМУ СВИ ВТИЛЬСТВУ (61) Дополнительное к ает. сеид-еу—

p2) Заявлена 240579 (21) 2769168/24-07 ®) ((л. с присоединением заявки HP—

Н 01 В 17/26

Государственный комнтет

СССР, но делам изобретений н открытнй (23) Приоритет

Опубликовано 231081, Бюллетень ЙЯ 39

Дата опубликования описания 231081 (53) УДК 621. 315 (088.8) (72) Авторы изобретения

В.Г.Какубери и А.Т.Фнньк (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ВВОД В ВЫСОКОВАКУУМНУЮ

КАМЕРУ

Изобретение относится к электротехнике, а именно, к устройствам электрического ввода в вакуумные камеры напылительных установок.

Известны электрические вводы, которые содержат гибкий уплотняющий. элемент — сильфон, металлокерамический узел, используемый в качестве изолятора, стержень н фланец. Тако-проводящий стержень через металлокерамический узел соединен с фланцем через сильфон. Фланец крепится к ва-куумной камере (1g .

Однако эти электрические вводы 15 непригодны для периодического использования между повторными напылениями электропроводящих материалов, остобенно для точных измерений, поскольку их изолирующий элемент закорачи- 20 вается в результате напыления этими материалами.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является электрический ввод, содержащий ме- 25 таллокерамический узел, используемый в качестве изолятора,. соединенный через сильфан одним концом с корпусом вакуумной камеры, а другимс токопроводящим штоком, проходя- 30 щим внутри его (металлокерамического узла) (23 .

Однако в этой конструкции, как и в других известных электрических вводах, изолирующий элемент металлокерамического узла незащищен от напыления.

Применяемые на практике способы защиты изоляции: (экраннрованнем, термохимическим восстановлением илн прогревом), являются полумерами, не устраняющими токовые утечки, что не обеспечиваеэ высокой надежности устройства.

Цель изобретения - повышение надежности.

Поставленная цель достигается тем, что в известном вводе в высоковакуумную камеру, содержащем шток, соединенный с корпусом камеры через сильфон и изолирующий элемент, и экран, выполненный в виде цилиндра, один нз торцов которого вакуумплотно соединен с корпусом камеры, шток выполнен с возможностью перемещения, на одном из его торцов расположена заглушка, контактирующая с другим торцом экрана.

На чертеже изображен электрический ввод, общий вид. Ввод состоит

87.547 б

Формула изобретения из подпружиненного зонда 1 (один из вариантов гибкого. контакта), закрепленного на клапане 2, который закреплен на штоке 3. Металлокерамическ .й узел 4 соединен вакуумплотно со штоком 3 и сильфоном 5.

Сильфон 5 закреплен на корпусе камеры б, имеющем цилиндрический экран 7.Шток 3 от корпуса б изолирован втулкой 8. Шток может перемещаться по оси при вращении гайки 9, через опорные кольца 10 и шарики 11.

Гайка изолирована от накидного фланца 12 прокладкой 13. Накидной фланец

12 крепится к фланцу б болтами 14.

Ввод работает следующим образом.

Перед распылением электропроводя- l5 щих материалов, .вращают гайку 9, шток при этом перемещается по оси, и клапан 2 прижимается к цилиндрическому экрану 7, перекрывая при этом вакуумплотно металлокерамичвский узел 20

4, т.е. изолятор от камеры. При прекращении распыления или перерыве процесса распыления можно произвести электрические измерения. Для этого гайку 9 вращают в обратную сторону, клапан 2 отделяется от цилиндрического экрана 7, и электрический ввод оказывается изолирован от корпуса. Подпружиненный зонд 1 соприкасается с исследуемым материалом, и проводится измерение.

Наличие в электрическом вводе цилиндрического экрана с седлом и клапана, закрепленного на токовводе, позволяет надежно перекрывать металлокерамический узел, т.е. изолятор от объема рабочей камеры s период распыления в ней конденсирующихся металлических паров, что позволяет в свою очередь устранить токовые утечки электрического ввода s камерах напылительных установок.

Электрический ввод в высоковакуумную камеру, содержащий шток, соединенный с корпусом камеры через сильфон и изолирующий элемент, и экран, выполненный в виде цилиндра, один из торцов которого вакуумплотно соединен с корпусом камеры, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения надежности, шток выполнен с возможностью перемещения, на.одном из его торцов расположена заглушка, контактирующая с другим торцом экрана.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

М 598131, кл. Н 01 В 17/26, 1974.

2, Данилин Б.С. и др. Основы конструирования вакуумных систем. M.„

"Энергия", 1971, с.234.

ВНИИПИ Заказ 9358/79

Тираж 787 Подписное

Филиал ППП Патент, r.Óæãoðoä,óë.Ïðoåêòíàÿ,4