Контактное устройство

 

А. Н. Осипов, В. И. Кандыбин; А. Т-.-Косилов, Л.. Н Ивакин и В Г. Комаров (72) Авторы изобретения

Опытно-конструкторское бюро специального физического приборостроения при Воронежском политехническом институте (7l ) Заявитель (54) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к технологическому оборудованию, а именно к устройствам электрических измерений, и может быть использовано для контроля параметров полупроводниковых приборов в пронессе их производства, в частности, при разбраковке интегральных схем на пластинах.

Известны контактные устронства, содержащие размешенные в отверстиях диэлектрического основания подвижные упругие зонды, расположенные в соответствии с контактными плошадками проверяемой микросхемы (1) .

Однако упругие свойства таких зондов со временем меняются, что не позволяет обеспечить надежную работу устройства.

Известны контактные устройства, содержашие диэлектрическое основание с закрепленными в нем упругими зондами, диэлектрические направляюшие (2) ,Однако для обеспечения высокой надежности и точности измерения выступаюшая из отверстия рабочая часть зонда должна иметь малую длину, а для зондов, 2 например, из сплава G.-Ì- M;.Fe-Hose превышать 8-10-кратного диаметра зонда, так как при большей длине зонды из сверхупругого материала изгибаются s cocaanw >same с контактных плошадок. Выполнение же короткой рабочей части зонда в устройстве приводит к малому ресурсу их работы, вследствие их быстрого абразивного износа, и ненадежной работе.

11ель изобретения — повышение надежности. работы устройства.

Достигается цель тем, что контакт ное устройство, содержание дизлектри ческое основание с закрепленными на нем упругими зондами, плату с напвавляюшими отверстиями,. снабжено съемными насадками с направляюшими отверстиями для зондов g элементами крепления, а элементы

20 крепления выполнены в виде рамки из магнитного материала, размешенной на съемной насадке и магнитов, размешенных на основании.

8841

1О

2О

30

Заказ 10259/87 Тираж 892 Подписное

ЕНИИИИ

Фялпа и ППГ! "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

На фнг. 1 изображено контактное уст- ° ройство, на фиг. 2 — съемная насадка, вид сбоку.

Контактное устройство содержит диэлектрическое основание 1, на котором закреплены упругие зонды 2, прокладку

3, плату 4 с направляющими отверстиями 5 и несколько съемных насадок 6 с направляюшими отверстиями для зондов и элементами крепления, выполненными в виде рамки 7 из магнитомягкого материала и магнитов 8, закрепленных на основании 1 и соединенных перемычкой

9 из магнитомягкого материала. Кроме того, насадки снабжены фиксируюшими выступами 10 и пазами 11.

Работает устройство следуюшим образом.

При контактирования по мере абразивного износа, длина выступаюшей рабочей час:ги зондов уменьшается. Для сохранения надежной работы устройство снимаются насадки 6 по мере износа .зондов, и длина выступающей рабочей час- ти зондов 2 восстанавливается. Рабочий ход контактного устройства также корректируется опусканием на величину толщины снятой насадки.

Использование предложенного устройства упрощает также обслуживание измерительного устройства, так как операция

78

4 смены зондов заменяется на смену оче-редной насадки, а последующая регулировка сводится к опусканию контактного устройства на расстояние, равное толшине насадки.

Формула изобретения

1 . Контактное устройство, содержашее диэлектрическое основание с закрепленными на нем упругими зондами, плату с направляюшими отверстиями, о т л ич а юшее с ятем, что, сцельюповышения надежности работы устройства, оно снабжено съемными насадками с направляющими отверстиями для зондов и элементами крепления.

2. Устройство по и. 1„o т л и ч аю ш е е с я тем, что элементы крепления выполнены в виде рамки из магнитомяг- . кого материала, размешенной на съемной насадке и магнитов, размешенных íà основании.

Источники информадии, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

¹ 586577, кл. Н 05 К 1/04, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР № 514457, кл. Н 05 К 1/g4, 1974 (прототип) .